JPS6098359A - 超音波顕微鏡の自動焦点設定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本光明は、音響レンズと試料表面間との相対的距離を焦
点距離に自動的に設定可能とする超音波顕微鏡の自動焦
点設定装置に関づる。

［発明の技術的背景とその問題点コ 光の代りに超音波を用いて物体の微視的な構造を観察し
ようという考えが古くからあり、最近機械走査形超音波
顕微鏡が開発された。この超音波顕微鏡は、原理的には
細く絞った超高周波超音波ビームによって試ｒ１面＠機
械的に走査し、−でのａｊ’＋籾により散乱された超音
波を集音して電気信号に変換し、その信号を陰極線管等
の表示面に二次元的に表示し、顕微！ｌｌｌ会を得るの
である。構成どしては超音波の検出の仕方によって、づ
なわち試オ゛３１内で散乱あるいは減衰しながら透過し
てきた超音波を検出でる場合と、試料内の音響的性質の
差によって反射してきた超音波を検出づる場合とによっ
て、透過型と反射型とに分けられる。

第１図１は反射型の超音波顕微鏡の原理図で、高周波発
撮器１からの信号は方向性結合器又は１ノーキユレータ
２により送受兼用の超音波］・ランスジューサ３へ供給
される。この信号は超音波に変換されてこれが一方の面
（上端面）に貼着された送受波兼用で、ザファイア等の
餡音波伝搬媒体材から成る超音波集束レンズ（音響レン
ズ）４の一面より内部に敢ａＪされ、他面側に送波され
る。この音響レンズ４の他面は球面状にえぐられて球面
レンズ部４ａとされ、該球面レンズ部４ａど対向して試
料保持板５が配置されるようになっている。

音響レンズ４と前記保持板５との間には超音波伝搬媒体
である水６が介在され、前記球面レンズ部４ａの焦点位
置に、試Ｆｌ　７が保持板５に取（＝Ｊ　１，１できる
ようになっている。上記保持板５は走査装置８で×及び
ｙ方向に移動され二次元的に平面を走査するようになっ
ている。勿論、保持板５の代りに音響レンズ４を×及び
ｙ方向に移動することも可能であるし、例えば音響レン
ズ４を×方向に移動し、一方保持板５をｙ方向に移動す
るようにすることもできる。

上記走査装置８は走査回路９によって制御されるように
なっている。

上記超音波トランスジューサ３より音響レンズ４に入射
された超音波は集束されて試料７へ到達する。その反射
波は再び音響レンズ４で集音され、トランスジューサ３
で電気信号に変換されて、前記方向性結合器又はサーキ
ュレータ２を通って表示装置１０へ供給される。

ところで、上述のような超音波顕微鏡を用いて、試Ｆ１
７に対する超音波（顕微１１ｔ）＃を（ｑる場合には、
試料７の表面（上面）と音響レンズ４との距離を一定に
保つで、２次元平面状に走査する必要があり、このよう
に一定距離に保っＣ走査しなければその超音波像の質が
低下してしまうことになる。つまり、音響レンズ４と試
料７間の距離が走査した場合に変動ジると、焦点位置が
試料７の上部側あるいは下部側に変動するため、受波さ
れる信号強度も変動し、観察の対象とジーる試わ１７の
表面（あるいは表面より一定距Ｉｌｌだ【）わすかに深
い而）の状態を正しく反映しＡ：　音響的情報を１９る
ことができなくなってしまう。

上記超＆波像を１ｑるために用いられる試料は一般に小
さく、且つ２次元的に走査される面積における各長さも
非常に小さく、殆んどが１０分の故ｆｉｌｌ以下の長さ
を走査丈ると共に、その間に数１゜０点の情報を１ｑる
ため、その際にわずかの距離変動があっても受波される
信号レベルを大きく変動させて、各点の目的情報を正し
く反映しないようにしてしまうので、距離変動すること
なく、試料表面と平行度を保って走査できるよう設定す
る広義の平行出しの設定作業（あるいは試料表面までの
距１が常に焦点距離となるようにする焦点８す定作業）
が非常に難しく、この平行出しに多くの時間を費してし
まうという問題があった。この作業は、周波数が高くな
ると共に、益々Ｉｆ　ｌ、　くなる。

このため、走査の際に試料表面までの距ｍｔ一定埴に保
つ上記平行出しあるいは試ｆ１表面までの距離を焦点位
置に保っての焦点設定を自動的に行うことのできる装置
が久しく望まれていた。

