JPS6095929A - 位置認識装置 - Google Patents
位置認識装置Info
- Publication number
- JPS6095929A JPS6095929A JP58202649A JP20264983A JPS6095929A JP S6095929 A JPS6095929 A JP S6095929A JP 58202649 A JP58202649 A JP 58202649A JP 20264983 A JP20264983 A JP 20264983A JP S6095929 A JPS6095929 A JP S6095929A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- binary
- position recognition
- memory
- threshold value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、例えば半導体製造工程において半導体にし、
トの位置を自動認識するために使用される位ｎ Ｐ識装
置の改良に関する。
トの位置を自動認識するために使用される位ｎ Ｐ識装
置の改良に関する。
従来、この種の装置としては、例えば被認識対象物とし
ての半導体４レツトを工業用テレビ−）Ｉｌン（ＩＴＶ
）カメラで撮像してその撮像画像を画像メモリに記憶し
、このメモリに記憶された撮像画像から特定の画像ｉ４
？ターンを検出することによシ上記半導体ベレットの位
１ｄを認識するものが知られている。
ての半導体４レツトを工業用テレビ−）Ｉｌン（ＩＴＶ
）カメラで撮像してその撮像画像を画像メモリに記憶し
、このメモリに記憶された撮像画像から特定の画像ｉ４
？ターンを検出することによシ上記半導体ベレットの位
１ｄを認識するものが知られている。
ところで、この位置を認識する方法としては、従来よシ
例えば半導体ペレットのエツジ部分を検出することによ
＃）認識するものと、半導体ペレット上に形成されたが
ンディングパッドや回路パターンをパターンマツチング
法によ＃）検出することによって認識するものとが多く
使用されている。前者の方法は、半導体ペーレットの初
期位置ずれ普力；各ルナなｌイ家、６− ＝ｔｂ Ｉ仔
ｆｂｆ Ｉｙ訪識を行なえるが、位置認識精度が低いた
めに例えばワイヤビンディング用の位置認識のように高
い精度が要求される場合には不向きである。
例えば半導体ペレットのエツジ部分を検出することによ
＃）認識するものと、半導体ペレット上に形成されたが
ンディングパッドや回路パターンをパターンマツチング
法によ＃）検出することによって認識するものとが多く
使用されている。前者の方法は、半導体ペーレットの初
期位置ずれ普力；各ルナなｌイ家、６− ＝ｔｂ Ｉ仔
ｆｂｆ Ｉｙ訪識を行なえるが、位置認識精度が低いた
めに例えばワイヤビンディング用の位置認識のように高
い精度が要求される場合には不向きである。
−劣後者のノやターンマツチングによる方法は、上記エ
ツジによる方法とは逆に高精度の位置認識が可能である
が、演算量が膨大になるため認識速度が遅く、特に位置
ずれ量が大きい場合にはマツチングを行なう特定の画像
・やターンを撮像画像中から探さなければならないので
、認識速度が極めて遅くなる。
ツジによる方法とは逆に高精度の位置認識が可能である
が、演算量が膨大になるため認識速度が遅く、特に位置
ずれ量が大きい場合にはマツチングを行なう特定の画像
・やターンを撮像画像中から探さなければならないので
、認識速度が極めて遅くなる。
そこで、近年これらの各方法を併用して、先ず前者のエ
ツジ検出による方法で半導体ペットの大まかな位置認識
を行ない、しかるのち後者の７４ターンマツチノグ法に
よシ高精度の位ＩＭ、認識を行なう装置が提唱されてい
る。
ツジ検出による方法で半導体ペットの大まかな位置認識
を行ない、しかるのち後者の７４ターンマツチノグ法に
よシ高精度の位ＩＭ、認識を行なう装置が提唱されてい
る。
ところが、この梅の従来の装置は、エツジ検出のための
画像と、／ｆターンマツチングによる検出に用いる画像
とを、その検出パターンの画像信号レベルが異なること
から、各検出毎にその都度撮像部を駆動して得ている。
画像と、／ｆターンマツチングによる検出に用いる画像
とを、その検出パターンの画像信号レベルが異なること
から、各検出毎にその都度撮像部を駆動して得ている。
このため、各画像を得るために多くの時間を要し、これ
が認識速度を高める上での大きなネックになっていた。
が認識速度を高める上での大きなネックになっていた。
本発明は、被認識対象物の撮像走査を１回行なうだけで
複数種の位置認識方法に用いる画像を得られるようＫし
