JPS6112232U - フオトレジストの現像装置 - Google Patents
フオトレジストの現像装置Info
- Publication number
- JPS6112232U JPS6112232U JP9467484U JP9467484U JPS6112232U JP S6112232 U JPS6112232 U JP S6112232U JP 9467484 U JP9467484 U JP 9467484U JP 9467484 U JP9467484 U JP 9467484U JP S6112232 U JPS6112232 U JP S6112232U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- development equipment
- photoresist development
- wafer
- solution
- developing
- Prior art date
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- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来の現像装置による現像方法を説明するた
めの図である。 第２図、第３図は、それぞれ本考案の実施例を説明する
ための図である。 尚、図において、１・・曲６エハー、２・・曲真空チャ
ック、３，５，７・・・・・・現像ノズル、４・・・・
・・現像カップ、６・・・・・・ボタ落液ガイド板、で
ある。
めの図である。 第２図、第３図は、それぞれ本考案の実施例を説明する
ための図である。 尚、図において、１・・曲６エハー、２・・曲真空チャ
ック、３，５，７・・・・・・現像ノズル、４・・・・
・・現像カップ、６・・・・・・ボタ落液ガイド板、で
ある。
Claims (1)
- 現像液滴下ノズルの下部又は下方に、液尤ウエ、ハー上
に盛った後、ボタ落ちする液をウエハー外側へ導く板、
管又は線を有することを特徴とするフォトレジスタの現
像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9467484U JPS6112232U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | フオトレジストの現像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9467484U JPS6112232U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | フオトレジストの現像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6112232U true JPS6112232U (ja) | 1986-01-24 |
Family
ID=30653369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9467484U Pending JPS6112232U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | フオトレジストの現像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6112232U (ja) |
-
1984
- 1984-06-25 JP JP9467484U patent/JPS6112232U/ja active Pending
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