JPS5934961B2 - パタ−ン検査方式 - Google Patents
パタ−ン検査方式Info
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- JPS5934961B2 JPS5934961B2 JP49047749A JP4774974A JPS5934961B2 JP S5934961 B2 JPS5934961 B2 JP S5934961B2 JP 49047749 A JP49047749 A JP 49047749A JP 4774974 A JP4774974 A JP 4774974A JP S5934961 B2 JPS5934961 B2 JP S5934961B2
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明はパターンの検査方法及びその装置に関するもの
である。
である。
従来、パターンの検査識別装置には、標準パターンをい
くつか用意しておき、入力パターンとのパターンマッチ
ングにより入力パターンを検査、識別する方式と、対象
パターンのいくつかの幾何学的特徴を入力パターンにつ
いて求め標準パターンのそれと比較し、検査、識別する
方式があつた。
くつか用意しておき、入力パターンとのパターンマッチ
ングにより入力パターンを検査、識別する方式と、対象
パターンのいくつかの幾何学的特徴を入力パターンにつ
いて求め標準パターンのそれと比較し、検査、識別する
方式があつた。
しかしながら前者の方式には標準パターンを多く用意せ
ねばならないと共に、位置合せをすることが必要となる
などの欠点があり、後者の方式には多くの判定基準を設
けないと誤認することがあるなどの欠点がある。本発明
の目的は、上記従来技術の欠点をなくし、９０度回転対
称または点対称（１８０度回転対称）の２次元パターン
に欠階が存在するか否かについて簡単な構成で、能率よ
く、高精度に検査することができるようにしたパターン
検査方法及びその装置を提供するにある。
ねばならないと共に、位置合せをすることが必要となる
などの欠点があり、後者の方式には多くの判定基準を設
けないと誤認することがあるなどの欠点がある。本発明
の目的は、上記従来技術の欠点をなくし、９０度回転対
称または点対称（１８０度回転対称）の２次元パターン
に欠階が存在するか否かについて簡単な構成で、能率よ
く、高精度に検査することができるようにしたパターン
検査方法及びその装置を提供するにある。
即ち本発明は、正常ならば９０度回転対称または点対称
であるパターンを１つの撮像装置を用いて撮像し、この
１つの撮像装置から得られる映像信号を２値化回路で２
値絵素化し、この２値絵素化信号をシフトレジスタ群を
用いて上記パターンを一度に切出せる大きさをもつた記
憶装置の２次元的に配列された記憶要素に同期信号にも
とづいて順次行方向及び列方向に移行させて切出し、こ
の切出された記憶装置から読み出して行方向に投影され
たパターンの長さの中心線と列方向に投影されたパター
ンの長さの中心線との交点が、上記記憶装置の所定の記
憶要素に位置することを検知し、この検知によつて求め
られた交点の位置に対して９０度、または１８０度回転
させたとき対称関係にある二つの記憶要素に記憶された
二つの２値絵素化信号を上記記憶装置に切出された２値
化パターンのしめる領域の記憶要素に亘つて読み出して
同一であるか否かを比較し、９０度回転対称または点対
称であるパターンに欠陥があるか否かを検査することを
特徴とするパターン検査方法であり、また本発明は、正
常ならば９０度回転対称または点対称であるパターンを
走査しながら撮像する１つの撮像装置と、該１つの撮像
装置によつて得られる映像信号を所定のしきい値で２値
化すると共にサンプリングして絵素化する２値化回路と
