JPH01107865U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01107865U JPH01107865U JP10488287U JP10488287U JPH01107865U JP H01107865 U JPH01107865 U JP H01107865U JP 10488287 U JP10488287 U JP 10488287U JP 10488287 U JP10488287 U JP 10488287U JP H01107865 U JPH01107865 U JP H01107865U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- control circuit
- evacuated chamber
- electron beam
- signal
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例装置の構成略図で、
第２図は本考案に係かる表示例である。 １，２，３：表示パネル、４：制御回路、５：
表示回路、６：ポンプ駆動回路、７：バルブ駆動
回路、８：真空計群。
第２図は本考案に係かる表示例である。 １，２，３：表示パネル、４：制御回路、５：
表示回路、６：ポンプ駆動回路、７：バルブ駆動
回路、８：真空計群。
Claims (1)
- 電子線装置の各被排気室の真空を制御するため
の要素として設けられた各種真空ポンプ、弁と、
前記被排気室の圧力を検出するための真空計と、
該真空計よりの信号に基づいて該真空ポンプ、弁
を制御するための制御回路とを備え、該制御回路
よりの制御信号に基づいて前記被排気室の排気停
止、リーク、粗引、主ポンプによる本引等の各種
動作モードを実行するようにした装置において、
前記制御回路よりの信号に基づいて実行中の動作
モードを動作モード名で表示すると共に該モード
を実行中の被排気室を表示するための表示手段を
備えたことを特徴とする電子線装置における真空
排気系の表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10488287U JPH01107865U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10488287U JPH01107865U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01107865U true JPH01107865U (ja) | 1989-07-20 |
Family
ID=31336996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10488287U Pending JPH01107865U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01107865U (ja) |
-
1987
- 1987-07-08 JP JP10488287U patent/JPH01107865U/ja active Pending
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