JPS6086900A - 半導体装置測定用ハンドラ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は半導体装置の′電気的特性、外形寸法を検査す
る半導体装置用ノ・ンドラーに関するものである。

〔従来技術〕

半導体装置においてはそのリード曲り等により外形寸法
に不具合が生じることがあシ、そのために必要な場合は
別途目視による外観検査が行なわれている。

従来から広く用いられている半導体装置測定用ハンドラ
ー（以下、ハンドラーと称す）の−例を第１図に示す。

図中、１は電気的測定前の被測定半導体装置を入れたマ
ガジンケース、２は被測定　・半導体装置の電気的特性
を検査する測定器、３は搬送路、４は測定の終了した半
導体装置を納める収納部である。この種の従来の装置で
はマガジンケース１に入った被測定半導体装置は搬送路
３を通って測定器２で一旦止まり、ここで電気的特性を
検査された後、良品のみが搬送路３を経て収納部４に納
められる。従って、この場合リード形状に異常をきたし
外形寸法に不具合が生じた半導体装置を、この過程で取
り除くことはできないため、別に外観チェック等の工程
が必要となる。

〔発明の目的〕

本発明は半導体装置の外形寸法の検査と電気的特性の検
査とを自動的に実行できる装置を提供するものである。

〔発明の構成〕

本発明は半導体装置を移送させる搬送路の途中に、半導
体装置の電気的特性を検査する測定器と、半導体装置の
外形寸法が規格内であるかどうかを検査する測定器とを
設置し、かつ各測定器より出力される判定信号に基づい
て不良品を搬送路から取り去る機構を備えだことを特徴
とする半導体装置測定用ハンドラーである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図により説明する。

第２図は本発明の一実施例を示すものであり、第３図、
第４図は第１図の各測定器を拡大して示すものである。

第２図において、１はマガジンケース、２は電気的特性
を検査する測定器、３は搬送路、５，６は被測定半導体
装置の外形寸法をそれぞれ搬送方向から垂直な面及び搬
送方向に平行な面から測定する測定器である。

第３図に示すように搬送方向に対し半導体装置の垂直な
面の外形寸法を検査する測定器５は分離面７で上下に組
合された上枠５αと下枠５ｂとから構成し、下枠５ｂに
は半導体装置ＩＣをそのリードＲ１゜Ｒ２間で支える台
座５Ｇを設け、規格の外形寸法でへ字状に開いたリード
Ｒ□、Ｒ２を受入れる側溝５ｄ、５ｄを該台座５ｃの両
側に設ける。また、上枠５ａの下面には半導体装置ＩＣ
を受入れる凹部５ｅを設け、凹部５ｅ及び側溝５ｄには
、例えばフォトトランジスターと受光素子との組合せか
らな９上下％５ａ、５ｂの側溝及び凹部を半導体装置が
通過するがどうかを監視して良品・不良品を判定する判
定素子５ｆを設置する。一方判定素子５ｆの出刃信号に
基づいて分離面７から上枠５ａを上方に押し開き不良品
を搬送路から取り去るハンドリング機構９を測定器５に
併設する。

第４図に示すように搬送路に平行な面での外形寸法を検
査する測定器６は本体６ａに、半導体装置ＩＣのリード
Ｒ，，Ｒ２に対応する櫛歯状の複数本の側溝６ｂ　、　
６ｂ・・・を設け、該側溝６ｂには、例えばフォトトラ
ンジスタと受光素子との組合せからなシ側苛を半導体装
置が通過するがどうかを監視して良情・不良品を判定す
る判定素子６Ｇを設置する。一方判定素子６Ｇの出力信
号に基づいて不良な半導体装置ＩＣの下部に差し込みこ
れを搬送路から取９去る取外し治具８を測定器６に併設
する。

また測定器２の下流には、該測定器２で出力される判定
信号に基づいて不良品を搬送路３から取り去るハンドリ
ング機構１０を設置する。

この実施例では被測定物の二方向から見た外形寸法が規
格内である場合のみ被測定物が２台の外形寸法測定器５
，６を通り抜けることができ、規格外であれば通り抜け
ることができないゲージ方式の測定器の例を示したが、
外形寸法測定器は他の方式でも同様の効果を得ることが
できるものである。