、該２値化回路より出力される２値絵素化信号をシフト
レジスタ群を介して２次元的に配列された記憶要素にサ
ンプリング信号等の同期信号にもとづいて順次行方向及
び列方向に移行させて切出す記憶装置と、該記憶装置の
所定の記憶要素に対して、排他的論理和回路等で行方向
に投影されたパターンの長さの中心線と列方向に投影さ
れたパターンの長さの中心線との交点が位置することを
検知する検知手段と、該検知手段で上記交点が上記所定
の記憶要素に位置したことを検知したとき、この交点に
対して９０度または１８０度回転させた対称関係にある
二つの記憶要素に記憶された二つの２値絵素化信号を、
上記記憶装置に切出された２値パターンのしめる領域の
記憶要素に亘つて読み出して同一であるか否かを比較す
る比較手段とを備え、該比較手段の出力によつて９０度
回転対称または点対称であるパターンに欠陥が存在する
か否かを検査するように構成したことを特徴とするパタ
ーン検査装置である。
であるパターンを１つの撮像装置を用いて撮像し、この
１つの撮像装置から得られる映像信号を２値化回路で２
値絵素化し、この２値絵素化信号をシフトレジスタ群を
用いて上記パターンを一度に切出せる大きさをもつた記
憶装置の２次元的に配列された記憶要素に同期信号にも
とづいて順次行方向及び列方向に移行させて切出し、こ
の切出された記憶装置から読み出して行方向に投影され
たパターンの長さの中心線と列方向に投影されたパター
ンの長さの中心線との交点が、上記記憶装置の所定の記
憶要素に位置することを検知し、この検知によつて求め
られた交点の位置に対して９０度、または１８０度回転
させたとき対称関係にある二つの記憶要素に記憶された
二つの２値絵素化信号を上記記憶装置に切出された２値
化パターンのしめる領域の記憶要素に亘つて読み出して
同一であるか否かを比較し、９０度回転対称または点対
称であるパターンに欠陥があるか否かを検査することを
特徴とするパターン検査方法であり、また本発明は、正
常ならば９０度回転対称または点対称であるパターンを
走査しながら撮像する１つの撮像装置と、該１つの撮像
装置によつて得られる映像信号を所定のしきい値で２値
化すると共にサンプリングして絵素化する２値化回路と
、該２値化回路より出力される２値絵素化信号をシフト
レジスタ群を介して２次元的に配列された記憶要素にサ
ンプリング信号等の同期信号にもとづいて順次行方向及
び列方向に移行させて切出す記憶装置と、該記憶装置の
所定の記憶要素に対して、排他的論理和回路等で行方向
に投影されたパターンの長さの中心線と列方向に投影さ
れたパターンの長さの中心線との交点が位置することを
検知する検知手段と、該検知手段で上記交点が上記所定
の記憶要素に位置したことを検知したとき、この交点に
対して９０度または１８０度回転させた対称関係にある
二つの記憶要素に記憶された二つの２値絵素化信号を、
上記記憶装置に切出された２値パターンのしめる領域の
記憶要素に亘つて読み出して同一であるか否かを比較す
る比較手段とを備え、該比較手段の出力によつて９０度
回転対称または点対称であるパターンに欠陥が存在する
か否かを検査するように構成したことを特徴とするパタ
ーン検査装置である。
以下本発明を図に示す実施例にもとづいて説明する。
第１図は本発明のパターン検査装置の構成を示す図であ
る。同図に示す如く１は対象画像（２次元パターン）９
が描かれた物体である。この対象画像９は９０度または
１８０度回転しても同じ形状を有する方形もしくは円形
などの画像から形成されている。即ち対象画像９は９０
度回転対称または点対称の２次元パターンで形成されて
いる。２は撮像装置にして、ＴＶカメラもしくはホトダ
イオードアレイ等から構成され、上記物体１の２次元パ
ターンを走査しながら撮像して映像信号に変換するもの
である。
