JPS6083245U - カセツト式薄片搬出入用薄片検知装置 - Google Patents

カセツト式薄片搬出入用薄片検知装置

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JPS6083245U
JPS6083245U JP17708483U JP17708483U JPS6083245U JP S6083245 U JPS6083245 U JP S6083245U JP 17708483 U JP17708483 U JP 17708483U JP 17708483 U JP17708483 U JP 17708483U JP S6083245 U JPS6083245 U JP S6083245U
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JP
Japan
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cassette
thin piece
detection device
thin
type thin
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JP17708483U
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JPH0128683Y2 (ja
Inventor
博美 村山
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はウェハ送り出し部の一部切欠斜視図、第２図は
従来例を説明するための、ウェハ送り出□　し部の側断
面図、第３図は本考案の実施例で、第２図のＡ−Ａ断面
に該当する断面図を示し、第４図は第３図の要部側面図
を示す。 ２・・・ウェハ、３・・・カセット、８・・・投光部、
９・・・受光部。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）複数の薄片を等間隔に収納できるカセットが載置
    される上下動可能なエレベータテーブルと、該エレベー
    タテーブル上に載置されたカセットに対向し、当該エレ
    ベータテーブルの上下動と共動して薄片をカセットに給
    排する一対の゛　搬送ベルトとから構成されたカセット
    式薄片搬出人装置において、カセット下部内側面に近接
    して対向させた、一対の投光部及び受光部から成る透過
    センサーを、投光部からの光ビームがカセット内の最下
    位に収納された薄片によってのみ遮断されるように配置
    したカセット式薄片搬出入用薄片検知装置。
  2. （２）　　投光部または受光部の装備位置を薄片のサイ
    ズに応じて変更可能にした実用新案登録請求の範囲第１
    項に記載のカセット式薄片搬出入用薄片検知装置。
JP17708483U 1983-11-15 1983-11-15 カセツト式薄片搬出入用薄片検知装置 Granted JPS6083245U (ja)

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JP17708483U JPS6083245U (ja) 1983-11-15 1983-11-15 カセツト式薄片搬出入用薄片検知装置

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JP17708483U JPS6083245U (ja) 1983-11-15 1983-11-15 カセツト式薄片搬出入用薄片検知装置

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Publication Number Publication Date
JPS6083245U true JPS6083245U (ja) 1985-06-08
JPH0128683Y2 JPH0128683Y2 (ja) 1989-08-31

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ID=30384811

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6382248A (ja) * 1986-09-26 1988-04-13 Canon Inc 薄板状物品の搬出または搬入装置
JP2846957B2 (ja) * 1993-03-29 1999-01-13 イェノプティック ゲーエムベーハー 局所クリーンルームの操作面においてディスク状の物体を操作するための装置
JP2018177516A (ja) * 2017-04-21 2018-11-15 株式会社日本キャリア工業 トレー検知機能を有する食品トレー搬送装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6382248A (ja) * 1986-09-26 1988-04-13 Canon Inc 薄板状物品の搬出または搬入装置
JP2846957B2 (ja) * 1993-03-29 1999-01-13 イェノプティック ゲーエムベーハー 局所クリーンルームの操作面においてディスク状の物体を操作するための装置
JP2018177516A (ja) * 2017-04-21 2018-11-15 株式会社日本キャリア工業 トレー検知機能を有する食品トレー搬送装置

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JPH0128683Y2 (ja) 1989-08-31

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