［発明の目的ｊ 本発明は上述した点にかんがみてなされたもので、音響
レンズと試料表面どの相対的外Ｎｌを焦点外記になるよ
う自動的に設定可能とプる超音波顕１紋＃ｎの自動焦点
設定装置を提供することを目的とづ゛る。

［発明の概要］ 本発明は音響レンズと試料間との相対的距離を可変可能
とする距離可変手段と、該距離の方向と垂直となる平面
内における互いに直交ないし略直交づるＸ及びｙ方向に
音響レンズと試１１表面との相対的傾きを可変可能とす
る×傾斜手段及びｙＵ斜手段と、圧電振動子で受波した
信号レベルの平均値を検出する検出回路と、前記各手段
の駆動を制御可能とする駆動制御回路とを有し、前記平
面内における略任意の方向に走査した場合の前記検出回
路の出力が前記各手段を駆動した場合に最大となる位置
に両部材間の距離及び傾きを設定することによって、音
響レンズに対して試料表面の各位置が焦点距離に自動的
に設定できるようにしである。

［発明の実施例］ 以下、図面を参照して本発明を具体的に説明する。

第２図ないし第６図は本発明の１実施例に係り、第２図
は１実施例を備えた超音波顕微鏡の概略を示し、第３図
は１実施例の自動焦点設定装置の電気処理回路系を示し
、第４図は自動焦点に設定する処理過程のフローヂャ−
１・を示し、第５図は音響レンズと試ｒ４間距離を変え
た場合にｄ３ける検波された信号の出力特性を示し、第
６図はＸ方向あるいはＸ方向に走査した場合における検
波された１ｆｉｐ３の出力を示し、同図（ａ　）は走査
方向の各Ｊ：、！が焦点距離にある場合の出力を示し、
同図（ＩＩ）は焦点距離近くあって、走査方向が距離方
向ど直角り向から傾斜している場合、同図（Ｃ）は同図
（ＩＪ）より傾斜が小さい場合を示す。

１実施例の自動焦点設定装置を備えた超音′ｃｔ顕微鏡
１１は、第２図に示すように加振鍬１２によって該加振
１１１１２の駆動軸１３の端部に取イ」（プられた音響
レンズ１４を駆動軸１３の軸方向に１．１動じて試料台
１５の上面に載置された試料１Ｇの上を例えばＸ方向に
走査できるようになっている。

上記試料台１５に隣接して、図示しない加振間又は自動
送り装置が設（〕られており、試イ１台１５を上記Ｘ方
向と直角となるＸ方向に走査Ｃきるようになっている。

上記音響レンズ１４は、ｌ１ｉ１（短い）円柱状の形状
をなし、その上端面に、圧電振動子１７が貼看ザる等し
て取付けてあり、該圧電振動子１７の両面の電１兎に高
周波電気信号を印加して圧電振動させて音響レンズ１４
側に超音波を伝播させ、該音響レンズ１４の球面状に決
られた球面レンズ部１４ａ’＆経て、超音波をビーム状
に収束し、該球面レンズ部１４ａと試料１６との間に介
在された超音波を伝達する水１８を経て試料１６１１’
ｉ！Ｉに送波てきるよ−）にな−）でいる。

ところで、上記試料台１５は、ゴニオメータで形成され
、ｙ軸方向の回りに回動自在に形成された摘み１５ａを
回動すると、試料１Ｇが載置された上部側の半円柱状台
が傾き、載置された試１１台１５の面のｘ軸方向の傾き
を調節できるようになっている。この摘み１５ａは、Ｘ
傾斜用モータＮ１×によって、例えばブーり又はギＡ７
等介して、駆動できるようになっている。

同様に、上記摘み１５ａが形成された側部とは異り、ｘ
軸方向の回りに回動自在に形成された捕み１５１＋を回
転りるど、その上部側が顛き、試オ；１台１５の面のＸ
方向の傾きを調整できるようになっている。この摘み１
５ｂは、ｙｌＶ斜用上用モータＮ１ｙ駆動でさるように
なっている。

する上下方向、つまりＺ方向に（３動司１１ヒな台１９
に載置され、該試料台１５はＺ移動用モータｊν１）に
でｌ方向に移動して音響レンズ１！１との相対的距離を
調節できるようになっている。

