JPS61105811A - インダクタンス素子の形成方法 - Google Patents
インダクタンス素子の形成方法Info
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- JPS61105811A JPS61105811A JP22746884A JP22746884A JPS61105811A JP S61105811 A JPS61105811 A JP S61105811A JP 22746884 A JP22746884 A JP 22746884A JP 22746884 A JP22746884 A JP 22746884A JP S61105811 A JPS61105811 A JP S61105811A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明はインダクタンス素子の形成方法、特に超音波ボ
ンディング装置を用いて絶縁巻線を巻回して形成するイ
ンダクタンス素子の形成方法に関する。
ンディング装置を用いて絶縁巻線を巻回して形成するイ
ンダクタンス素子の形成方法に関する。
(ロ)従来の技術
最近チップ部品の進歩に伴い、電子回路の混成集積回路
化が著しく発展して来た。混成集積回路は半導体集積回
路の他にその外付部品であるコンデンサ、抵抗、コイル
等を1パツケージに収容することにより、電子機器の部
品点数を大巾に低減でき且つ組立の簡素化や保守点検の
容易化が図れる利点を有する。
化が著しく発展して来た。混成集積回路は半導体集積回
路の他にその外付部品であるコンデンサ、抵抗、コイル
等を1パツケージに収容することにより、電子機器の部
品点数を大巾に低減でき且つ組立の簡素化や保守点検の
容易化が図れる利点を有する。
しかしインダクタンス素子に関しては小型チップ化が大
巾に遅れている状況にある。これは導体を巻回して形成
するコイルでは、チップ部品として基板に実装する場合
のハンダ、ディップにおいて導体を被覆する絶縁体の耐
熱性と導体と外部端子との接続に解決できtcい問題点
が残っているからである。
巾に遅れている状況にある。これは導体を巻回して形成
するコイルでは、チップ部品として基板に実装する場合
のハンダ、ディップにおいて導体を被覆する絶縁体の耐
熱性と導体と外部端子との接続に解決できtcい問題点
が残っているからである。
従来の小型インダクタンス素子としては第4図及び第5
図に示すものを挙げるととができる(例えば特開昭57
−92807号公報参照)。第4図は磁性体、例えばド
ラム型コア舛に巻線(211を施し、巻線端末(22C
221をコア■の両端鍔部(231(23+の端面に形
成された銀電極(241(24+の表面に折り曲げた後
、半田(25)(ハ)を介して巻線端末、電極及びリー
ド線(26)c!6)を電気的に接続してなる小型イン
ダクタンス素子である。第5図は、予じめ鍔部(23)
底面にリード線c2(へ)(26)を突設したドラム型
コア■の巻回部に巻線(211ヲ施し、巻線端末+22
1 f22 ヲソhぞれリート線t261 t26)に
絡げて半田(25+(ハ)により接続した小型インダク
タンス素子である。いずれの小型インダクタンス素子モ
IJ −)”線f26)1261、半[151(251
ヲ必要とし、チップ抵抗やチップコンデンサの様に小型
化できないのである。
図に示すものを挙げるととができる(例えば特開昭57
−92807号公報参照)。第4図は磁性体、例えばド
ラム型コア舛に巻線(211を施し、巻線端末(22C
221をコア■の両端鍔部(231(23+の端面に形
成された銀電極(241(24+の表面に折り曲げた後
、半田(25)(ハ)を介して巻線端末、電極及びリー
ド線(26)c!6)を電気的に接続してなる小型イン
ダクタンス素子である。第5図は、予じめ鍔部(23)
底面にリード線c2(へ)(26)を突設したドラム型
コア■の巻回部に巻線(211ヲ施し、巻線端末+22
1 f22 ヲソhぞれリート線t261 t26)に
絡げて半田(25+(ハ)により接続した小型インダク
タンス素子である。いずれの小型インダクタンス素子モ
IJ −)”線f26)1261、半[151(251
ヲ必要とし、チップ抵抗やチップコンデンサの様に小型
化できないのである。
そこで第6図に示すチップインダクタンス素子が特開昭
59−43513号公報に提案されている。第6図では
ドラム型コア(20)に巻線011を施し、コア(20
1の鍔部G31底面に離間した銀電極(241a11)
を設け、巻線端末を銀電極(241CI!41表面まで
折り曲げた後半田Cω(251で銀電極(24)(2(
イ)に接続されている。斯るチップインダクタンス素子
は銀電極C24)C2力上の半田C)51 (251を
用いて所望の電極に固着される。
