JPS6111629A - 試料冷却装置 - Google Patents
試料冷却装置Info
- Publication number
- JPS6111629A JPS6111629A JP59134000A JP13400084A JPS6111629A JP S6111629 A JPS6111629 A JP S6111629A JP 59134000 A JP59134000 A JP 59134000A JP 13400084 A JP13400084 A JP 13400084A JP S6111629 A JPS6111629 A JP S6111629A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- room
- exhaust
- refrigerant
- gate valve
- Prior art date
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- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/42—Low-temperature sample treatment, e.g. cryofixation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ・ 産業上の利用分野
走査型電子顕微鏡等のような真空中で試料表面を分析す
る装置において、試料を冷却して分析する場合に、走査
型電子顕微鏡等の装置を能率良く運用するだめの試料冷
却方法に関するものである。
る装置において、試料を冷却して分析する場合に、走査
型電子顕微鏡等の装置を能率良く運用するだめの試料冷
却方法に関するものである。
口・従来の技術
電子線によって損傷を受は易い試料とか、水分を含んだ
試料の分析、又は低温での試料の状態を分析するときに
は、試料を冷却する必要がある。
試料の分析、又は低温での試料の状態を分析するときに
は、試料を冷却する必要がある。
この試料を大気中で冷却すると試料表面に結露して、希
望する分析、観察を行うことができなくなる。それ故、
装置内に試料を取付けてから冷却する方法、又は別の排
気冷却装置を使用して、乾燥雰囲気中で試料を冷却し、
この低温の試料を真空カプセルに収納し、そのカプセル
ごと走査電子顕微鏡等の装置内に入れて、排気後カプセ
ルを開放する等の方法がある。前者の方法は試料と冷媒
との接触が間接であるため、冷却時間が永く掛かり、後
者の方法は犬がかシな装置が必要になり、高価なものに
なった。
望する分析、観察を行うことができなくなる。それ故、
装置内に試料を取付けてから冷却する方法、又は別の排
気冷却装置を使用して、乾燥雰囲気中で試料を冷却し、
この低温の試料を真空カプセルに収納し、そのカプセル
ごと走査電子顕微鏡等の装置内に入れて、排気後カプセ
ルを開放する等の方法がある。前者の方法は試料と冷媒
との接触が間接であるため、冷却時間が永く掛かり、後
者の方法は犬がかシな装置が必要になり、高価なものに
なった。
へ目 的
本発明は試料表面上に結露しないようにかつ敏速に試料
を冷却して、能率良く分析作業が実施できるようにした
走査電子顕微鏡等の試料冷却方法に関するものである。
を冷却して、能率良く分析作業が実施できるようにした
走査電子顕微鏡等の試料冷却方法に関するものである。
二・構 成
走査型電子顕微鏡等の分析装置本体、本体の真空合冊、
予備排気−冷却室、本体の真空容器と冷却室との間を真
空的に開閉できるゲートバルブ・冷媒を入れる冷媒槽、
冷媒槽を収納する退避室、この退避室と予備排気−冷却
室との間を真空的に開閉するゲートパルプ、試料を載せ
る試料台、それらを操作する操作及び駆動装置、及び真
空排気等の付帯設備によって構成された走査型電子顕微
鏡等の試料冷却方法に関するものである。
予備排気−冷却室、本体の真空容器と冷却室との間を真
空的に開閉できるゲートバルブ・冷媒を入れる冷媒槽、
冷媒槽を収納する退避室、この退避室と予備排気−冷却
室との間を真空的に開閉するゲートパルプ、試料を載せ
る試料台、それらを操作する操作及び駆動装置、及び真
空排気等の付帯設備によって構成された走査型電子顕微
鏡等の試料冷却方法に関するものである。
ホ、実施例
図で１は走査電子顕微鏡等の分析装置本体であり、電子
線源１ａ、電子線を偏向し集束させるだめの電子光学系