、撮像走査に要する時間を短縮して認識速度の向上をは
かシ得る位置認識装置を提供することを目的とする。
複数種の位置認識方法に用いる画像を得られるようＫし
、撮像走査に要する時間を短縮して認識速度の向上をは
かシ得る位置認識装置を提供することを目的とする。
本発明は、上記目的を達成するために、それぞれ複数種
の画像／４’ターン毎に設定したしきい値を持つ複数の
２値化回路を設け、これらの２値化回路に撮像部で得ら
れた撮像画像信号を導入してそれぞれ各しきい値に従っ
て２値化し、これらの各２値化画像信号を論理演算回路
で相互に合成して前記各画像／４’ターンをすべて含む
画像情報を得、この画像情報をメモリに記憶して位置認
識処理に供するようにしたものである。
の画像／４’ターン毎に設定したしきい値を持つ複数の
２値化回路を設け、これらの２値化回路に撮像部で得ら
れた撮像画像信号を導入してそれぞれ各しきい値に従っ
て２値化し、これらの各２値化画像信号を論理演算回路
で相互に合成して前記各画像／４’ターンをすべて含む
画像情報を得、この画像情報をメモリに記憶して位置認
識処理に供するようにしたものである。
第１図は、本発明の一実施例における位置認識装置のプ
ロ、り構成図である。この装置は、被認識対象物として
の半導体ペレットを撮像走査する工業用テレビジョン（
■Ｔｖ）カメラ１と、このＩＴＶカメラ１で得られた撮
像画像信号ＶＳを２値化する２つの２値化回路２ａ、２
ｂと、これらの２値化回路２ ａ ＊ ２ ｂから出力
された２値化画像信号ＳＳａ 、 ＳＳｂを論理和処理
する論理和回路３と、この論理和回路３で得られた合成
画像信号ＡＶＳを記憶する画像メモリ４と、この画像メ
モリ４に記憶された合成画像信号ＡＶＳから半導体ペレ
ットの位置認識を行なう位置認識演算回路５とから構成
されている。
ロ、り構成図である。この装置は、被認識対象物として
の半導体ペレットを撮像走査する工業用テレビジョン（
■Ｔｖ）カメラ１と、このＩＴＶカメラ１で得られた撮
像画像信号ＶＳを２値化する２つの２値化回路２ａ、２
ｂと、これらの２値化回路２ ａ ＊ ２ ｂから出力
された２値化画像信号ＳＳａ 、 ＳＳｂを論理和処理
する論理和回路３と、この論理和回路３で得られた合成
画像信号ＡＶＳを記憶する画像メモリ４と、この画像メ
モリ４に記憶された合成画像信号ＡＶＳから半導体ペレ
ットの位置認識を行なう位置認識演算回路５とから構成
されている。
前記各２値化回路２ ’ａ ＊ ｊ ｂは、それぞれ第
２図に示すような半導体ペレット１ｏのエツジ部分（半
導体ペレット１０とベレット台１１との境界部分）Ａを
検出するために設定した第１のしきい値Ｌ１、および半
導体ペレットｌｏ内のポンプイングツ４ツド１２あるい
は回路゛ノ９ターンを検出するために設定した第２のし
きい値Ｌ２を有している。そして、これらのしきい値Ｌ
１．Ｌ２に従って前記ＩＴＶカメラ１により得られた撮
像画像信号ＶＳを２値化する。なお、各２値化回路２ａ
ｒ２ｂのうち２値化回路２ａは、インバータ回路を有し
ており、このインバータ回路により自己の２値化画像信
号出力の論理を反転している。
２図に示すような半導体ペレット１ｏのエツジ部分（半
導体ペレット１０とベレット台１１との境界部分）Ａを
検出するために設定した第１のしきい値Ｌ１、および半
導体ペレットｌｏ内のポンプイングツ４ツド１２あるい
は回路゛ノ９ターンを検出するために設定した第２のし
きい値Ｌ２を有している。そして、これらのしきい値Ｌ
１．Ｌ２に従って前記ＩＴＶカメラ１により得られた撮
像画像信号ＶＳを２値化する。なお、各２値化回路２ａ
ｒ２ｂのうち２値化回路２ａは、インバータ回路を有し
ており、このインバータ回路により自己の２値化画像信
号出力の論理を反転している。
このような構成であるから、半導体ペレットの一部を含
む所定の領域（第２図■）をＩＴＶカメラ１で撮像する
と、それによって得られた例えば走査線Ｏにおける撮像
画像信号ＶＳは各２値化回路２＆、２ｂにそれぞれ導入
され、ここでそれぞれ第１のしきい値Ｌ１および第２の
しきい値Ｌ２に従って第３図に示す如く２値化される。
む所定の領域（第２図■）をＩＴＶカメラ１で撮像する
と、それによって得られた例えば走査線Ｏにおける撮像
画像信号ＶＳは各２値化回路２＆、２ｂにそれぞれ導入
され、ここでそれぞれ第１のしきい値Ｌ１および第２の
しきい値Ｌ２に従って第３図に示す如く２値化される。
なお、２値化回路２ａで２値化された信号ＳＳａは、イ
ンバータ回路により＠３図ＳＳａのように論理反転され
る。そして、これらの２値化画像信号ＳＳａ 、 ＳＳ
ｂは、論理和回路３に導ひかれ、ここで第３図に示す如
く相互にａ而理オロ処理される。この結果、論理和回路
