JPS5948042U - ポリツシング装置 - Google Patents

ポリツシング装置

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Publication number
JPS5948042U
JPS5948042U JP1982144605U JP14460582U JPS5948042U JP S5948042 U JPS5948042 U JP S5948042U JP 1982144605 U JP1982144605 U JP 1982144605U JP 14460582 U JP14460582 U JP 14460582U JP S5948042 U JPS5948042 U JP S5948042U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin plate
polishing
nozzle
opening
facing
Prior art date
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Pending
Application number
JP1982144605U
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English (en)
Inventor
江刺　信二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP1982144605U priority Critical patent/JPS5948042U/ja
Publication of JPS5948042U publication Critical patent/JPS5948042U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はウェーハの一方の面をホルダに接着して行なう
ポリッシング加工を説明するための側面図、第２図は前
記ポリッシング加工の精度を向上させる従来手段を示す
側面図、第３図はキャリヤを使用するポリッシング加工
の精度を向上させる従来手段を示す側面図、第４図は本
考案の一実施例になるポリッシング装置のウェーハホル
ダの主要構成を示す側面図イと下面凶日である。 なお図中において、１．１１はウェーハ（薄板）ホルダ
、２．２６はウェーハ、１５はゴム板、１６．１８，２
４．２５は透孔、１７．１９はノズル、２０．２１は調
整弁、２３は配管を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェーハ等の薄板を保持しポリッシング加工する装置に
    おいて、薄板ホルダに薄板ポリッシング面の中央部及び
    周辺部に分散対向して開口する複数個の真空吸引ノズル
    、該中央部に開口するノズルと該周辺部に開口するノズ
    ルとの吸引力を選択的に違える調整弁、少なくとも該ノ
    ズルの各開口−それぞれに対向する透孔を有するゴム状
    弾性板を具え、該薄板は該ポリッシング面に対向する裏
    面が該弾性板を介して複数個の該ノズルに吸着されるよ
    うに構成したことを特徴とするポリッシング装置。
JP1982144605U 1982-09-24 1982-09-24 ポリツシング装置 Pending JPS5948042U (ja)

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JP1982144605U JPS5948042U (ja) 1982-09-24 1982-09-24 ポリツシング装置

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JPS5948042U true JPS5948042U (ja) 1984-03-30

Family

ID=30322421

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