上記各モータ１〜ＩＸ　、　Ｍｙ　、　Ｍｌを制御しＣ
試１１１６の表面の各点をΔ前レンズ１４の焦点位置に
平行になるＪ：う自動的に設定可能どづる自！ｌＩ焦点
設定装置の制ｍ１５！！１理回路系は第３図に示１」、
うに（何成されている。

即も、送信器２１は、加振機１２によって、音響レンズ
１４が走査される間（Ｘ方向の走査の場合）、リーーキ
ュレータ２２を経て圧電振動子１７に高周波信号をパル
ス状に順次印加し、音響レンズ１４を経て試料１６に収
束された超音波ビームを送波づるＪ：うになっている。

この試Ｉｔ　１　Ｇ　ＩＩＩＩＩに送波された超音波ビ
ームにＪ３いで、試１ｊｌ　Ｉ　Ｇのに面Ｃ反射された
ものが、音響レンズ１４て再び集音されて圧電振動子′
１７に導かれるようにな−）ている。この圧Ｎ振動子１
７にて電気１１号に変換さ３で増幅され、検波器（Ｄｅ
ｔ）２４ｒ：包１１Ｂ１１．検波され、さらに積分器２
５にて積分されて包絡線出力の平均値（あるいは積分値
）、つまり各走査方向に対する平均値（ｆＦｔ分値）が
取り出される検出回路が形成されている。この平均値は
、駆動制御回路２６によってメモリＭ１Ｍ−におけるス
イッチ２８で導通された側のメモリにＡＤ変換して平均
値データとして記憶され、これら２つのデータをＯＡ変
換してコンパレータ２８で比較し、この比較用ツノにて
モータＭｘ　、Ｍｙ　、　Ｍｚの駆動を制御して、第４
図に示す処理過程３０を順次行って、焦点位置に自動的
に設定するようになっている。

ところで上記検波器２４で検波された信号出力は、例え
ば試料１６と音響レンズ１４との距離を変化させた場合
にはその概略を第５図に示すように距離を次第に大きく
づると、ビーク餡の異る山をつらねたように、変化して
焦点距離すで最大となり、この焦点距離すより大きくな
ると急激に小さくなる特性を示し、本発明は焦点距離す
周辺において、該焦点距離すにて上に凸どなる最大１直
となる傾向を示づ特性を利用しており、例えは上記距離
方向ｌと直角となるＸ方向に走査した場合、試料１６の
表面がその方向に傾斜していないで、且つ焦点距離にあ
れは、第６図（ａ）に示づように一定レベルで旦つその
レベルが最大どなる出ツノどなる。一方、試料１６の表
面がＸ方向に関しく顛いている場合には第６図（ｂ）に
示すように走査と共に距離が変化するため、その出力は
第５図に示づものの出力波形を走査方向のスケールを変
えて引きのばしたものに似た出力特性となる。この場合
距離方向２と直角となる方向からづ゛れるその１頃きが
大きいと出力波形レベルが大きく変化づると共に、焦点
距離すから遠ざかるため、ｆ貞ｊノシたでの平均値レベ
ルは小さくなり、一方、焦点距離すに近い距離で、その
傾きが小さくなると、第６図（Ｃ）に示すように、同図
（１））のものＪり出力特性は平坦となり、且つその積
分した平均１１６レベルが大きくなる。従って、′１実
施例に８３いでは走査した場合における平均値圧力が大
きくなるように試料台１５の距離を可変したり、その×
及びｙ方向の傾斜を調節することによって、音響レンズ
１４に対し、焦点距離すにあって、且つ、平行となるよ
うに試料１６表面を設定するようにしである。

