JPS61128700A - スピ−カ−用振動板 - Google Patents
スピ−カ−用振動板Info
- Publication number
- JPS61128700A JPS61128700A JP25078184A JP25078184A JPS61128700A JP S61128700 A JPS61128700 A JP S61128700A JP 25078184 A JP25078184 A JP 25078184A JP 25078184 A JP25078184 A JP 25078184A JP S61128700 A JPS61128700 A JP S61128700A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond
- diaphragm
- base plate
- thin layer
- dense
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、気相成長法（ＣＶＤ ）で析出された微細結
晶の集合体である、ダイヤモンド多結晶体の薄層よりな
る高音域スピーカー用の振動板に関する。
晶の集合体である、ダイヤモンド多結晶体の薄層よりな
る高音域スピーカー用の振動板に関する。
スピーカーの振動板に必要な特性としては、周知のよう
に、 ０．）縮性を得るためにヤング率（以下Ｘと記す）が高
いこと。
に、 ０．）縮性を得るためにヤング率（以下Ｘと記す）が高
いこと。
（２）振動熊本を高めるため密度（以下ρと記す）が小
１いこと。
１いこと。
すなわち比弾性率ｃ以下Ｅ／ρと記す）が大きいとと。
（３１不要な共振を抑えるために内部損失Ｃ以下−δと
記す）が適度な太き京であること。
記す）が適度な太き京であること。
が要求すれる。
しかし、上記３つの条件の内、いずれが重要であるかは
、その振動板が全帯域用、低音用、中音用、高音用のい
ずれ忙使われるか、或いはクラシック音楽用、軽音楽用
か等、その用途、目標とする音質によって異なる。
、その振動板が全帯域用、低音用、中音用、高音用のい
ずれ忙使われるか、或いはクラシック音楽用、軽音楽用
か等、その用途、目標とする音質によって異なる。
例えば、低音用では紙を主成分とする振動板が多く用い
られる。この場合、紙は通常ρが小さいが、ＴＶは大き
くないので′！Ａ／ρはあまり大きくできないが、低音
用なので支障はない。ζらに、低音用振動板は、ピスト
ン振動しなくなった領域で発生する異状振動や歪成分が
、低音域では耳に感じ易いので、これが速やかく減すい
するように蝋δが大きくなければならない。
られる。この場合、紙は通常ρが小さいが、ＴＶは大き
くないので′！Ａ／ρはあまり大きくできないが、低音
用なので支障はない。ζらに、低音用振動板は、ピスト
ン振動しなくなった領域で発生する異状振動や歪成分が
、低音域では耳に感じ易いので、これが速やかく減すい
するように蝋δが大きくなければならない。
一方、高音用振動板は、紙も使われるが、最近金属振動
板が多く用いられるようになった。金属板はｈδは小さ
いが、それにも拘らず、高音用として金属板が使われる
ようになった理由は、金属のＰは紙の数倍太き論が、Ｉ
Ｉ！はさらＶＣ１〜２桁大きいので、結局、Ｒ１／ ｐ
Ｆｉ１桁大きくなること、異状振動が発生しても、高
音域であるため、比較的耳にとらえにくく、低音域のよ
うｋすみやかな減すいを必要としないことによる。
板が多く用いられるようになった。金属板はｈδは小さ
いが、それにも拘らず、高音用として金属板が使われる
ようになった理由は、金属のＰは紙の数倍太き論が、Ｉ
Ｉ！はさらＶＣ１〜２桁大きいので、結局、Ｒ１／ ｐ
Ｆｉ１桁大きくなること、異状振動が発生しても、高
音域であるため、比較的耳にとらえにくく、低音域のよ
うｋすみやかな減すいを必要としないことによる。
すなわち、高音用振動板材料の良否の判断基準は、Ｋ／
ρ値がより大きいことである。
ρ値がより大きいことである。
金属振動板材料としては、従来アルミニウム、チタン、
ベリリウム等の単体、或いはこれ等化アルミナ、ベリリ
ア等をコーティングしたものが用いられている。これら
金属振動板のρ、ｚ 、 ｘ／ｐは、例えば第１表に示
すような値である。
ベリリウム等の単体、或いはこれ等化アルミナ、ベリリ
ア等をコーティングしたものが用いられている。これら
金属振動板のρ、ｚ 、 ｘ／ｐは、例えば第１表に示
すような値である。
このように、金属振動板材料の１＋／／）は大きいが、
さらＩ／Ｃ１！１４／Ｐの大きい新しい素材の探求が行
なわれている。
さらＩ／Ｃ１！１４／Ｐの大きい新しい素材の探求が行
なわれている。
ダイヤモンドは、ｐ ： ３５２９／ｃｒａ１１ｉｔ
： １．２）＜１０”Ｎ／ｍ、］Ｉｌｌ／ ｐ ： Ａ
４ Ｘ １０ ’ ７ＦＩｌ／ Ｓｅｃ’で、物性的
には高温用振動板材料として、最高のものであるが、通
常得られるダイヤモンドは天然、人工のものも共に粒状
