JPH0263203B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0263203B2 JPH0263203B2 JP58164440A JP16444083A JPH0263203B2 JP H0263203 B2 JPH0263203 B2 JP H0263203B2 JP 58164440 A JP58164440 A JP 58164440A JP 16444083 A JP16444083 A JP 16444083A JP H0263203 B2 JPH0263203 B2 JP H0263203B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- dyeing
- color
- resin
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Optical Filters (AREA)
- Coloring (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はカラーフイルターの製造に関するもの
で、この用途としては、光に関して認識したり、
光を分光したりする分野が挙げられる。具体的に
は、カラービデオカメラ、レンズの着色、CRT
デイスプレイの反射防止膜、液晶テレビ等があ
る。
で、この用途としては、光に関して認識したり、
光を分光したりする分野が挙げられる。具体的に
は、カラービデオカメラ、レンズの着色、CRT
デイスプレイの反射防止膜、液晶テレビ等があ
る。
従来例の構成とその問題点
従来、２色以の色素を有するカラーフイルター
（例えば、モザイク状、ストライプ状カラーフイ
ルターなど）を形成する際に使用される染色ベー
スとしては、カゼインあるいはゼラチンに重クロ
ム酸塩を架橋剤として添加したものが用いられて
きた。以下にゼラチン−重クロム酸塩系感光性樹
脂を用いたカラーフイルターの製造方法を第１図
から第３図を用いて説明する。
（例えば、モザイク状、ストライプ状カラーフイ
ルターなど）を形成する際に使用される染色ベー
スとしては、カゼインあるいはゼラチンに重クロ
ム酸塩を架橋剤として添加したものが用いられて
きた。以下にゼラチン−重クロム酸塩系感光性樹
脂を用いたカラーフイルターの製造方法を第１図
から第３図を用いて説明する。
まず基板１上にゼラチン−重クロム酸塩系感光
性樹脂２をスピンコート法により均一に塗布する
（第１図）。これに所定のパターンを有するマスク
を介して紫外線を照射し、水により現像してパタ
ーンを顕在化させる。乾燥後、所定の分光を有す
る染料を用いて残された樹脂パターンを染色し着
色パターン３を得る。その上部に混染防止のた
め、光学的に透明な中間膜４を形成する（第２
図）。さらに上記工程を繰り返して、２色目、３
色目の着色パターンを形成し、最後に全面に保護
膜５を均一に塗布する（第３図）。
性樹脂２をスピンコート法により均一に塗布する
（第１図）。これに所定のパターンを有するマスク
を介して紫外線を照射し、水により現像してパタ
ーンを顕在化させる。乾燥後、所定の分光を有す
る染料を用いて残された樹脂パターンを染色し着
色パターン３を得る。その上部に混染防止のた
め、光学的に透明な中間膜４を形成する（第２
図）。さらに上記工程を繰り返して、２色目、３
色目の着色パターンを形成し、最後に全面に保護
膜５を均一に塗布する（第３図）。
従来染色ベースとして使用されているカゼイン
もしくはゼラチンに重クロム酸塩を添加してなる
感光性樹脂は、六価クロムを含有するため、感光
液の廃棄や現像時の排水処理が問題となる。また
上記工程で製造されるカラーフイルターは多層構
造であるため、フイルター全体の厚みが厚く、固
体撮像素子に形成した場合などは光の回析が問題
となる。さらに、この光の回析を防ぐために単層
フイルターを形成しようとすると、上記工程に加
えて各混染防止膜のアライメント−露光−現像−
乾燥の工程が入り、工程数が著しく増加し、作業
性の低下だけでなく、歩留りの低下を引き起こす
原因となる。
もしくはゼラチンに重クロム酸塩を添加してなる
感光性樹脂は、六価クロムを含有するため、感光
液の廃棄や現像時の排水処理が問題となる。また
上記工程で製造されるカラーフイルターは多層構
造であるため、フイルター全体の厚みが厚く、固
体撮像素子に形成した場合などは光の回析が問題
となる。さらに、この光の回析を防ぐために単層
フイルターを形成しようとすると、上記工程に加