１実施例においては、スタートボタンを操１′「するど
、モータＭＺのみが駆動可能な状態に設定され、送信器
２１が高周波信号をパルス状に出力し、上述した積分器
２５で積分した出力が例えばメ［すＭにＡＤ変換して平
均値データが記憶され、これに引き続いてモータＭＺが
駆動されて距離がわずかに変えられ、この状態でのＸ方
向の走査した際の積分出力が他方のメモリＭ−に平均値
データが記憶され、これら２つのデータはＤＡ変換した
後、コンパレータ（Ｃｏｍｐ）２８で比較され、後のデ
ータが大きい場合にはさらに上記距離のパラメータの値
を上記の方向にずらす゛ように、〈例えば後の出力が大
きい場合には正と（２る）比較出力にて駆動制御回路２
６を作動させＣモータＭＺをさらに微小角度回転させて
、試料台１５の距離を命にＪ３ける積分出力のデータを
メモリ〜１に記憶し、この操作前のュータを記憶してい
るメモリ〜・１′と比較され、後のデータのが大きい場
合には、ざらにモータＭｚを回転させ、この場合にも後
のュータが大きいどき、常に正の比較用ツノどなるよ）
にづ−るにはコンパレータ２８の出ノｊ側に反転回路を
設け、スイッチ等で反転回路側を通すようにＪ’４Ｌば
良い。）後のデータが小さくなるまでモータｔ〜・１１
を駆動するようにしである。つまり後のｊ゛−タが小さ
くなる最大のデータとなったところで（口の比較出力と
なって）、モータＭＺの駆動が１７１トされる。（厳密
には最大値の点かられずかにす”れるが、殆んど最大値
とみなすことができる。）このようにして第１の処理過
程３０Ａが終了し、試ｔ’１１６の表面は焦点距離すに
近い状態に設定され、第２の処理過程３０Ｂを行う状態
になる。第１の処理過程３０Ａが終了すると、試料１Ｇ
の表面は、焦点距離すに近い状態にあるが、×及び〜・
方向の傾きが存在する状態にあり、この第２の処ＴＩ＋
ｌ　’ＪＡ　ｍＷ　７−　ｖ　ｆ：　ｒｈ　／７’ｌ　
１１？ｉ　喜んｌ）／１　往古９Ｆ　１１１１１千１．
−　ｉＧ定するようにされる。

即ち、上記の過ｆ！ｉ！３０Ａで後のデータが小さくな
る最大点に設定されると、駆動制御回路２６がその状態
を検出して（例えば比較用ツノの信号から）、該駆動制
御回路２６は図示しないスイッチをオン丈る等してＸ傾
斜層モータＭ×を駆動できる状態にする。このモータＭ
×は、（上述の操作で）上記モータＭｚのみが駆動され
て距離がわずかずつ可変されてＸ方向に走査した場合の
積分比ツノが最大となるように設定された状態において
、摘み１５ｂを（変化０の状態から）少しずつずらして
試料台１５のＸ方向に対する傾斜角を少しずつずらし、
その少しずつずらした際にＸ方向に走査してその積分出
力が最大になる状態になるまでずらす操作が繰り返し行
われるようになっている。

つまり、モータＭＸに短い一定時間電力が供給されて該
モータＭＸがわずかに駆動され、これに引きつづいて送
信器２１は上述したようにパルス状の高周波信号を圧電
振動子１７に印加し、試料１６で反射され、受波された
超音波反削波を電気信号に変換して増幅後に検波し、さ
らに積分した積分出力を上記第１の処理過程３０Ａにお
（プる最大１直データが書き込まれているメモリ（例え
はＮ＝＋−どする）とは異るメモリ用に古き込み、これ
らを比較して後のデータのが大きい場合にはモータＭｚ
を駆動して距離をわずかにずらした場合にＪ３ける積分
出力をメモリＭ′に書き込み、上記メモリＭのデータ比
較し、後のデータが小さくなるまでモータＭｚを駆動し
て距離を変える操作を行う。

この操作によって、後のデータが小さくなる。つまり積
分出力が最大となる点に設定されるど、上記モータＭ×
に再び短い一定期間電極が供給されて試料台１６のＸ方
向の傾きがわずかに変えられる。この変えられた状態で
Ｘ方向に走査した積分出力と変える前の積分出力と比較
し、後のデータか大きい場合にはざらにモータＸ＋Ｚを
少しずつ駆動させ、積分出力が最大となる点に設定する
。このような操作を繰り返し行って、Ｘの傾斜を変えた
場合に、変える前より比較出力が小さくなるまで行い、
この変えた場合の比較出力が小さくなった信号にてモー
タＭ　ｘの駆動を停止し、第２の処理過程３０Ｂを終了
し、次にＶ　１５向の傾きをなくしてｘ、Ｘ方向につい
て試１１１６の表面が傾きのない且つ焦点距離すにある
ようにする第３の処理過程３０Ｃを行う。

上記モータＭ×の駆動が停止されると、該モータＭ×の
代りにモータＭｙが駆動可能な状態に設定され、上記モ
ータＭＸが駆動されるのと同様の動作にて試料台１５の
Ｘ方向への傾きが少しずつ順次変えられて、後に変えた
場合の積分出力が小さくなるまで、つまり（６分出力が
最大となる状態に設定される。尚、この第３の処理過程
３０Ｃ１ごおいてはＸ方向に走査されないで、Ｘ方向に
走査された場合における積分出力にて比較が行われるよ
うになっている。