ｉでは、２値化回路２ａで得られた半導体ペレッ） １
０’のエツジ部分Ａの画像パターンと、２値化回路２ｂ
で得られた半導体ペレットの？ンディングノ’？−）ド
１２の画像ｉｅターンとをともに含む合成画像（第４図
（Ｃ））が得られる。なお、第４図（ａ）、’（ｂ）は
、それぞれ上記各２値化回路ｌｈ、；！ｂにより得られ
た２値化画像を示すものである。そして、上記合成画像
は画像メモリ４に記憶され、以後位置認識演算回路５に
よる位置認識演算処理に供される。
ンバータ回路により＠３図ＳＳａのように論理反転され
る。そして、これらの２値化画像信号ＳＳａ 、 ＳＳ
ｂは、論理和回路３に導ひかれ、ここで第３図に示す如
く相互にａ而理オロ処理される。この結果、論理和回路
ｉでは、２値化回路２ａで得られた半導体ペレッ） １
０’のエツジ部分Ａの画像パターンと、２値化回路２ｂ
で得られた半導体ペレットの？ンディングノ’？−）ド
１２の画像ｉｅターンとをともに含む合成画像（第４図
（Ｃ））が得られる。なお、第４図（ａ）、’（ｂ）は
、それぞれ上記各２値化回路ｌｈ、；！ｂにより得られ
た２値化画像を示すものである。そして、上記合成画像
は画像メモリ４に記憶され、以後位置認識演算回路５に
よる位置認識演算処理に供される。
このように本実施例の装置であれば、被認識領域を１回
撮像しただけで、その撮像画像信号ＶＳから半導体ペレ
ットのエツジ部分の画像パターンとがンディングパッド
１２の画像パターンとをすべて含む２値化画像を得るこ
とができる。したがって、各画像ツクターン毎に撮像を
行なう従来のものに比べて、画像を得るために必要な一
時間を約半分にすることができ、この結果属λ識速反ヲ
大幅に向上させることができる。一般にＩＴＶカメラ１
で１画面分の画像を得るに必要な時間は約３３ ｍ５ｅ
ｃであり、この値は位置認識演算回路５におｉる演算処
理時間（約５ ｍｑｅｃ ）に比べてかなシ大きな値で
ある。したがって、撮像の回数を低減できることは、全
体の位置認識時間を短縮する上でイ創めて有効である。
撮像しただけで、その撮像画像信号ＶＳから半導体ペレ
ットのエツジ部分の画像パターンとがンディングパッド
１２の画像パターンとをすべて含む２値化画像を得るこ
とができる。したがって、各画像ツクターン毎に撮像を
行なう従来のものに比べて、画像を得るために必要な一
時間を約半分にすることができ、この結果属λ識速反ヲ
大幅に向上させることができる。一般にＩＴＶカメラ１
で１画面分の画像を得るに必要な時間は約３３ ｍ５ｅ
ｃであり、この値は位置認識演算回路５におｉる演算処
理時間（約５ ｍｑｅｃ ）に比べてかなシ大きな値で
ある。したがって、撮像の回数を低減できることは、全
体の位置認識時間を短縮する上でイ創めて有効である。
また画像メモリ４には１画面分の画像のみを記憶すれば
よいので、画像メモリの容量を低減することができる。
よいので、画像メモリの容量を低減することができる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではない・
例えば、上記実施例では半導体ペレッ）＋７）エッソト
ホンディングパッドとを検出するために２個の２値化回
路２” ｒ ２ ｂを設けたが、上記各画像パターンと
は信号レベルの異なる他の画像パターンを検出する必倣
がある場合には、その画像／やターンの数に応じて３個
以上の２値化回路を設けてもよい。また、前記実施例で
は、論理和処理によシ合成画像を得たが、別の論理処理
によシ得るようにしてもよい。さらに、撮像部は固体撮
像装置であってもよく、その他位置認識方法の種類や被
認識対象物の種類等についても、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲で種々変形して実施できる。
例えば、上記実施例では半導体ペレッ）＋７）エッソト
ホンディングパッドとを検出するために２個の２値化回
路２” ｒ ２ ｂを設けたが、上記各画像パターンと
は信号レベルの異なる他の画像パターンを検出する必倣
がある場合には、その画像／やターンの数に応じて３個
以上の２値化回路を設けてもよい。また、前記実施例で
は、論理和処理によシ合成画像を得たが、別の論理処理
によシ得るようにしてもよい。さらに、撮像部は固体撮
像装置であってもよく、その他位置認識方法の種類や被
認識対象物の種類等についても、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲で種々変形して実施できる。
以上詳述したように本発明は、それぞれ複数種の画像・
母ターン毎に設定したしきい値を持つ複数の２値化回路
を設け、これらの２値化回路に撮像部で得られた撮像画