59−43513号公報に提案されている。第6図では
ドラム型コア(20)に巻線011を施し、コア(20
1の鍔部G31底面に離間した銀電極(241a11)
を設け、巻線端末を銀電極(241CI!41表面まで
折り曲げた後半田Cω(251で銀電極(24)(2(
イ)に接続されている。斯るチップインダクタンス素子
は銀電極C24)C2力上の半田C)51 (251を
用いて所望の電極に固着される。
←] 発明が解決しようとする問題点
しかしながら上述した小型インダクタンス素子およびチ
ップインダクタンス素子では実装する際の半田付は温度
により巻線の絶縁被覆材料が溶けてレアショート不良を
招くことがあった。またチップインダクタンス素子では
多量の半田が銀電極に付着しがちで且つその葉も一定し
ないので傾いた状態で固着されるおそれもあった。
ップインダクタンス素子では実装する際の半田付は温度
により巻線の絶縁被覆材料が溶けてレアショート不良を
招くことがあった。またチップインダクタンス素子では
多量の半田が銀電極に付着しがちで且つその葉も一定し
ないので傾いた状態で固着されるおそれもあった。
に)問題点を解決するための手段
本発明は断点に鑑みてなされ、他の回路素子を半lJ付
けした後絶縁巻線を超音波ボンディング装置を用いて直
接絶縁基板上にインダクタンス素子を形成−fることに
より、従来の欠点を完全に除去するものである。
けした後絶縁巻線を超音波ボンディング装置を用いて直
接絶縁基板上にインダクタンス素子を形成−fることに
より、従来の欠点を完全に除去するものである。
(711作用
本発明に依れば、他の回路素子を半田付けした後に絶縁
巻線が直接導電路上に超音波ポンディング行なえる点に
着目し、超音波ボンディング装置でボンディングワイヤ
ーを巻回してインダクタンス素子を形成しているので、
インダクタンス素子を加熱処理を経ることなく形成でき
る。
巻線が直接導電路上に超音波ポンディング行なえる点に
着目し、超音波ボンディング装置でボンディングワイヤ
ーを巻回してインダクタンス素子を形成しているので、
インダクタンス素子を加熱処理を経ることなく形成でき
る。
(へ)実施例
本発明の一実施例を第1図(イ)乃至第1図(ホ)を参
照して詳述する。
照して詳述する。
本発明の第1の工程は回路基板(1)上に導電路(2)
(2)を形成し且つ所望の回路素子(3)を半田付けす
ることにある(第1図(イ)参照)。
(2)を形成し且つ所望の回路素子(3)を半田付けす
ることにある(第1図(イ)参照)。
回路基板(1)は支持基板として働き、セラミック基板
、ガラスエポキシ樹脂等より成るプリント基板、表面を
アルマイト処理したアルミニウム基板等を用いる。斯る
回路基板(1)上にはその一生面に全面に銅箔を貼り着
けた後、選択的に銅箔をエツチングして所望のパターン
の導電路+2021を形成する。導電路(2++21は
インダクタンス素子の巻線を接続するパッドのみならず
、混成集積回路の形成に必要な導電路を同時に形成する
のが望ましい。
、ガラスエポキシ樹脂等より成るプリント基板、表面を
アルマイト処理したアルミニウム基板等を用いる。斯る
回路基板(1)上にはその一生面に全面に銅箔を貼り着
けた後、選択的に銅箔をエツチングして所望のパターン
の導電路+2021を形成する。導電路(2++21は
インダクタンス素子の巻線を接続するパッドのみならず
、混成集積回路の形成に必要な導電路を同時に形成する
のが望ましい。
回路素子(3)は混成集積回路を形成する上で必要な回
路部品であり、具体的にはICテップ、トランジスタチ
ップ、チップコンデンサ、チップ抵抗等をいう。
路部品であり、具体的にはICテップ、トランジスタチ
ップ、チップコンデンサ、チップ抵抗等をいう。
本工程では回路素子(3)を半田付けする導電路(2)
上に選択的に半田クリームをスクリーン印刷した後、回
路素子(3)を所定位置に載置して加熱炉内あるいはホ
ットプレート上で、回路基板(1)全体を加熱して半田
層(4)により固着している。
上に選択的に半田クリームをスクリーン印刷した後、回
路素子(3)を所定位置に載置して加熱炉内あるいはホ
ットプレート上で、回路基板(1)全体を加熱して半田
層(4)により固着している。
本発明の第2の工程は回路基板(1)上に巻枠体(5)
を配置することにある(第1図(ロ)参照)。
を配置することにある(第1図(ロ)参照)。
巻枠体(5)はインダクタンス素子を形成する巻線を巻
回させる役目を有し、形成するインダクタンス素子のり
アクタンスの値によりフェライト等の磁性体やプラスチ
ック等の絶縁物を用いても良い。
回させる役目を有し、形成するインダクタンス素子のり
アクタンスの値によりフェライト等の磁性体やプラスチ
ック等の絶縁物を用いても良い。
なお巻枠体(5)の形状は図示した筒状でも良いが、そ
の他に棒状あるいはI型形状でも良い。巻枠体(51は