る。同図に示す如く１は対象画像（２次元パターン）９
が描かれた物体である。この対象画像９は９０度または
１８０度回転しても同じ形状を有する方形もしくは円形
などの画像から形成されている。即ち対象画像９は９０
度回転対称または点対称の２次元パターンで形成されて
いる。２は撮像装置にして、ＴＶカメラもしくはホトダ
イオードアレイ等から構成され、上記物体１の２次元パ
ターンを走査しながら撮像して映像信号に変換するもの
である。
３は２値化回路にして、上記映像信号を所定のしきい値
で２値化すると共にサンプリングして絵素化して″０−
もしくば１゛からなる２値絵素化信号に変換するもので
ある。
で２値化すると共にサンプリングして絵素化して″０−
もしくば１゛からなる２値絵素化信号に変換するもので
ある。
４はシフトレジスタ群にして、各々のシフトレジスタ４
１〜４。
１〜４。
、は上記２次元パターンの各行（走査線）の２値化映像
信号を記憶する多数の記憶素子から成り、各々の記憶素
子に記憶された２値絵素化映像信号をシフトするよう構
成されている。５は２次元メモリーにしてＮｘｎの記憶
要素Ａｉｊ（ｊ−１〜Ｎ，ｊ＝１〜ｎ）から形成され、
２値化回路３及びシフトレジスタ４１〜４０−１からの
出力信号を記憶要素Ａｉｊ（１＝１〜Ｎ，ｊ＝１〜ｎ）
の各行に入力するように接続されている。
信号を記憶する多数の記憶素子から成り、各々の記憶素
子に記憶された２値絵素化映像信号をシフトするよう構
成されている。５は２次元メモリーにしてＮｘｎの記憶
要素Ａｉｊ（ｊ−１〜Ｎ，ｊ＝１〜ｎ）から形成され、
２値化回路３及びシフトレジスタ４１〜４０−１からの
出力信号を記憶要素Ａｉｊ（１＝１〜Ｎ，ｊ＝１〜ｎ）
の各行に入力するように接続されている。
６は２次元メモリにしてＮＸｎの記憶要素Ｂｉｊ（１−
１〜Ｎ，ｊ＝１〜ｎ）から形成され２値化回路３及びシ
フトレジスタ４１〜４。
１〜Ｎ，ｊ＝１〜ｎ）から形成され２値化回路３及びシ
フトレジスタ４１〜４。
からの出力信号を記憶要素Ｂｉｊ（１＝１〜Ｎ，ｊ一１
〜ｎ）の各列に入力するよう接続されている。７は２次
元メモリ５に記憶された２次元パターンと２次元メモリ
ー６に記憶された２次元パターンを比較する比較論理回
路にして、排他的論理和回路及び論理積回路もしくは論
理和回路等の組合せにて形成されている。
〜ｎ）の各列に入力するよう接続されている。７は２次
元メモリ５に記憶された２次元パターンと２次元メモリ
ー６に記憶された２次元パターンを比較する比較論理回
路にして、排他的論理和回路及び論理積回路もしくは論
理和回路等の組合せにて形成されている。
１０は２次元メモリー５に切出されて記憶された対象画
像（２次元パターン）９の中心が２次元メモリー５の中
心に位置したときを検知する検知回路で、具体的には第
４図に示す如く、２次元メモリー５の記憶要素Ａｉｊ（
１一１〜Ｎ，ｊ＝１〜ｎ）の各行Ｂｉｊ−Ｂｎｊｌ及び
各列Ｂｉｌ〜Ｂｉｎに亘つて論理和（対象画像力げビな
る２値絵素化信号で背景が″０゛゜なる２値絵素化信号
の場合）もしくは論理積（対象画像が１『”なる２値絵
素化信号で背景が″１゛なる２値絵素化信号の場合）を
とる行の論理和回路１１ａもしくは論理積回路、及び列
の論理和回路１１ｂもしくは論理積回路と、上記２次元
メモリー５の中心ｎ↑ １（？）（但しｎは奇数）を中
心として対称なｎ−１ｎ＋３ｎ−３る行（？の行と？の
行、−？の行と ２２２ｎ ＋５ｎ−（ｎ−２） ｎ＋ｎ −ーの行、・・・・・・？の行と？ の行）の上記行の論理和回路１１ａもしくは論理積回路
の出力の排他的論理和をとる行の排他的論理和回路１２
ａ及び２次元メモリー５の中心ｎ＋１（？）（但しｎは
奇数）を中心として対称な−１１１１０１１Ｕる列（？
の列と？の列、？の列と ０００ｎ ＋５ｎ−（ｎ−２ノ ｎ＋ｎ ？の列、・・・・・・？一の列と？ の列）の上記列の論理和回路１１ｂもしくは論理積回路