えて各混染防止膜のアライメント−露光−現像−
乾燥の工程が入り、工程数が著しく増加し、作業
性の低下だけでなく、歩留りの低下を引き起こす
原因となる。
発明の目的
本発明は、染色ベースにＯ−ナフトキノンジア
ジド化合物を含んだ樹脂を使用することにより、
公害の心配がなく、かつ単層で製造工程数の少い
カラーフイルターの製造方法を提供するものであ
る。
ジド化合物を含んだ樹脂を使用することにより、
公害の心配がなく、かつ単層で製造工程数の少い
カラーフイルターの製造方法を提供するものであ
る。
発明の構成
本発明は、染色ベースにＯ−ナフトキノンジア
ジド化合物を含有した樹脂を使用することを特徴
とする。Ｏ−ナフトキノンジアジド化合物は、紫
外線を照射することにより、下記のような転位反
応を起こす。この光反応を利用して、転位によつ て生成した−COOH基に塩基性染料、カチオン
染料等を用いて染色し、着色部を形成する。Ｏ−
ナフトキノンジアジド化合物を含有する樹脂とし
ては、光学的に透明なものが要求される。例を挙
げると次のようなものがある、ポリメチルメタク
リレー、ポリプチルメタクリレート、ポリプロピ
ルメタクリレート、ポリメチルアクリレート、ポ
リブチルアクリレート、ポリプロピルアクリレー
ト、ポリグリシジルメタクリレートなど。
ジド化合物を含有した樹脂を使用することを特徴
とする。Ｏ−ナフトキノンジアジド化合物は、紫
外線を照射することにより、下記のような転位反
応を起こす。この光反応を利用して、転位によつ て生成した−COOH基に塩基性染料、カチオン
染料等を用いて染色し、着色部を形成する。Ｏ−
ナフトキノンジアジド化合物を含有する樹脂とし
ては、光学的に透明なものが要求される。例を挙
げると次のようなものがある、ポリメチルメタク
リレー、ポリプチルメタクリレート、ポリプロピ
ルメタクリレート、ポリメチルアクリレート、ポ
リブチルアクリレート、ポリプロピルアクリレー
ト、ポリグリシジルメタクリレートなど。
また、Ｏ−ナフトキノンジアジド化合物をその
分子中に官能基として有している樹脂も本発明に
使用される染色ベースとして用いられる。
分子中に官能基として有している樹脂も本発明に
使用される染色ベースとして用いられる。
実施例の説明
本発明を用いたカラーフイルター製造方法の実
施例について、第４図から第９図を用いて以下に
説明する。
施例について、第４図から第９図を用いて以下に
説明する。
まず、透明基板１上にＯ−ナフトキノンジアジ
ド化合物を含有した樹脂６をスピンコート法によ
り均一に塗布する。所定のパターンを有するマス
クを介して、紫外線を照射し、第１色目のパター
ン６Ａを形成する（第４図）。これを下記の条件
で染色し着色パターン７を得る。
ド化合物を含有した樹脂６をスピンコート法によ
り均一に塗布する。所定のパターンを有するマス
クを介して、紫外線を照射し、第１色目のパター
ン６Ａを形成する（第４図）。これを下記の条件
で染色し着色パターン７を得る。
染色条件
スミアクリル・レツド・Ｎ−Ｇ 5g／
酢酸 0.5cc／
染色温度・時間 80℃，５分間
染色後、水洗により余分の染料を除去し、乾燥
する。
する。
次に混染防止のため、着色パターン７上に透明
な膜パターン８を形成する。まずスピンコート法
で均一に透明膜を塗布し、所定のパターンを有す
るマスクを介して露光し、現像により膜パターン
８Ａを顕在化させる（第５図）。
な膜パターン８を形成する。まずスピンコート法
で均一に透明膜を塗布し、所定のパターンを有す
るマスクを介して露光し、現像により膜パターン
８Ａを顕在化させる（第５図）。
さらに第２色目の着色パターンを形成するため
同様に所定のパターンを有するマスクを介して樹
脂６を露光し、下記の条件で染色して着色パター
ン９を得る（第６図）。
同様に所定のパターンを有するマスクを介して樹
脂６を露光し、下記の条件で染色して着色パター
ン９を得る（第６図）。
染色条件
カヤクリル・ブリリアント・イエロー・5GL
−ED 5g／ カヤクリル・ブルー・GSL−ED 10g／ 無水芒硝 1g／ 染色温度・時間 80℃，10分間 水洗・乾燥後、透明な樹脂を塗布し、同様に露
光−現像して、第２色目の着色パターン上に混染
防止膜パターン８Ｂを形成する（第７図）。
−ED 5g／ カヤクリル・ブルー・GSL−ED 10g／ 無水芒硝 1g／ 染色温度・時間 80℃，10分間 水洗・乾燥後、透明な樹脂を塗布し、同様に露
光−現像して、第２色目の着色パターン上に混染
防止膜パターン８Ｂを形成する（第７図）。
