JPS6080135A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体の製造方法
に関し、特に、強磁性金属薄膜形成後のカールを矯正す
るだめの処理方法に関する。

従来、高密度記録が可能な磁気記録媒体として、磁性層
を強磁性金属薄膜で形成した強磁性金属薄膜型磁気記録
媒体、所謂蒸着テープが注目されている。この強磁性金
属薄膜型磁気記録媒体においては、塗布型のテープと比
較して磁性層の厚さを極めて薄くすることができるので
長時間記録が可能となるとともに高域周波数特性が良好
なものとなることが知られている。

ところで、この種の磁気記録媒体にあっては、上記強磁
性金属薄膜全形成する手段として真空蒸着法等を用いる
ため非磁性支持体であるベースフィルムに熱的損傷を受
け易く、また、このベースフィルム上に蒸発金属原子が
再結晶して薄膜となる際に収縮して内部応力が発生し、
第１図に示すように非磁性支持体１が強磁性金属薄膜２
が内側となるＸうに凹状にカールしてし１うという欠点
全有している。このようなカールが生ずると、この磁気
記録媒体と磁気ヘッドの当シが悪ぐなって、再生出力が
低下してしまったシ巻き乱肛が生じたシする。

そこで従来、上述のようなカール２ｊ臀消するために種
々の方法が提案さｎている。

例えば、上記磁気記録媒体の裏面側、すなわち磁性層と
反対側にバンクコート層を設け、このバックコート層が
反対方向に彎曲しようとする力で上記カール全解消する
ことが試みられている。

しかしながら、上述のようにバックコート層に、１：９
カールを解消するという方法では、カールを打ち消すよ
うな機能を有する特別なフィルムあるいは塗膜を形成し
なければならないので製造コストの増大や工程の煩雑化
を惹起するばか９か、この磁気記録媒体を繰シ返し使用
しているうちに磁性層が摩耗したシ損傷したシして収縮
力のバランスが崩九反対１１１１１　、すなわちバンク
コート層側が内側となるようにカールしてしまうという
ような虞ｎもある。

捷た、二ノグロールで圧力を加えて熱ロールに密着させ
たｐ１熱処理装置を用いて上記磁気記録媒体を張カケ与
えながら加熱する等して非磁性支持体を熱収縮させ、上
記カールを解消するという方法も提案さ肚ているが、こ
の場合には、（１）　非磁性支持体は表面からの熱伝導
によシ加熱さｎるので、表面付近と中心部とでは温度差
が大きく、短時間に上記非磁性支持体を均一に加熱する
ことができず、処理するのに長時間を要する。

（２）処理時間全短縮するために熱ロールや雰囲気温度
を上げると非磁性支持体の表面が変質したりして磁性層
にまて損傷全力える虞れがある。

（３）装置が犬がかシなものとなって設備にたかる費用
が多大なものとなる。

等の問題が生じている。

そこで本発明は、上述の従来技術の有する欠点を解消す
るために提案さ九たものであって、製造コストを増大す
ることなく、簡単にし刀）も短時間でカールの無い平坦
な磁気記録媒体を得ることが可能な磁気記録媒体の製造
方法を提供することを目的とする。

本発明者等は、上記目的を達成せんものと鋭意研究の結
果、遠赤外線の照射によって上記カール全簡単にｉＱイ
消することができることを見出し不発１男全完成したも
のであって、非磁性支持体上に強磁性金属薄膜全形成し
てなる磁気記録媒体に対し、遠赤外線を照射することに
よシ上記磁気記録媒体のカール全矯正することを特徴と
するものである。

以下、本発明を適用した強磁性金属薄膜型磁気記録媒体
の製造方法ケその工程順序に従って説明′する。

本発明においては、先ず、非磁性支持体上に金属磁性材
料よりなる強磁性金属薄膜全被着形成する０ 上記非磁性支持体としては、磁気記録媒体を製造するの
に従来よシ［史用さ九ているものであれば何ｎも使用で
き、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエス
テル、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、セルロー
ストリアセテート、セルロースジアセテート等のセルロ
ース誘導体、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリ
イミド等の高分子物質等が挙げら肚る。

上記金属磁性材料としては、強磁性薄膜を形成しつるも
のであれば何れでも使用でき、例えば、鉄Ｆｅ　、コバ
ルトＣｏ　、ニッケルＮｉ等の金属、あるいはＣｏ−Ｎ
ｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｎ１
−Ｆｅ−Ｂ合金等の合金が挙げられる。