の出力の排他的論理和をとる列の排他的論理和回路１２
ｂとを備え、この行の排他的論理和回路及び列の排他的
論理和回路の出力に１１゛が含まれなくなつて全て６０
″になつたとき、論理和否定回路１３ａ，１３ｂの各々
の出力信号が６１″となり、論理積回路１４の論理積が
とれ、２次元メモリー５の中心（所定の記憶要素）に対
象画像（２次元パターン）９の中心が位置したことが検
知されるものである。
像（２次元パターン）９の中心が２次元メモリー５の中
心に位置したときを検知する検知回路で、具体的には第
４図に示す如く、２次元メモリー５の記憶要素Ａｉｊ（
１一１〜Ｎ，ｊ＝１〜ｎ）の各行Ｂｉｊ−Ｂｎｊｌ及び
各列Ｂｉｌ〜Ｂｉｎに亘つて論理和（対象画像力げビな
る２値絵素化信号で背景が″０゛゜なる２値絵素化信号
の場合）もしくは論理積（対象画像が１『”なる２値絵
素化信号で背景が″１゛なる２値絵素化信号の場合）を
とる行の論理和回路１１ａもしくは論理積回路、及び列
の論理和回路１１ｂもしくは論理積回路と、上記２次元
メモリー５の中心ｎ↑ １（？）（但しｎは奇数）を中
心として対称なｎ−１ｎ＋３ｎ−３る行（？の行と？の
行、−？の行と ２２２ｎ ＋５ｎ−（ｎ−２） ｎ＋ｎ −ーの行、・・・・・・？の行と？ の行）の上記行の論理和回路１１ａもしくは論理積回路
の出力の排他的論理和をとる行の排他的論理和回路１２
ａ及び２次元メモリー５の中心ｎ＋１（？）（但しｎは
奇数）を中心として対称な−１１１１０１１Ｕる列（？
の列と？の列、？の列と ０００ｎ ＋５ｎ−（ｎ−２ノ ｎ＋ｎ ？の列、・・・・・・？一の列と？ の列）の上記列の論理和回路１１ｂもしくは論理積回路
の出力の排他的論理和をとる列の排他的論理和回路１２
ｂとを備え、この行の排他的論理和回路及び列の排他的
論理和回路の出力に１１゛が含まれなくなつて全て６０
″になつたとき、論理和否定回路１３ａ，１３ｂの各々
の出力信号が６１″となり、論理積回路１４の論理積が
とれ、２次元メモリー５の中心（所定の記憶要素）に対
象画像（２次元パターン）９の中心が位置したことが検
知されるものである。
また検知回路１０の出力は上記比較論理回路７に接続さ
れている。上記構成により物体１の対象画像（２次元パ
ターン）９は撮像装置２により映像信号に変換され、２
値化回路３で２値化映像信号に変換され２次元メモリー
５，６及びシフトレジスタ群４に人力される。シフトレ
ジスタ群４は、撮像装置２が撮像する一走査線メモリす
るシフトレジスタを直列に接続して構成され、各々のシ
フトレジスタからはサンプリング信号でシフトされて出
力される２値絵素化信号が２次元メモリ５，６に並列に
入力される形となり、２次元メモリ５，６には順次２次
元パターン６が切出されサンプリング信号によつて移行
する。これにより２次元メモリ６には、２次元メモリー
５に対して９０度回転した２次元パターンが記される。
これら２次元メモリー５及び２次元メモリー６に記憶さ
れた対象画像（２次元パターン）９の内容は撮像装置２
の走査信号に同期した同期信号にもとづいてシフトされ
ながら移行する。この間に対象画像９の中心が２次元メ
モリー５に記憶された対象画像（２次元パターン）の中
心に位置したとき、検知回路１０の全ての排他的論理和
回路１２ａ，１２ｂから６１″なる信号が出力されて検
知され、２次元メモリー５及び２次元メモリー６からの
２値化映像信号を比較論理回路７に印加できるように比
較論理回路７内に設けられたゲートを開く。これにより
比較論理回路７は２次元メモリー５に記憶された対象画
像（２次元パターン）と２次元メモリー６に記憶された
対象画像（２次元パターン）を比較し、物体上に存在す
る対象画像９の良否を検査し、判定信号８を出力する。
次に第２図ａに示す如く対象画像９が正方形にて形成さ
