JPS6057637A - 半導体素子のはんだ付け装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はガラス基板などのプレート表面上に配置した半
導体素子を加熱してはんだ付けする半導体素子のはんだ
付は装置に関する。

〔発明の背景〕

従来、プレート表面に半導体素子をはんだ付けするには
、第１図に示すように、プレートｌの表面上の所冗位置
に半導体素子２をフラックスなどで仮固定しておき、プ
レートｌの上方および下方にそれぞれ前記半導体素子２
に対応した部分に穴３ａ、４ａを有するマスク３．４を
配設し、更にマスク３の上方およびマスク４の下方にそ
れぞれ赤外線照射器５．６を配設し、赤外線照射器５．
６によりマスク３．４を通して赤外線照射して半導体素
子２をプレート１表面上にはんだ付けする方法が一般的
に行なわれている。

ところで、半導体素子２は赤外線を吸収し易いので昇温
し易く、他方プレー日は赤外線を透過し易いので熱吸収
が遅く昇温し蝉い。この結果、半導体素子２とプレート
１との接触部にクラックが発生したりする問題があり、
良好なはんだ付けが困難であった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、プレートのクラック不良を防止するこ
とができる半導体素子のはんだ付は装置を提供すること
にある。

〔発明の概要〕

本発明は、プレートの上方に配設された赤外線照射器と
、プレートの下方に配役され上部ｌこスリット穴を有す
る外筒と、この外筒の内部に回転自在に設けられプレー
ト上の半導体素子に対応した部分に熱風吹き出し用穴を
有する内筒、と、この内筒の内部に不活性ガスの熱風を
送り込む熱風供給器とからなることを特徴と１−る。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第２図により説明する。半導
体素子２がフラックスなどで仮固定されたプレート１の
上方には、従来と同様に半導体素子２に対応した部分に
穴３ａを有するマスク３が配設され、更にこのマスク３
の上方ζこ赤外線照射器５が配設されでいる。

前記プレート１の下方には上部にスリット穴ｌＯａを有
する外筒１０が配設されている。外筒１０の内部には回
転／−ル用パツ牛ン１１を介して内筒１２が回転自在ζ
こ設けられでいる。内筒１２には半導体素子２の横配列
と同じ間隔をこ所定の太きさの穴１２ａ、１２ｂ・・・
が設けられている。ここで、穴１２ａは図示の実施例に
示す半導体素子２の間隔に適合する場合を示し、穴１２
ｂは品種切換によって半導体素子２の間隔が変った場合
に適合するように形成されでいる。ｎＩ記内筒１２の端
部Ｏこはギヤ１３が固定されており、このギヤ１３はモ
ータ１４の回転軸に固定されたギヤ１５に噛合している
。

前記内＠１２の内部には熱風供給器１６よりＮ２ガスな
どの不活付ガスが供給される。熱風供給器１６の熱風循
環系統は、高圧Ｎ２ガスを）；ルブ１７、加熱器１８を
通して内ｍ　ｌ　Ｚ内に供給し、内筒１２内のＮ２ガス
はパルプ１９を通しで加熱器１８の人口部に入るように
なっている。熱１戦の温度は、内筒１２の入口部に設け
た熱電対２０により検出され、温調器２１により加熱器
１８の加熱電源２２をコントロールして調整される。

次に作用をごついで説明する。プレートｌに熱風を吹き
付ける際には、パルプ１９を閉とし、モータ１４を駆動
して内ｌｉ２を回転させて穴１２ａが図のようにスリブ
１−ＩＱａに対応するようにする。コレニより、パルプ
１７から加熱器１８を通し内筒１２内に送られたＮ２ガ
スの熱風は、内筒１２の穴】２ａ１外筒１０のスリット
］Ｏａを通してプレート１の下面に吹き付けらイ１．る
。才た半導体素子２の上面には赤外線照射器５よりマス
ク３の穴３ａを通しで赤外線が照射される。

このように、半導体素子２は上方から赤外線照射によっ
て加熱され、プレー　ｌ−１の半導体素子２の部分は熱
風によって力１１熱されるので、プレートｌの半導ｆ＊
素子２部分も昇温する。従って、半導体素子２とプレー
ト１との温度差が小さくなり、プレート１のクラックが
防止され、均一にはんだ付けされる。また内筒１２は回
転自在に設けられているので、品種切換の場合は単に内
筒１２を回転させるのみでその品（引ご適合した穴１２
ａ、１２ｂ・・・を容易に選択できる。また熱風は流れ
を停止すると瞬時ζこ所定温度にコントロールするのが
不可能であるが、内筒１２は回転自在に設けられている
ので、熱風の吹き句けを停止する際には、モータ１４に
よって内筒１２を回転させで内筒Ｊ２の穴加工されてい
ない盲位置を上方にして外筒ｉ。

のスリット穴１０’ａを塞ぎ、パルプ１９を開、パルプ
１７を閉とすることにより熱風の流れを停止させないで
行なうことができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、プレートに不活性ガスの熱風を吹き伺
けで局部的に加熱するので、光透過性が大きいプレート
のクラックが防止され、均一ζこはんだ付けされる。ま
た熱ノ虱を吹き出す内筒を回転自在に設けでなるので、
品種切換に容易に対処できると共に、温度コントロール
が容易に行なえる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の説明図、第２図（を本発明の一実施例
を示す説明図である。 １・・・プレート、　２・・・半導体素子、５・・・赤
外線照射器、　ｌＯ・・・外筒、１０ａ・・・スリット
穴、１２・・・内筒、１２ａ、１２ｂ・・・熱風吹き出
し用穴、１３・・・ギヤ、　１４・・・モータ、　１５
・・・ギヤ、Ｉ６・・・熱風供給器。 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 光透過率の大きいプレート上に半導体素子を複数個同時
   にはんだ付けする半導体素子のはんだ付は装置において
   、前記プレートの上方に配設された赤外線照射器と、前
   記プレートの下方に配設され上部にスリット穴を有する
   外筒と、この外筒の内部に回転自在に設けられプレート
   上の半導体素子に対応した部分に熱風吹き出し用穴を有
   する内筒と、この内筒の内部に不活性ガスの熱風を送り
   込む熱風供給器とからなる半導体素子のはんだ付は装置
   。