また、上記強磁性薄膜の被着手段としては、真空蒸着法
やイオンブレーティング法、スパッタ法等が挙げら九る
。

上記真空蒸着法は、１０〜１０　Ｔｏｒｒの真空下で金
属磁性材料を抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱等
により蒸発させ、非磁性支持体上に蒸発金属（金属磁性
材料）全沈着させるというものであり、斜方蒸着と垂直
蒸着に大別される。

上記斜方蒸着は高い抗磁力を得るために非磁性支体キ 持体に対して強磁性材料全劾めに蒸着するも゛のであっ
て、より高い抗磁力を得るために上記斜方類Ｎを酸素雰
囲気中で行なうものも含まれる。上記垂直蒸着は蒸着効
率を向上し高い抗磁力勿得るだめに、非磁性支持体上に
ビスマスＢｉ　、タリウム’１．７ンテモンＳｂ、ガ、
リウムＧａ／ｙ’ルマニウムＧｅ等の下地金属層葡形成
後、この下地層上に金属磁性材料を垂直に蒸着するもの
である。

上記イオンブレーティング法は、１０’−’〜１Ｏ−３
Ｔｏｒｒの不活性ガス、通常はアルゴンガスケ主成分と
する雰囲気中でＤＣグロー放電、ＲＦグロー放′ｆ：Ｌ
を起こし、放電中で金属全蒸発させるというものである
。

上記スパッタ法は、Ｉ　Ｏ”−’〜１０−’　Ｔｏｒｒ
のアルボンを生成分とする雰囲気中でグロー放電を起し
、生シたアルゴンイオンでターゲント表面の原子をたた
き出すというものであシ、グロー放・電を起こす方法に
よシ直流２極、３極スパッタ法及び高周波スパッタ法、
また、マグネ」ｌロン放電を利用したマｆ４トロンスパ
ンタ法等がある。

さらに、上記磁気記録媒体の強磁性金属薄膜被着形成面
と反対側の面に所謂ノくツクコート層を設は潤滑性や帯
電性等の改善を図ってもよい。

次に、このようにして得られる磁気記録媒体に対して遠
赤外線ヒータケ用いて波長が５〜１０００μｍの遠赤外
線を照射する。

上記遠赤外線を照射すると、上記磁気記録媒体の非磁性
支持体やバックコート層全構成する有機分子の振動スペ
クトルに応じた振動数の赤外線が吸収され、上記有機分
子の分子振動が活発になシ上記非磁性支持体やバンクコ
ート層が発熱し熱Ｉｌｌ縮してカールが解消される。一
般に、上記非磁性支持体等を構成する有機分子は、３〜
１００μｍの波長範囲に振動スペク）／しを有しておシ
、遠赤外線の波長域と合致するためこの遠赤外線″！：
Ｊ：（吸収する。これに対して、例えば、従来から熱源
として使用さｉｔていた赤外線ランプや石英管等から放
射される波長２μｍ以下の近赤夕１線は、そのエイ・ル
ギーは大きいが有機分子の振動スペクトルと波長域が一
致しないためほとんと吸収さ九ない。

したがって、遠赤外線を用いれば、エネルギーは小さく
ても利用効率が極めて高くなシ、丑だ輻射による加熱で
あるので上記非磁性支持体の内部までエネルギーが速や
かに吸収され極めて短時間に均一な加熱か進行する。

特に、」二記遠赤外線を、上記非磁性支持体の磁性層が
形成される側と反対ｉ＋１１．すなわちバンクコート層
が形成さ扛る場合にはバックコート層■（１］から照射
してやれば、蒸着金属からなる磁性層との境界面で」二
記磁性層が照射エイ・ルギー孕反射してエネルギーの利
用効率はさらに高まる。

また、上記遠赤外線を用い汎ば、非磁性支持体の熱収縮
に必要な温度上昇が容易なものであるので、不必要に外
部温度を上げ極部的に上記磁気記録媒体を加熱してこの
磁気記録媒体？損傷することもない。

ところで、上記磁気記録媒体のカールを解消するのに必
要な遠赤外線の照射量は、使用する非磁性支持体の厚さ
や種類によって異なるので、製造する磁気記録媒体の種
類に応じて適宜変更すればよい。この場合、上記遠赤外
線ヒータに対する磁気記録媒体の走行スピード等を変え
ることによりコントロールす扛ばよい。したがって、上
記遠赤外線ヒータの出力子ある程度高めておけば、処理
速度を速めることが可能である。

上述のように遠赤外線を照射することによってカールの
無い平坦な磁気記録媒体が製造される０なお、上記真空
蒸着の如き強磁性金属薄膜被着工程と遠赤外線照射工程
は一連の連続システムとしてもよい。