れ、角に欠陥１１がある場合について具体的に説明する
。
れている。上記構成により物体１の対象画像（２次元パ
ターン）９は撮像装置２により映像信号に変換され、２
値化回路３で２値化映像信号に変換され２次元メモリー
５，６及びシフトレジスタ群４に人力される。シフトレ
ジスタ群４は、撮像装置２が撮像する一走査線メモリす
るシフトレジスタを直列に接続して構成され、各々のシ
フトレジスタからはサンプリング信号でシフトされて出
力される２値絵素化信号が２次元メモリ５，６に並列に
入力される形となり、２次元メモリ５，６には順次２次
元パターン６が切出されサンプリング信号によつて移行
する。これにより２次元メモリ６には、２次元メモリー
５に対して９０度回転した２次元パターンが記される。
これら２次元メモリー５及び２次元メモリー６に記憶さ
れた対象画像（２次元パターン）９の内容は撮像装置２
の走査信号に同期した同期信号にもとづいてシフトされ
ながら移行する。この間に対象画像９の中心が２次元メ
モリー５に記憶された対象画像（２次元パターン）の中
心に位置したとき、検知回路１０の全ての排他的論理和
回路１２ａ，１２ｂから６１″なる信号が出力されて検
知され、２次元メモリー５及び２次元メモリー６からの
２値化映像信号を比較論理回路７に印加できるように比
較論理回路７内に設けられたゲートを開く。これにより
比較論理回路７は２次元メモリー５に記憶された対象画
像（２次元パターン）と２次元メモリー６に記憶された
対象画像（２次元パターン）を比較し、物体上に存在す
る対象画像９の良否を検査し、判定信号８を出力する。
次に第２図ａに示す如く対象画像９が正方形にて形成さ
れ、角に欠陥１１がある場合について具体的に説明する
。
まず検知回路１０は対象画像９の中心Ｐが、第２図ｂに
示す如く２次元メモリー５（１Σ１１Σ１Ａｉｊ）の中
心Ｑに位置するｉ二１ｊ＝１のを検知する。
示す如く２次元メモリー５（１Σ１１Σ１Ａｉｊ）の中
心Ｑに位置するｉ二１ｊ＝１のを検知する。
このとき２次元メモリー５には、第２図ｂに示すように
正方形の対象画像９ａが２値化映像信号にて切出されて
記憶される。一方２次元メモリー６には上記正方形の対
象画像９ａを９０度回転した対象画像９ｂが第２図ｃに
示すように２値化映像信号にて切出されて記憶される。
この両方の対象画像９ａ及び９ｂを比較論理回路７内に
内蔵されている排他的論理和回路により排他的論理和を
とると、記憶要素Ａ４，８と記憶要素Ｂ４，８、記憶要
素Ａ５，８と記憶要素Ｂ５，８、記憶要素Ａ８，７と記
憶要素Ｂ８，７，記憶要素Ａ８，８と記憶要素Ｂ８，８
の各々の記憶内容が異るため、“１゛なる信号が出力さ
れ、対象画像９には欠陥１１が存在するものとして、不
良品として判定される。しかしながら対象画像９に欠陥
１１がない場合には、２次元メモリー５の記憶要素Ａｉ
ｊの内容と２次元メモリー６の記憶要素Ｂｉｊの内容と
一致するため比較論理回路７の排他的論理回路から１０
゛なる信号が出力され対象画像９には欠陥がないものと
して、良品として判定される。しかし実際には量子化誤
差が発生するので上記判定にはこの量子化誤差について
考慮させる必要がある。ところで上記実施例では２次元
メモリー６に対象画像９を２次元メモリー５に対して９
０度回転させて記憶し、同じ対応位置の記憶要素を比較
論理回路７で比較しているが、２次元メモリー６も回転
させないで２次元メモリー５と同じように記憶させ、比
較論理回路７で比較するとき２次元メモリー５の所定の
記憶要素と、この記憶要素に対して９０度回転させた位
置の２次元メモリー６の記憶要素とを比較しても同じ作
用になることは明らかである。ところで本発明において
は本来９０度回転対称性または点対称性を有する２次元
パターンであればよいことは明らかである。