１ｂ、分析すべき試料４を載せる試料受台１ｃ、及びこ
れらを収納する真空容器２等によって構成されそいる。
線源１ａ、電子線を偏向し集束させるだめの電子光学系
１ｂ、分析すべき試料４を載せる試料受台１ｃ、及びこ
れらを収納する真空容器２等によって構成されそいる。
３は予備排気−冷却室で分析装置本体１の側面に取付け
られておシ、れするために分析装置本体１と予備排気−
冷却室３との境の真空容器２内壁には窓２ａがあけられ
ている。５はこの窓２ａにおいて真空容器２の真空を保
持するためのゲートパルプであり、６はゲートパルプ等
の開閉装置５を開閉させる操作装置である。
られておシ、れするために分析装置本体１と予備排気−
冷却室３との境の真空容器２内壁には窓２ａがあけられ
ている。５はこの窓２ａにおいて真空容器２の真空を保
持するためのゲートパルプであり、６はゲートパルプ等
の開閉装置５を開閉させる操作装置である。
を冷却させる。冷媒槽８は通常予備排気−冷却室３の下
面に設けられた退避室１４の中にあシ、試料４を冷却す
るときに駆動装置１１によって持ち３ａがあけてあシ、
冷媒槽８が出入シができるようになっている０１２はこ
の窓３ａを閉塞するゲートパルプである。
面に設けられた退避室１４の中にあシ、試料４を冷却す
るときに駆動装置１１によって持ち３ａがあけてあシ、
冷媒槽８が出入シができるようになっている０１２はこ
の窓３ａを閉塞するゲートパルプである。
試料４を載せた試料ｆ／Ｐ１１０は保持装置１５の先端
に螺着され予備排気−冷却室３の中に保持されている。
に螺着され予備排気−冷却室３の中に保持されている。
試料４を冷却す３るときには、先ずゲートパルプ１２を
開き、駆動装置１１によって冷媒槽８を持ち上げ、試料
台１０をその中に浸す。
開き、駆動装置１１によって冷媒槽８を持ち上げ、試料
台１０をその中に浸す。
冷媒９は試料台１０やその周囲から熱を吸収して蒸発す
る。この冷媒蒸気と即ち乾燥窒素によって室３内の空気
は排気バルブ７を通して追出され予備排気−冷却室３内
の空気中に含まれる水蒸気も追い出され、試料４の表面
は液体窒素等の冷媒９の蒸気によって包まれた状態にな
シ空気との接触が絶たれ、その環境で試料台１０及び試
料４が冷却される。このようにして試料４は水蒸気の存
在しない冷媒９の蒸気の中で冷却されるため、試料４の
表面上に露を生じさせることなく、試料を冷却すること
ができる。
る。この冷媒蒸気と即ち乾燥窒素によって室３内の空気
は排気バルブ７を通して追出され予備排気−冷却室３内
の空気中に含まれる水蒸気も追い出され、試料４の表面
は液体窒素等の冷媒９の蒸気によって包まれた状態にな
シ空気との接触が絶たれ、その環境で試料台１０及び試
料４が冷却される。このようにして試料４は水蒸気の存
在しない冷媒９の蒸気の中で冷却されるため、試料４の
表面上に露を生じさせることなく、試料を冷却すること
ができる。
試料４が冷却されると、駆動装置１１によって冷媒槽８
は退避室１４に引き下げられ、ゲートパルプ１２が操作
装置１３によって窓３ａを密閉する。他方冷却された試
料４と試料台１０は保持装置１．５によって予備排気−
冷却室３の中に保持された状態にあり、排気パルプ７が
閉じられ、真空排気バルブ１６が開かれ、排気装置１７
によって予備排気−冷却室９が排気される。予備排気−
冷却室３の排気が完了すれば、ゲートパルプ５を操上 作装置６によって開き、試料４を載せた試料ｆＩ、／１
１ｏは保持装置１５によって、試料４と試料台１０が窓
２ａを通して真空容器２の中の試料受台ＩＣの上に載せ
られる。試料４と試料台１０を所定の位置に設置し終る
と、保持装置１５は元の位置に戻され、ゲートパルプ等
５によって窓２ａが密閉される。
は退避室１４に引き下げられ、ゲートパルプ１２が操作
装置１３によって窓３ａを密閉する。他方冷却された試
料４と試料台１０は保持装置１．５によって予備排気−
冷却室３の中に保持された状態にあり、排気パルプ７が
閉じられ、真空排気バルブ１６が開かれ、排気装置１７
によって予備排気−冷却室９が排気される。予備排気−
冷却室３の排気が完了すれば、ゲートパルプ５を操上 作装置６によって開き、試料４を載せた試料ｆＩ、／１
１ｏは保持装置１５によって、試料４と試料台１０が窓
２ａを通して真空容器２の中の試料受台ＩＣの上に載せ
られる。試料４と試料台１０を所定の位置に設置し終る
と、保持装置１５は元の位置に戻され、ゲートパルプ等
５によって窓２ａが密閉される。
へ、効 果