接着剤(6)により導電路+21(21に近接した回路
基板(1)上に固定配置されている。
の他に棒状あるいはI型形状でも良い。巻枠体(51は
接着剤(6)により導電路+21(21に近接した回路
基板(1)上に固定配置されている。
本発明の第3の工程は超音波ボンディング装置を用いて
−の導電路(2)上に巻線(7)の一端を超音波ボンデ
ィングすることにある(第1図(ハ)参照)。
−の導電路(2)上に巻線(7)の一端を超音波ボンデ
ィングすることにある(第1図(ハ)参照)。
本発明に用いる絶縁巻線は第2図に示す如く、50〜8
00μグの銅細線(8)とその表面を被覆するウレタン
あるいは弗化エチレンより成る絶縁被膜(9)で形成さ
れている。絶縁破膜(9)は銅細線(8)をウレタンあ
るいは弗化エチレン溶液中を通してlO〜50μ厚(平
均的には20μ厚)に付着され、インダクタンス素子を
形成する各巻線の絶縁をしている。
00μグの銅細線(8)とその表面を被覆するウレタン
あるいは弗化エチレンより成る絶縁被膜(9)で形成さ
れている。絶縁破膜(9)は銅細線(8)をウレタンあ
るいは弗化エチレン溶液中を通してlO〜50μ厚(平
均的には20μ厚)に付着され、インダクタンス素子を
形成する各巻線の絶縁をしている。
本発明に用いる超音波ボンディング装置は第3図に示す
如く、テーブル00)、キャピラリチップ旧)、超音波
振動源(121、クランプf13+、 IJ−ル04)
および絶縁巻線(7)より構成されている。斯る超音波
ボンディング装置は既知のものであり、半導体装置の組
立に広く利用されている。簡単に動作を説明すると、テ
ーブル00)上に載置したトランジスタ等の電極にキャ
ピラリチップ旧)の中央の孔より導出されるアルミニウ
ムボンディング細線の一端を20に〜60KHzの超音
波振動を与えて固着し、然る後キャピラリチップ旧)を
移動して他のリードにアルミニウムボンディング細線の
他端を超音波振動を与えて固着する様に作業する。本発
明に用いる超音波ボンディング装置は斯る半導体装置の
組立に用いるものにいくつかの改良を加えている。第1
にリール0滲にはインダクタンス素子の形成のため絶縁
巻m(7)が貯蔵されている。第2に超音波振動源は半
導体装置の組立用よりは若干パワーアップしている。第
3にテーブル(IOlにはXY軸移動装置(19とZ軸
移動装置(+6)が設けられ、テーブルtl1mをX、
Y、Z方向に自在に可動できる構造となっている。第4
にテーブル00)は回転装置0′71が設けられ、テー
ブル(10)をXYの任意の座標を中心に回転できる。
如く、テーブル00)、キャピラリチップ旧)、超音波
振動源(121、クランプf13+、 IJ−ル04)
および絶縁巻線(7)より構成されている。斯る超音波
ボンディング装置は既知のものであり、半導体装置の組
立に広く利用されている。簡単に動作を説明すると、テ
ーブル00)上に載置したトランジスタ等の電極にキャ
ピラリチップ旧)の中央の孔より導出されるアルミニウ
ムボンディング細線の一端を20に〜60KHzの超音
波振動を与えて固着し、然る後キャピラリチップ旧)を
移動して他のリードにアルミニウムボンディング細線の
他端を超音波振動を与えて固着する様に作業する。本発
明に用いる超音波ボンディング装置は斯る半導体装置の
組立に用いるものにいくつかの改良を加えている。第1
にリール0滲にはインダクタンス素子の形成のため絶縁
巻m(7)が貯蔵されている。第2に超音波振動源は半
導体装置の組立用よりは若干パワーアップしている。第
3にテーブル(IOlにはXY軸移動装置(19とZ軸
移動装置(+6)が設けられ、テーブルtl1mをX、
Y、Z方向に自在に可動できる構造となっている。第4
にテーブル00)は回転装置0′71が設けられ、テー
ブル(10)をXYの任意の座標を中心に回転できる。
本工程では指上の超音波ボンディング装置のテーブル0
0)上に回路基板mを真空の吸引力を利用して固定[7
、−の導電路(2)がキャピラリチップ(Illの真下
に来る様にテーブル00)をXY軸移動装置(151で
移動させる。続いてキャピラリチップ(11)を下降し
て−の導電路(2)に絶縁巻線(7)の一端を超音波振
動により固着する。絶縁巻線(7)は断面円形の銅細線
を用いているので、導電路(2)との接点に超音波振動
のエネルギーが集中して絶縁被膜(9)が破れて銅細線
が露出されろ。そして銅細線と銅の導電路(2)との同
一材料の結合により超音波ボンディングが実現できる。
0)上に回路基板mを真空の吸引力を利用して固定[7
、−の導電路(2)がキャピラリチップ(Illの真下
に来る様にテーブル00)をXY軸移動装置(151で
移動させる。続いてキャピラリチップ(11)を下降し
て−の導電路(2)に絶縁巻線(7)の一端を超音波振
動により固着する。絶縁巻線(7)は断面円形の銅細線