正方形の対象画像９ａが２値化映像信号にて切出されて
記憶される。一方２次元メモリー６には上記正方形の対
象画像９ａを９０度回転した対象画像９ｂが第２図ｃに
示すように２値化映像信号にて切出されて記憶される。
この両方の対象画像９ａ及び９ｂを比較論理回路７内に
内蔵されている排他的論理和回路により排他的論理和を
とると、記憶要素Ａ４，８と記憶要素Ｂ４，８、記憶要
素Ａ５，８と記憶要素Ｂ５，８、記憶要素Ａ８，７と記
憶要素Ｂ８，７，記憶要素Ａ８，８と記憶要素Ｂ８，８
の各々の記憶内容が異るため、“１゛なる信号が出力さ
れ、対象画像９には欠陥１１が存在するものとして、不
良品として判定される。しかしながら対象画像９に欠陥
１１がない場合には、２次元メモリー５の記憶要素Ａｉ
ｊの内容と２次元メモリー６の記憶要素Ｂｉｊの内容と
一致するため比較論理回路７の排他的論理回路から１０
゛なる信号が出力され対象画像９には欠陥がないものと
して、良品として判定される。しかし実際には量子化誤
差が発生するので上記判定にはこの量子化誤差について
考慮させる必要がある。ところで上記実施例では２次元
メモリー６に対象画像９を２次元メモリー５に対して９
０度回転させて記憶し、同じ対応位置の記憶要素を比較
論理回路７で比較しているが、２次元メモリー６も回転
させないで２次元メモリー５と同じように記憶させ、比
較論理回路７で比較するとき２次元メモリー５の所定の
記憶要素と、この記憶要素に対して９０度回転させた位
置の２次元メモリー６の記憶要素とを比較しても同じ作
用になることは明らかである。ところで本発明において
は本来９０度回転対称性または点対称性を有する２次元
パターンであればよいことは明らかである。
従つて円形パターンの場合について説明する。第５図Ａ
，ｂ，ｃは各各正常円形パターン、右上に欠陥を有する
円形パターン、右に欠陥を有する円形パターンが２次元
メモリー５に切り出された状態を示すものである。一方
検知回路１０は各々の円形パターンの中心Ｐ，，Ｐ２，
Ｐ３が２次元メモリー５の中心にきたことを検知する。
従つて比較論理回路７で比較され、不一致となる状態は
第５図Ａ，ｂ，ｃに示すパターンに対応して第６図Ａ，
ｂ，ｃに示す斜線部分となる。
，ｂ，ｃは各各正常円形パターン、右上に欠陥を有する
円形パターン、右に欠陥を有する円形パターンが２次元
メモリー５に切り出された状態を示すものである。一方
検知回路１０は各々の円形パターンの中心Ｐ，，Ｐ２，
Ｐ３が２次元メモリー５の中心にきたことを検知する。
従つて比較論理回路７で比較され、不一致となる状態は
第５図Ａ，ｂ，ｃに示すパターンに対応して第６図Ａ，
ｂ，ｃに示す斜線部分となる。
このように本発明の方式によれば第３図に示すように正
方形の対象画像９が傾斜した状態で２次元メモリ５に入
力されたとしても、従来のパターンマツチング方式のよ
うに逐次入力パターンを回転させて正規状態に復帰させ
ること、もしくは傾斜した状態の標準パターンを用意す
ることが不必要となる。また対象画像９の輪郭長さを求
めて、これを判定基準にする方式に比較し、９０度回転
させた対象画像と原対象画像の不一致部分の面積を判定
基準にする本発明の方式の方が対象画像の良否を決定す
るのに有効である。以上説明したように本発明によれば
、標準パターン（辞書パターン）と比較する必要がない
ので、対称性を有する２次元パターンが撮像装置に対し
て傾斜した状態であろうとも、また９０度回転対称性ま
たは点対称性を有する２次元パターンの大きさや、傾き
（方向）が変化しても欠陥が存在するか否かについて能
率よく、しかも高精度に検査することができる効果を奏
する。
方形の対象画像９が傾斜した状態で２次元メモリ５に入
力されたとしても、従来のパターンマツチング方式のよ
うに逐次入力パターンを回転させて正規状態に復帰させ