走査電子顕微鏡等の分析装置に特別な装置を別に必要と
せず、簡単な装置を付加するだけで、敏速に結露なしで
試料を冷却できるだめ、分析装置の使用効率を高めるこ
とができるものである。
せず、簡単な装置を付加するだけで、敏速に結露なしで
試料を冷却できるだめ、分析装置の使用効率を高めるこ
とができるものである。
ｆｊｆ図は本発明の作動原理の説明製図である。
１・・・分析装置本体、２・・・本体の真空容器、３・
・・予備排気−冷却室、４・・・試料、５Ｔ １２・・
・開閉装置、６．１３・・・操作装置、７・・・排気パ
ルプ、８・・・冷媒槽、９・・・冷媒、１０・・・試料
台、１１・・・駆動装置、１４・・・退避室、１５・・
・保持装置、１６・・・排気バルブ装置、１７・・・排
気装置。
・・予備排気−冷却室、４・・・試料、５Ｔ １２・・
・開閉装置、６．１３・・・操作装置、７・・・排気パ
ルプ、８・・・冷媒槽、９・・・冷媒、１０・・・試料
台、１１・・・駆動装置、１４・・・退避室、１５・・
・保持装置、１６・・・排気バルブ装置、１７・・・排
気装置。
Claims (1)
- 走査型電子顕微鏡等の真空を要する分析装置本体に設け
られた試料導入用の予備排気室に冷媒槽を収納する退避
室を付設し、予備排気室と上記退避室との間を連通する
窓にゲートバルブを設け、退避室には冷媒槽を退避室と
予備排気室との間で移動させる駆動装置を設けたことを
特徴とする試料冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59134000A JPS6111629A (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 試料冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59134000A JPS6111629A (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 試料冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6111629A true JPS6111629A (ja) | 1986-01-20 |
Family
ID=15118034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59134000A Pending JPS6111629A (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 試料冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6111629A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022106482A (ja) * | 2021-01-07 | 2022-07-20 | 日本電子株式会社 | 試料導入方法および荷電粒子線装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5073563A (ja) * | 1973-10-31 | 1975-06-17 | ||
| JPS5856952A (ja) * | 1981-09-29 | 1983-04-04 | Nissin Kogyo Kk | 車両の制動装置における制動油圧制御装置 |
-
1984
- 1984-06-27 JP JP59134000A patent/JPS6111629A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5073563A (ja) * | 1973-10-31 | 1975-06-17 | ||
| JPS5856952A (ja) * | 1981-09-29 | 1983-04-04 | Nissin Kogyo Kk | 車両の制動装置における制動油圧制御装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022106482A (ja) * | 2021-01-07 | 2022-07-20 | 日本電子株式会社 | 試料導入方法および荷電粒子線装置 |
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