第２図に示すハンドラーでは、被測定半導体装置はマガ
ジンケース１から搬送路３を通り、測定器２で一旦市ま
り電気的特性を測定され、良品であれば外形寸法測定器
５に移送され、不良品はハンドリング機構１０により搬
送路３から除去される。

次に良品は搬送路３の途中に設けられた外形寸法測定器
５を通過する際に搬送方向から垂直な面での外形寸法が
規格に合うかどうか測定され、規格にあった良品は次の
外形寸法測定器６に送られる。−１不良品は測定器５に
併設されたハンドリング機構９により除去される。最後
に外形寸法測定器６を通過する際に搬送路に平行な面で
の外形寸法が規格に合うかどうか測定され、規格にあっ
た良品は収納部４に納められる。−１不良品は測定器６
に併設された取外し治具８により除去される。従って、
このハンドラーを通過した半導体装置は電気的測定及び
外形寸法測定が同時に実施され、従来別々に実施されて
いた半導体装置の電気的測定と外形寸法測定が本発明に
よるハンドラーでは同時に実施できるものである。この
場合、外形寸法の不具合があると、外形寸法測定器５又
は６に被測定半導体装置がひっかかることになるが、こ
のだめの時間損失を防止する例を第５図に示す。

第５図において、マガジンケース１に搬送路３ｃＬを接
続し、該搬送路３ａの途中に電気的特性を検査する測定
器２を設置するとともに下流側に、測定器２で出力され
る判定信号に基づいて不良品を搬送路３αから取シ去る
ハンドリング機構１０を設置する。

前記搬送路３ＣＬを分岐させて分岐路３ｂ　、　３ｃに
第３図に示す同種の外形寸法測定器５，５′を並列に設
置し、該分岐路３ｂ、　３　ｃに合流部を設けて再び分
岐させ該分岐路３ｄ、３ｇに第４図に示す同種の外形寸
法測定器６，６′を並列に設置する。そして２本の分岐
路３ｄ。

３ｅを合流させて収納部４に接続する。さらに、分岐路
３ｂ、３ｃ及び３ｄ、３ｇの合流部に通路切替器１１．
１２をそれぞれ設置し、上流側の通路切替器１１を測定
器５，５′で出力される判定信号によシ駆動し、−１下
流側の通路切替器１２を測定２Ｓ６＋６’で出力される
判定信号で駆動する。第５図では外形寸法測定器５及び
６に並列に同種の外形寸法測定器５′及び６′を設置す
ることにより、外形寸法測定器５又は６′に被測定半導
体装置がひっかかった場合、通路切替器ｉｉ　、　１２
により搬送路を切替え後続の被測定半導体装置を並列に
設置された外形寸法測定器５′又は６′へ導き、ハンド
ラーの時間損失を防止するもの、である。

以上の説明では製品外形の測定器５，６を電気的特性を
測定する測定器２の後に設けているが、その配置関係を
逆にして製品外形の測定器５，６を測定器２の前に設け
ることによってさらに有効となる。すなわち、外形寸法
の異常品が流れると、測定器２を破損させたり又、本来
良品となるべき軽度な外形寸法の異常品も電気的特性不
良として廃棄されたりすることを防ぐことができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は従来側々に行なわれていた
電気的特性及び外形寸法の検査を同時に行なうことがで
き、作業能率を向上できる効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のハンドラーの構成図、第２図は本発明に
よるハンドラーの実施例を示す構成図、第３図は第２図
における一方の外形寸法測定器を示す断面図、第４図は
第２図における他方の外形寸法測定器を示す斜視図、第
５図は本発明の他の実施例を示す構成図である。 ２・・・測定器、３・・・搬送路、５　、５’、　６　
、６’・・・測定器、８゜９．１０・・・不良品を搬送
路から取り去る機構特許出願人　日本電気体式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体装置を移送させる搬送路の途中に、半導体
   装置の電気的特性を検査する測定器と、半導体装置の幅
   、長さ、厚さ、リード間隔等の外形寸法が規格内である
   かどうかを検査する測定器とを設置し、かつ各測定器よ
   り出力される判定信号に基づいて不良品を搬送路から取
   ９去るノ・ンドリング機構を備えたことを特徴とする半
   導体装置測定用ハンドラー。