を用いているので、導電路(2)との接点に超音波振動
のエネルギーが集中して絶縁被膜(9)が破れて銅細線
が露出されろ。そして銅細線と銅の導電路(2)との同
一材料の結合により超音波ボンディングが実現できる。
本発明の第4の工程は回路基板(1)を回転させて絶縁
巻線(7)を巻枠体(5)に巻回させることにある(第
1図に)参照)。
巻線(7)を巻枠体(5)に巻回させることにある(第
1図に)参照)。
本工程では巻枠体(5)に所定のターン数だけ絶縁巻線
(7)を巻回し、所望の値のインダクタンス素子を形成
できる。前工程で絶縁巻線(7)の一端は−の導電路(
2)に固着されているので、XY軸移動装置09により
回路基板filを移動して巻枠体(5)に絶縁巻線(7
)がからむ様にする。続いてXY軸移動装置051を用
いて巻枠体(5)の中心あるいは中心近傍に回転の中心
が設定される様に移動する。然る後超音波ボンディング
装置の回転装wanlを作動させて巻枠体(5)を回転
させてリール(14)より給送される絶縁巻線(7)を
巻枠体(5)に均一に所定のターン数だけ巻回する。な
お巻枠体(5)に均一な厚みに絶縁巻線(7)を巻回す
るためにZ軸移動装置06)を用いてテーブルを上下動
させて巻枠体(51の位置を上下動させることにより均
一な巻回な実現できる。更に本発明では巻枠体(5)を
回転させることにより絶縁巻線(7)を一定の張力で巻
回でき、且つターン数が多くても全く任意に設定できる
。
(7)を巻回し、所望の値のインダクタンス素子を形成
できる。前工程で絶縁巻線(7)の一端は−の導電路(
2)に固着されているので、XY軸移動装置09により
回路基板filを移動して巻枠体(5)に絶縁巻線(7
)がからむ様にする。続いてXY軸移動装置051を用
いて巻枠体(5)の中心あるいは中心近傍に回転の中心
が設定される様に移動する。然る後超音波ボンディング
装置の回転装wanlを作動させて巻枠体(5)を回転
させてリール(14)より給送される絶縁巻線(7)を
巻枠体(5)に均一に所定のターン数だけ巻回する。な
お巻枠体(5)に均一な厚みに絶縁巻線(7)を巻回す
るためにZ軸移動装置06)を用いてテーブルを上下動
させて巻枠体(51の位置を上下動させることにより均
一な巻回な実現できる。更に本発明では巻枠体(5)を
回転させることにより絶縁巻線(7)を一定の張力で巻
回でき、且つターン数が多くても全く任意に設定できる
。
本発明で秀れた点は巻枠体(5;としてE型のものでも
I型のものでも絶縁巻線(7)を巻回できることにある
。即ち1型の巻枠体(5)においてはキャピラリチップ
(11)の高さをI型の巻枠体(5)に対応する様に配
置f−fれば良いからである。またE型のコアではキャ
ピラリテップ(11)をE型のすき間に配置すれば良い
からである。
I型のものでも絶縁巻線(7)を巻回できることにある
。即ち1型の巻枠体(5)においてはキャピラリチップ
(11)の高さをI型の巻枠体(5)に対応する様に配
置f−fれば良いからである。またE型のコアではキャ
ピラリテップ(11)をE型のすき間に配置すれば良い
からである。
本発明の第5の工程は絶縁巻線(7)の他端を他の導電
路(2)に超音波ボンディングすることにある(第1図
(ホ)参照)。
路(2)に超音波ボンディングすることにある(第1図
(ホ)参照)。
本工程では超音波ボンディング装置のテーブル(10)
をXY軸移動装置05)で移動させ、キャピラリチップ
旧)を他の導電路(2)上に持って来る。続いてキャピ
ラリチップ(11)を下降させて他の導電路(2)と当
接させて超音波振動を加え、絶縁巻線(7)の他端を超
音波ボンディングする。なお絶縁巻線(7)はキャピラ
リチップ旧)の上昇時にカッター等を用いて切断する。
をXY軸移動装置05)で移動させ、キャピラリチップ
旧)を他の導電路(2)上に持って来る。続いてキャピ
ラリチップ(11)を下降させて他の導電路(2)と当
接させて超音波振動を加え、絶縁巻線(7)の他端を超
音波ボンディングする。なお絶縁巻線(7)はキャピラ
リチップ旧)の上昇時にカッター等を用いて切断する。
以上に詳述した如く本発明に依れば回路基板(1)上に
従来より組み込まれていたIC、トランジスタ、チップ
コンデンサあるいはチップ抵抗の回路素子(3)の他に
インダクタンス素子も組み込み可能となり、外付部品を
ほとんど不要とできるのである。またインダクタンス素
子は半田付けの加熱工程終了後に組み込まれるため、絶
縁巻線(7)の加熱による短絡も全く発生しなくなる。
従来より組み込まれていたIC、トランジスタ、チップ
コンデンサあるいはチップ抵抗の回路素子(3)の他に
インダクタンス素子も組み込み可能となり、外付部品を
ほとんど不要とできるのである。またインダクタンス素
子は半田付けの加熱工程終了後に組み込まれるため、絶