このようにしてＺ方向の調節、Ｘ方向の傾き及びＸ方向
の傾きの調節で、積分出力が最大になる点が試？’３！
１５の表面の各点が音響レンズ１４と焦点距離にある状
態となる。

このように構成及び動作する１実施例によれは、試料１
６を試料台１５に載せ、音響レンズ１４どの間に水１８
を介在させた後に１実施例を動作させることによって、
試料１６の表面の各位置は８響レンズ１４に対して焦点
距離すにあるにうに自動的に設定される。

従って、従来、試料１６の表面を音響レンズ１４と平行
とするように多（の時間を費していた調整作業を必要と
しないと共に、試料１６の表面か焦点距離すに自動的に
設定されるので、平行出しの作業の他に焦点合わせも必
要とけず大変使い易いものとなる。

上記１実施例においては、音響レンズ１４に対し、試料
台１５側を可変して試１．１１６の表面の各点が焦点距
離すとなるように設定したが、本光明はこれに限定され
るものでなく、試料１６又は試料台１５側を固定して音
響レンズ１４側（第１図においては加振機１２等）を可
動するようにしＣも良いことは明らかであるし、両方を
組合１つせても良く（例えば距離方向の可変は音響レン
ズ１７側を、Ｘ方向の傾斜は試料側とする等）、要づる
に両方の少くとも一方を可変して相対的に可変されるよ
うにしたものは本発明に属するものである。

尚、上述の１実施例において、傾きを調整した場合の走
査方向は×及びＸ方向にしであるが、本発明はこれに限
定されるものでなく、例えばＸ方向の傾きを可変゛する
場合にはそのＸ方向の走査成分を有する方向であれば略
任息の方向ＣあフＣも良い（勿論、望ましくは上述のよ
うに一致させた方がその方向にＪ３ける傾きをより有効
に検出し易いものとなる。） 又、上記×及びＸ方向は、外国方向に対し−（垂直とな
る面内においＣ１互いに直交する方向であることが望ま
しいが、互いに直交しない場合においても全く適用でき
ないものＣ′はない。例えは、Ｘ方向の傾きを可変して
最大となる状態にしたく傾きをなくした）場合にはＸ方
向についＵ　１．ｔ、　；ｊ（平になるが、Ｘ方向がＸ
方向に直交しＣないと、引き続いＣＸ方向に少しずつ傾
けＣＸ方向のｉｌｌ　ｆ？ｉをなくすように調節すると
、その際Ｘ方向にし頷きがでてくるが、１を方向の傾き
がなくなるように設定後、ざらにＸ方向についても再び
傾きがなくなるように繰り返すようにすれば必ずも直交
してない場合にも適用できるものであり、本発明（ｊこ
の場合も含むものである。

ヌ、傾き等を可変して前のデータと後のデータとを比較
して最大値となる状態を検出でる場合、アナログデータ
の大小関係を比較乃るものに限定されるものでなく、メ
モリしたディジタルデータをディジタルコンパレータで
大小関係を比較したり、一致した状態を比較して行うよ
うにすることもできる。さらに大小関係を比較して後の
データが前のデータに一致ないしは小さくなる場合には
、反対方向にその可変した量より大きく駆動し、この場
合には後のデータが前のデータより大きくなるかを確め
るように駆動制紳するようにすることもてきる。これは
、傾き等を可変Ｊ８場合、その可変する方向が傾きをな
くす方向に行われている場合には問題ないが、反対方向
に可変したｌｉＩ　Ｏに有効なものとなる。

本発明は上述した処理過程あるいはこれに類似するもの
に限定されるものでなく、要するに距離方向及び×及び
Ｘ方向に傾斜した場合に対して検出した信号が最大とな
る点に設定するものは本発明に屈Ｊるものである。

尚、上述において、試料表面の各点が焦点距離に自動点
に設定されるので、表面より内側に焦点を合わせて観察
することを望む場合は、上述のように設定された後、音
響レンズ側又は試料台側の高さを、観察しようとする深
さだけ距離が短くなるように調節づれば良い。又、この
調節をあらかじめ数値等で与えておき、その状態に自動
的に設定させるようにすることもできる。