同様にして、所定のパターンを有するマスクを
介して樹脂６を露光し、これを下記の条件で染色
し、水洗 染色条件 スミアクリル・ブルー・Ｎ−GRL 10g／ 酢酸 1g／ 染色温度・時間 80℃，５分間 乾燥して第３色目の着色パターン１０を形成す
る。
介して樹脂６を露光し、これを下記の条件で染色
し、水洗 染色条件 スミアクリル・ブルー・Ｎ−GRL 10g／ 酢酸 1g／ 染色温度・時間 80℃，５分間 乾燥して第３色目の着色パターン１０を形成す
る。
最後にフイルター全体に保護膜５を形成する。
こうしてカラーフイルタ積層型固体撮像素子が作
成される。
こうしてカラーフイルタ積層型固体撮像素子が作
成される。
発明の効果
本発明のＯ−ナフトキノンジアジド化合物を含
む樹脂を用いたカラーフイルターの製造方法は、
従来のカゼインもしくはゼラチンに重クロム酸塩
を添加した感光性樹脂を用いた製造方法に比べて
公害の心配がなく、かつ薄膜単層フイルターをよ
り安易に製造することができる。これにより、作
業性の向上，作業時間の短縮，歩留りの向上等の
効果を得ることができる。
む樹脂を用いたカラーフイルターの製造方法は、
従来のカゼインもしくはゼラチンに重クロム酸塩
を添加した感光性樹脂を用いた製造方法に比べて
公害の心配がなく、かつ薄膜単層フイルターをよ
り安易に製造することができる。これにより、作
業性の向上，作業時間の短縮，歩留りの向上等の
効果を得ることができる。
第１図から第３図はゼラチン−重クロム酸塩系
感光性樹脂を用いた従来のカラーフイルター製造
方法を示す図、第４図から第９図は、Ｏ−ナフト
キノンジアジド化合物を含む樹脂を用いた本発明
の実施例を示す図である。 ６……Ｏ−ナフトキノンジアジド化合物を含む
樹脂、７……第１色目の着色パターン、８……第
２色目の着色パターン、９……第３色目の着色パ
ターン。
感光性樹脂を用いた従来のカラーフイルター製造
方法を示す図、第４図から第９図は、Ｏ−ナフト
キノンジアジド化合物を含む樹脂を用いた本発明
の実施例を示す図である。 ６……Ｏ−ナフトキノンジアジド化合物を含む
樹脂、７……第１色目の着色パターン、８……第
２色目の着色パターン、９……第３色目の着色パ
ターン。
Claims (1)
- １ 基板上にＯ−ナフトキノンジアジド化合物を
含む樹脂を塗布する工程、前記塗膜に所定のパタ
ーンを有するマスクを介して露光部を形成する工
程、所定の分光を有する染料を用いて前記露光部
を染色する工程、光学的に透明な樹脂を塗布する
工程、前記塗膜を所定のパターンを有するマスク
を介して露光し、現像によつてパターンを顕在化
させる工程からなるカラーフイルターの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164440A JPS6055302A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | カラ−フィルタ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58164440A JPS6055302A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | カラ−フィルタ−の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6055302A JPS6055302A (ja) | 1985-03-30 |
| JPH0263203B2 true JPH0263203B2 (ja) | 1990-12-27 |
Family
ID=15793200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58164440A Granted JPS6055302A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | カラ−フィルタ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6055302A (ja) |
-
1983
- 1983-09-06 JP JP58164440A patent/JPS6055302A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6055302A (ja) | 1985-03-30 |
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