縁巻線(7)の加熱による短絡も全く発生しなくなる。
(ト)発明の効果
本発明の第1の効果は回路素子(3)の半8]付は終了
後にインダクタンス素子を形成するので、インダクタン
ス素子は加熱工程を経ることなく形成できる利点を有す
る。この結果インダクタンス素子の絶縁巻線のレアショ
ートを完全に防止できる。
後にインダクタンス素子を形成するので、インダクタン
ス素子は加熱工程を経ることなく形成できる利点を有す
る。この結果インダクタンス素子の絶縁巻線のレアショ
ートを完全に防止できる。
本発明の第2の効果はインダクタンス素子を任意の値で
直接回路基板(11に組み込むことが可能となるので、
回路基板(1)上にLCRのすべての回路素子を集積化
することができ、回路基板(1)上に広い範囲の回路を
実現できる。
直接回路基板(11に組み込むことが可能となるので、
回路基板(1)上にLCRのすべての回路素子を集積化
することができ、回路基板(1)上に広い範囲の回路を
実現できる。
本発明の第3の効果はインダクタンス素子を、回路基板
(1)上に直接形成できることにある。即ち本発明では
巻枠体(5)と絶縁巻線(7)と最少限の部品でインダ
クタンス素子を形成できるので、従来のチップインダク
タンスに比べてきわめて小型で安価なものを得ることが
できる。
(1)上に直接形成できることにある。即ち本発明では
巻枠体(5)と絶縁巻線(7)と最少限の部品でインダ
クタンス素子を形成できるので、従来のチップインダク
タンスに比べてきわめて小型で安価なものを得ることが
できる。
本発明の第4の効果はインダクタンス素子を回路基板(
1)上の任意の位置に連続して形成できることにある。
1)上の任意の位置に連続して形成できることにある。
即ち超音波ボンディング装置のテーブルOIをXY軸移
動装置05)で移動させてインダクタンス素子の形成工
程を繰り返し行なえば良い。
動装置05)で移動させてインダクタンス素子の形成工
程を繰り返し行なえば良い。
本発明の第5の効果はインダクタンス素子を任意の値に
設定できることにある。即ち各インダクタンス素子の形
成工程に於いて絶縁巻線(7)のターン数をプログラム
すれば良い。この結果多種のインダクタンスを必要とす
るチューナー回路等ではきわめて利用価値が高い。
設定できることにある。即ち各インダクタンス素子の形
成工程に於いて絶縁巻線(7)のターン数をプログラム
すれば良い。この結果多種のインダクタンスを必要とす
るチューナー回路等ではきわめて利用価値が高い。
本発明の第6の効果は超音波ボンディング装置にパター
ン認識およびプログラム可能なメモリを付加することに
よってインダクタンス素子自動的に形成することができ
る。
ン認識およびプログラム可能なメモリを付加することに
よってインダクタンス素子自動的に形成することができ
る。
第1図(イ)乃至第1図(ホ)は本発明に依るインダク
タンス素子の形成方法を説明する断面図、第2図は本発
明に用いる絶縁巻線を説明する断面図、第3図は本発明
に用いる超音波ボンディング装置を説明するブロック図
、第4図乃至第6図は従来の小型インダクタンス素子お
よびチップインダクタンス素子を説明する断面図である
。 主な図番の説明 (1)は回路基板、+21121は導電路、(3)は回
路素子、(5)は巻枠体、(7)は絶縁巻線、0αはテ
ーブル、0υはキャピラリチップ、(14)はリール、
Q7)は回転装置である。 出願人 三洋電機株式会社 外1名 代理人 弁理士 佐 野 静 夫 第1図(伺 第1図(ロ) 第1図(ハ) 第1図い〕 第2図 塩3図 第4図
タンス素子の形成方法を説明する断面図、第2図は本発
明に用いる絶縁巻線を説明する断面図、第3図は本発明
に用いる超音波ボンディング装置を説明するブロック図
、第4図乃至第6図は従来の小型インダクタンス素子お
よびチップインダクタンス素子を説明する断面図である
。 主な図番の説明 (1)は回路基板、+21121は導電路、(3)は回
路素子、(5)は巻枠体、(7)は絶縁巻線、0αはテ
ーブル、0υはキャピラリチップ、(14)はリール、
Q7)は回転装置である。 出願人 三洋電機株式会社 外1名 代理人 弁理士 佐 野 静 夫 第1図(伺 第1図(ロ) 第1図(ハ) 第1図い〕 第2図 塩3図 第4図
Claims (1)
- (1)回路基板上に直接組み込まれるインダクタンス素
子の形成方法に於いて、前記回路基板の所望の導電路上
に回路素子を半田付けした後超音波ボンディング装置を
用いてリールに貯蔵された絶縁巻線を給送して導電路上
に超音波ボンディングされコイル状に巻回されたインダ
クタンス素子を組み込むことを特徴とするインダクタン
ス素子の形成方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22746884A JPH0234442B2 (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 | Indakutansusoshinokeiseihoho |