尚、第１の処理過程３０ＡでＺ軸方向にずらしながら最
大値をめる場合、そのずらす苗は、あまり細かくすると
、山を連設した特性の極大の位置に設定される可能性が
あるのでこれらの山にとどまらないようやや大きく移動
するようにして最大値に近い位置く距Ｍ）に設定１゛る
ようにした方が良い。又、この設定後にさｂに細かく移
動させてより、細かく最大値に近い距離に設定するよう
にしでも良い。

［光明の効果］ 以上述べたように本発明によれば、距離可変手段及び×
及びＸ方向の傾斜覆る手段を駆動しＣ１検出した信号出
力が最大となる状態に、＠響しンスと試料との位置及び
傾きの関係を設定づるようにしであるので、音響レンズ
に対して試料表面の各位置は焦点距離に自動的に設定で
きる。従っ゛Ｃ１平行出しとか焦点合わせの手間のかか
る調整作業を必要とすることなく観察でき、超音波顕微
鏡を非常に使い易いものにすることがＣきる。

【図面の簡単な説明】

第１図は超音波顕微鏡の原理を示す説明図、第２図ない
し第６図は本発明の１実施例に係り、第２図は１実施例
を備えた超音波顕微鏡の概略を示す側面図、第３図は１
実施例の自動焦点設定Ｆｉｎの電気処理回路系を示すブ
ロック図、第４図は１実施例で焦点設定を行う処理過程
を示すフローブレート図、第５図は音響レンズと試ｒＦ
１間の距離を変１ヒさせた場合の検波後の出力特性を示
ジ待１１図、第６図（Ｊ任意の走査方向に走査した場合
の検波後の出力レベルを示し、同図（ａ）（ま走査方向
の各点が焦点距離にある場合の出力レベルを示づ一特性
図、同図（］））は走査方向が傾いている場合の出力レ
ベルを示す゛特性図、同図（ＣＮＪ走査方向の傾きが小
さい場合にお【プる出力レベルを示φ待１土図である。 １′１・・・超音波顕微＆ｆｌ　’＋２・・・加振ｆｉ
１１３・・・駆動軸　１７１・・・Ｒ響しンス′１５・
・・試料台　１６・・・占ｉｔｌ′＋！１７・・・圧電
振動子　１８・・・水 ２１・・・送１ｎ器　２２・・・Ｃナーキュレ〜り２３
・・・増幅器　２４・・・検波器 ２５・・・積分器　２６・・・駆動制御回路２７・・・
スイッチ　２８・・・比較器Ｍｘ　、　ＭＹ　、　Ｍｚ
−ＴＩ−夕 Ｎ、Ｌｌ〜１′・・・メモリ １”　” 代理人　弁理士　伊　藤　］「４　。 第１　図 第２図 ３ 第３１’、Ｊ　、ｚ、ｓ 第６図 ”［□■ 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 圧電振動子が取付けられ、超音波を収束ないしは集音づ
   る洛旨しンス及び該音響レンズに対向リ−る面に、試ｖ
   １が載置ないしは保持される試１！１台とを有し、前記
   音響レンズ及び試１′３１台どの少くとし一方を走査し
   て、前記圧電振動子に送信器の高周波信号を印加して励
   振させて、音響レンズを経て試料側に超音波ビームを送
   波し、該試オ゛（側て反身１された超音波を再び音響レ
   ンズを経て前記圧゛肩振動子で受波して電気信号に変換
   し、前記走査に応じたｌＩＴ！引信号で音響的顕微Ｓ！
   ｉ像を表示可能とづる超音波顕微ｉｎにおいて、音響レ
   ン又と試料との距離を相対的に変える距離可変手段と、
   前記距８Ｈの方向と垂直な平面内で、互いに直交ないし
   け略直交するＸ及びｙ方向に対する音響レンズとｒ＄、
   　１４表面どの相対的傾きを可変する×傾斜子１９．１
   ｈびｙ１ｍ斜手Ｖど、ｗＪ記圧電振動子で受波した信号
   の（！１１力値又は甲均ｊ直を検出する信号レベルの検
   出回路と、該検出回路の信号に基づいて前記各手段の駆
   動を制御可能とする駆動制御手段とを設（ブ、前記Ｘ及
   びｙ傾斜手段を駆動してそれぞれの方向に対する相対的
   傾きを可変した場合に、前記平面内の略ぼ意の方向に走
   査した場合にお番プる検出回路の出力を最大にすると共
   に、距離可変手段を駆動した場合における検出回路の出
   力を最大に設定することを特徴とする超音波顕微鏡の自
   動焦点設定装置。