像信号を導入してそれぞれ各しきい値に従って２値化し
、これらの各２値化画像信号を論理演算回路で合成して
前記各画像・母ターンをすべて含む画像情報を得、この
画像情報をメモリに記憶して位ＲＨＲｒ＆に供するよう
にしたものである。
母ターン毎に設定したしきい値を持つ複数の２値化回路
を設け、これらの２値化回路に撮像部で得られた撮像画
像信号を導入してそれぞれ各しきい値に従って２値化し
、これらの各２値化画像信号を論理演算回路で合成して
前記各画像・母ターンをすべて含む画像情報を得、この
画像情報をメモリに記憶して位ＲＨＲｒ＆に供するよう
にしたものである。
したがって本発明によれば、被認識対象物の撮像走査を
１回行なうだけで複数種の位置認識装置に用いる画像を
得ることができ、撮像走査に要する時間を短縮して認識
速度の向上金はかり得る位置認識装置を提供することが
できる。
１回行なうだけで複数種の位置認識装置に用いる画像を
得ることができ、撮像走査に要する時間を短縮して認識
速度の向上金はかり得る位置認識装置を提供することが
できる。
第１図は本発明の一実施例における位置認識装置のブロ
ック構成図、第２図は被認識対象物の一例として示した
半導体ペレットの平面図、第３図および第４図（ａ）〜
（Ｃ）はそれぞれ第１図に示した装置の作用説明に用い
るためのもので、第３図は信号波形図、第４図（ａｌ〜
（ｅ）は画像パターンを示す模式図である。 １・・・ＩＴＶカメラ、２ａ、２ｂ・・・２値化回路、
３・・・論理和回路、４・・・画像メモリ、５・・・位
置認識演算回路、１０・・・半導体ペレット、１２・・
・？ンディングパッド、Ａ・・・エツジ部分、Ｌノ・・
・第１のしきい値、Ｌ２・・・第２のしきい値。
ック構成図、第２図は被認識対象物の一例として示した
半導体ペレットの平面図、第３図および第４図（ａ）〜
（Ｃ）はそれぞれ第１図に示した装置の作用説明に用い
るためのもので、第３図は信号波形図、第４図（ａｌ〜
（ｅ）は画像パターンを示す模式図である。 １・・・ＩＴＶカメラ、２ａ、２ｂ・・・２値化回路、
３・・・論理和回路、４・・・画像メモリ、５・・・位
置認識演算回路、１０・・・半導体ペレット、１２・・
・？ンディングパッド、Ａ・・・エツジ部分、Ｌノ・・
・第１のしきい値、Ｌ２・・・第２のしきい値。
Claims (1)
- 被認識対象物を撮像部により撮像してその撮像画像をメ
モリに記憶し、この撮像画像から互いに撮像信号レベル
の異なる複数種の画像パターンの位置を順次検出するこ
とにより、上記被認識対象物の位置認識を行なう位置認
識装置において、それぞれ前記複数種の１ｌｉｉ像ノ９
ターン毎に設定したしきい値を持ち前記撮像部で得られ
た搬像画像信号を上記しきい値に従ってそれぞれ２値化
する複数の２値化回路と、これらの２値化回路で得られ
た２値化画像信号を相互に合成して前記各画像ノ４ター
ンをすべて含む画像情報を得る論理演算回路とを具備し
、この暢理演真回路によシ得られた合成画像を前記メモ
リに記憶し、位置認識処理に供するようにしたことを特
徴とする位置認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58202649A JPS6095929A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 位置認識装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58202649A JPS6095929A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 位置認識装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6095929A true JPS6095929A (ja) | 1985-05-29 |
Family
ID=16460840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58202649A Pending JPS6095929A (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | 位置認識装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6095929A (ja) |
-
1983
- 1983-10-31 JP JP58202649A patent/JPS6095929A/ja active Pending
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