| DE19853536908 DE3536908A1 (de) | 1984-10-18 | 1985-10-16 | Induktivitaetselement und verfahren zur herstellung desselben |
| NL8502843A NL192157C (nl) | 1984-10-18 | 1985-10-17 | Werkwijze voor de vervaardiging van een inductantie-element. |
| GB08525605A GB2166005B (en) | 1984-10-18 | 1985-10-17 | Inductance element and method of manufacturing the same |
| FR858515516A FR2572214B1 (fr) | 1984-10-18 | 1985-10-18 | Element inductif et son procede de fabrication |
| CN85108084A CN1007943B (zh) | 1984-10-18 | 1985-10-18 | 电感元件制造方法 |
| US07/084,332 US4860433A (en) | 1984-10-18 | 1987-08-11 | Method of manufacturing an inductance element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22746884A JPH0234442B2 (ja) | 1984-10-29 | 1984-10-29 | Indakutansusoshinokeiseihoho |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61105811A true JPS61105811A (ja) | 1986-05-23 |
| JPH0234442B2 JPH0234442B2 (ja) | 1990-08-03 |
Family
ID=16861347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22746884A Expired - Lifetime JPH0234442B2 (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-29 | Indakutansusoshinokeiseihoho |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0234442B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5032014A (en) * | 1988-10-27 | 1991-07-16 | Asahi Seimitu Kabushiki Kaisha | Datum beam projecting apparatus for use with surveying equipment |
| US5726612A (en) * | 1992-12-01 | 1998-03-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip-type electronic component |
-
1984
- 1984-10-29 JP JP22746884A patent/JPH0234442B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5032014A (en) * | 1988-10-27 | 1991-07-16 | Asahi Seimitu Kabushiki Kaisha | Datum beam projecting apparatus for use with surveying equipment |
| US5726612A (en) * | 1992-12-01 | 1998-03-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip-type electronic component |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0234442B2 (ja) | 1990-08-03 |
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