以上述べたように、本発明においては、遠赤外線ヒータ
という簡単な装置を用いることで、短時間の処理によシ
極めて平坦な磁気記録媒体を得ることが可能である。

次に、本発明の実施例について説明する。なお、本発明
がこの実施例に限定されるものでないことは言うまでも
ない。

実施例 非磁性支持体として幅２５０　ｍｍ、厚さ９μｍのポリ
エチレンテレフタレートフィルムを用い、このフィルム
上に第２図に示すような蒸着装置を用いてコバルトＣｏ
ｋ加熱蒸□発させ、類１着層の厚さが１００ＯＡとなる
ように蒸着を行なった。

上記蒸着装置は、所定の真空度、例えば約１×１０””
”Ｔｏｒｒ　以下にした真空槽１１に、蒸着物質ケ蒸着
させる非磁性支持体、すなわち上記フィルム１２が、ロ
ーラ１３刀１ら案内ロー２１４を介して巻取シローラ１
５に巻取ら九るＪ：うに配置さ几ている。そして、上記
真空槽１１の下部に設けらし−〕−一ノ 九る加熱手段１７中に上記中≠１８を入れ、加熱して蒸
発させて上記フィルム１２の表面に所定範囲の入射角θ
、例えば５０°ないし９０°で蒸着させ、強磁性金属薄
膜２０を被着形成した。なお、このとき所定の入射角全
確保するために、遮蔽部１９を設けて、フィルム１２表
面の不要部分に蒸発粒子が直接入射しないようにした。

さらに、上記フィルム１２０強磁性金属薄膜２０が形成
さ几る而と反対ｆｉｌ！ｌの面に、カーボンブランク１
００重量、ポリウレタン樹脂（日本ポリウレタン社製、
Ｎ−２３０４）５０重量部全ボールミルにて４０時間混
練し、硬化剤コロネー）Ｌ−５０（日本ポリウレタン社
製）を上記ポリウレタン樹脂に対して２０重重量部加し
たバンクコート塗料を塗布して膜厚２μｍのバククコー
ト層２１全形成した。

得ら几た強磁１生金属薄膜型磁気記録媒体に対して第３
図に示すような遠赤外線ヒ〒り２２を用いい上記バンク
コート層２１側πら遠赤外線を照射した。なお、上記遠
赤外線ヒータ２２は出力ＩＫＷ、ヒータ面湿度３５０℃
、ヒータ面の大きさ３００ｍ＋ｎＸ　４００叫のものケ
用い、上記磁気記録媒体との距離ｄが５０胴となるよう
にこの磁気記録媒体に対して水平に配置した０ 磁気記録媒体の走行スピードと得収れる磁気記録媒体の
カール量の関係金弟４図に示す。なお、上記カール量は
、得られた磁気記録媒体力１ら１０１１１ｍ　Ｘ　１５
　ｍｍの試料ケリり取シ、第５図に示すように短辺側に
おける弧の高さｈて示す量てあシ、金属薄膜２０　（１
！Ｉに凹状にカールしている場合をグラス＋、ハノクコ
−１・層２１側に凹状にカールしている場合をマイオス
−で表わした。

丑だ、第６図に磁気記録媒体の走行スピードと非磁性支
持体の熱収縮率の関係全示す。

上記第４図から、本実施例においては、磁気記録媒体２
１分間当り約３０ｍとすればカールを解消することがで
きることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図は強磁性金属薄膜型磁気記録媒体のカール状態を
示す断面図である。 第２図は本発明の実施例における強磁性金属薄膜被着工
程を示す概略図、第３図は遠赤外線照射工程を示す概略
図である。 第４図は遠赤外線照射工程における磁気記録媒体の走行
スピードと得ら九る磁気記録媒体のカール量の関係を示
すグラフであり、第５図はカール量全説明する断面図で
ある。 第６図は遠赤外線照射工程における磁気記録媒体の走行
スピードと非磁性支持体の熱収縮率の関係ケ示すグラフ
である。 １２・・・非磁性支持体 ２０・・・強磁性金属薄膜 特許出願人　ソニー株式会社 代理人　弁理士　小　池　見 回　１）　村　榮　− 第１図 第３図 第４図 第５図 どＶ 第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性支持体上に強磁性金属薄膜を形成してなる磁気記
   録媒体に対し、遠赤外線を照射することによジ上記磁気
   記録媒体のカールを矯正することを特徴とする磁気記録
   媒体の製造方法。