ること、もしくは傾斜した状態の標準パターンを用意す
ることが不必要となる。また対象画像９の輪郭長さを求
めて、これを判定基準にする方式に比較し、９０度回転
させた対象画像と原対象画像の不一致部分の面積を判定
基準にする本発明の方式の方が対象画像の良否を決定す
るのに有効である。以上説明したように本発明によれば
、標準パターン（辞書パターン）と比較する必要がない
ので、対称性を有する２次元パターンが撮像装置に対し
て傾斜した状態であろうとも、また９０度回転対称性ま
たは点対称性を有する２次元パターンの大きさや、傾き
（方向）が変化しても欠陥が存在するか否かについて能
率よく、しかも高精度に検査することができる効果を奏
する。
また本発明によれば、１つの撮像装置を設けて簡単な構
成により、対称性を有する２次元パターンに欠陥が存在
するか否かについて撮像装置が撮像する実時間で能率よ
く検査することができる効果も奏する。また本発明を半
導体関係の自動外観検査もしくは簡単なパターン認識が
必要とされる部品自動組立に応用するとその効果は顕著
である。
成により、対称性を有する２次元パターンに欠陥が存在
するか否かについて撮像装置が撮像する実時間で能率よ
く検査することができる効果も奏する。また本発明を半
導体関係の自動外観検査もしくは簡単なパターン認識が
必要とされる部品自動組立に応用するとその効果は顕著
である。
第１図は本発明のパターン検査装置の一実施例を示す構
成図、第２図Ａ，ｂ，ｃは第１図に示す装置を用いて正
方形から形成された対象画像を比較検査する状態を示し
た図、第３図は第１図に示す２次元メモリーに傾斜した
正方形の対象画像を入力させる場合の状態を示した図、
第４図は第１図に示す検知回路を具体的に示した図、第
５図Ａ，ｂ，ｃは各々正常、右上欠陥あり、右欠陥あり
の円形パターンが２次元メモリーに切出される状態を示
した図、第６図Ａ，ｂ，ｃは各々第５図Ａ，ｂ，ｃに対
応して比較論理回路で比較判定される状態を示した図で
ある。 ４・・・・・・シフトレジスタ群、４１〜４ｎ−１・・
・・・・シフトレジスタ、５，６・・・・・・２次元メ
モリー、７・・・・・・比較論理回路、９・・・・・・
対象画像、１０・・・・・・検知回路、Ａｉｊ，Ｂｉｊ
・・・・・・記憶要素。
成図、第２図Ａ，ｂ，ｃは第１図に示す装置を用いて正
方形から形成された対象画像を比較検査する状態を示し
た図、第３図は第１図に示す２次元メモリーに傾斜した
正方形の対象画像を入力させる場合の状態を示した図、
第４図は第１図に示す検知回路を具体的に示した図、第
５図Ａ，ｂ，ｃは各々正常、右上欠陥あり、右欠陥あり
の円形パターンが２次元メモリーに切出される状態を示
した図、第６図Ａ，ｂ，ｃは各々第５図Ａ，ｂ，ｃに対
応して比較論理回路で比較判定される状態を示した図で
ある。 ４・・・・・・シフトレジスタ群、４１〜４ｎ−１・・
・・・・シフトレジスタ、５，６・・・・・・２次元メ
モリー、７・・・・・・比較論理回路、９・・・・・・
対象画像、１０・・・・・・検知回路、Ａｉｊ，Ｂｉｊ
・・・・・・記憶要素。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 正常ならば９０度回転対称または点対称であるパタ
ーンを１つの撮像装置を用いて撮像し、この１つの撮像
装置から得られる映像信号を２値化回路で２値絵素化し
、この２値絵素化信号をシフトレジスタ群を用いて上記
パターンを一度に切出せる大きさをもつた記憶装置の２
次元的に配列された記憶要素に同期信号にもとづいて順
次行方向及び列方向に移行させて切出し、この切出され
た記憶装置から読み出して行方向に投影されたパターン
の長さの中心線と列方向に投影されたパターンの長さの
中心線との交点が、上記記憶装置の所定の記憶要素に位
置することを検知し、この検知によつて求められた交点
の位置に対して９０度、または１８０度回転させたとき
対称関係にある二つの記憶要素に記憶された二つの２値
絵素化信号を上記記憶装置に切出された２値化パターン
のしめる領域の記憶要素に亘つて読み出して同一である
か否かを比較し、９０度回転対称または点対称であるパ
ターンに欠陥があるか否かを検査することを特徴とする
パターン検査方法。 ２ 正常ならば９０度回転対称または点対称であるパタ
ーンを走査しながら撮像する１つの撮像装置と、該１つ
の撮像装置によつて得られる映像信号を所定のしきい値
で２値化すると共にサンプリングして絵素化する２値化
回路と、該２値化回路より出力される２値絵素化信号を
シフトレジスタ群を介して２次元的に配列された記憶要
素にサンプリング信号等の同期信号にもとづいて順次行
方向及び列方向に移行させて切出す記憶装置と、該記憶
装置の所定の記憶要素に対して、排他的論理和回路等で
行方向に投影されたパターンの長さの中心線と列方向に
投影されたパターンの長さの中心線との交点が位置する
ことを検知する検知手段と、該検知手段で上記交点が上
記所定の記憶要素に位置したことを検知したとき、この
交点に対して９０度または、１８０度回転させた対称関
係にある二つの記憶要素に記憶された二つの２値絵素化
信号を、上記記憶装置に切出された２値パターンのしめ
る領域の記憶要素に亘つて読み出して同一であるか否か
を比較する比較手段とを備え、該比較手段の出力によつ
て９０度回転対称または点対称であるパターンに欠陥が
存在するか否かを検査するように構成したことを特徴と
するパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP49047749A JPS5934961B2 (ja) | 1974-04-30 | 1974-04-30 | パタ−ン検査方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP49047749A JPS5934961B2 (ja) | 1974-04-30 | 1974-04-30 | パタ−ン検査方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS50141355A JPS50141355A (ja) | 1975-11-13 |
| JPS5934961B2 true JPS5934961B2 (ja) | 1984-08-25 |
Family
ID=12783989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP49047749A Expired JPS5934961B2 (ja) | 1974-04-30 | 1974-04-30 | パタ−ン検査方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5934961B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5039412B2 (ja) * | 1971-09-02 | 1975-12-17 | ||
| JPS4898886A (ja) * | 1972-03-29 | 1973-12-14 | ||
| JPS4934385A (ja) * | 1972-07-28 | 1974-03-29 |
-
1974
- 1974-04-30 JP JP49047749A patent/JPS5934961B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS50141355A (ja) | 1975-11-13 |
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