であり、しかも焼結しないため板状忙成形することが出
来ず、振動板材料の対象としては難しいとこれていた。
： １．２）＜１０”Ｎ／ｍ、］Ｉｌｌ／ ｐ ： Ａ
４ Ｘ １０ ’ ７ＦＩｌ／ Ｓｅｃ’で、物性的
には高温用振動板材料として、最高のものであるが、通
常得られるダイヤモンドは天然、人工のものも共に粒状
であり、しかも焼結しないため板状忙成形することが出
来ず、振動板材料の対象としては難しいとこれていた。
一方、最近特許など（住友電工など）にスピーカー用振
動板をダイヤモンドで造る例なども出ているが、Ｉｌｉ
／ρの物性値が測定されておらず、ダイヤモンドとは、
特性上はるかに劣る炭素膜である。
動板をダイヤモンドで造る例なども出ているが、Ｉｌｉ
／ρの物性値が測定されておらず、ダイヤモンドとは、
特性上はるかに劣る炭素膜である。
近時ＣＶＤ法の技術が進み炭化水素を原料として、基板
上にダイヤモンドの微結晶が析出すること、さらに条件
を選ぶことｋよって多結晶体の合体した膜状のものが得
られる事が確認されている。
上にダイヤモンドの微結晶が析出すること、さらに条件
を選ぶことｋよって多結晶体の合体した膜状のものが得
られる事が確認されている。
本発明は、上記の事情を考慮してダイヤモンド多結体よ
りなる緻密かつ均一な厚ブの振動板を提供することを目
的とするもので、その要旨は、ダイヤモンド薄層が密度
８４２〜１５−９７Ｍ、ヤング率：０．５〜１２ Ｘ
Ｉ Ｑ” Ｎ／ Ｉｌｌ”であるスピーカー用振動板に
ある。
りなる緻密かつ均一な厚ブの振動板を提供することを目
的とするもので、その要旨は、ダイヤモンド薄層が密度
８４２〜１５−９７Ｍ、ヤング率：０．５〜１２ Ｘ
Ｉ Ｑ” Ｎ／ Ｉｌｌ”であるスピーカー用振動板に
ある。
ダイヤモンド多結晶体の薄層をつくるには、通常気体な
いし気化し易い炭化水素と水素との混合ガスを、８００
〜９００℃に加熱された基板上で熱分解させてつくる（
％開昭５９−５０９８）。
いし気化し易い炭化水素と水素との混合ガスを、８００
〜９００℃に加熱された基板上で熱分解させてつくる（
％開昭５９−５０９８）。
上記基板の加熱方法としては、熱或いは高周波、マイク
ロ波等の励起エネルギーによるものなどが発表享れてい
るがマイクロ波励起が効率的である。
ロ波等の励起エネルギーによるものなどが発表享れてい
るがマイクロ波励起が効率的である。
一般に、上記炭化水素としては、扱い易いメタン（ＣＩ
、）が好ましく、基板としては、熱膨張差の小さいＳ１
ウエハーが好ましい。ＣＨ４／Ｈ。
、）が好ましく、基板としては、熱膨張差の小さいＳ１
ウエハーが好ましい。ＣＨ４／Ｈ。
の混合ガスにマイクロ波を入射してプラズマを誘発させ
、このプラズマの中心部に表面処理した基板を位置させ
ると容易に加熱され、基板面にダイヤモンド微細結晶が
析出成長する。
、このプラズマの中心部に表面処理した基板を位置させ
ると容易に加熱され、基板面にダイヤモンド微細結晶が
析出成長する。
マイクロ波励起法による場合、ダイヤモンドの核生成は
、基板の表面処理に左右され、成長速度は基板の温度と
、ＣＨ，の濃度く左右されている。
、基板の表面処理に左右され、成長速度は基板の温度と
、ＣＨ，の濃度く左右されている。
ＣＨ４の濃度はマス７０−コントローラーで十分制御可
能であるが、基板の温度は、基板が大きくなるくつれて
均一に保持することが困難となり、均一な厚ブの薄層が
出来ない。また、２．４５ＧＨ２の商用周波数のマイク
ロ波を使用した場合、励起空間は径３０順程度の球状で
、この空間内では、ダイヤモンドの析出が優先的忙起き
るが、球状の内部においても析出に偏がある。例えば、
ダイヤモンドの砥粒で研磨した１インチ径の８１ウエハ
ーをプラズマ中心に位ｆｉｌｉ−ＪせてＣ’ＶＤを行な
うと、３〜５μｍのダイヤモンド微細結晶が周辺部には
密に生成し、中心部にはまげら忙しか生成せず、振動板
に適した薄層は出来ない。しかし、Ｓ１ウエハーを保持
する位置をプラズマ中心から５〜１０間下げて、ＣＶＤ
を行なうと、均一な厚さに微細結晶が析出する。この微
細結晶の析出した８１基板をＨＦで溶解することにより
、基板面と同じ面積を有する微細結晶の集合体よりなる
均一な厚ζのダイヤモンド薄層が得られる。その厚さは
析出時間によって調節できるが通常２０〜５０μｍの厚
さである。
能であるが、基板の温度は、基板が大きくなるくつれて
均一に保持することが困難となり、均一な厚ブの薄層が
出来ない。また、２．４５ＧＨ２の商用周波数のマイク
ロ波を使用した場合、励起空間は径３０順程度の球状で
、この空間内では、ダイヤモンドの析出が優先的忙起き
るが、球状の内部においても析出に偏がある。例えば、
ダイヤモンドの砥粒で研磨した１インチ径の８１ウエハ
ーをプラズマ中心に位ｆｉｌｉ−ＪせてＣ’ＶＤを行な
うと、３〜５μｍのダイヤモンド微細結晶が周辺部には
密に生成し、中心部にはまげら忙しか生成せず、振動板
に適した薄層は出来ない。しかし、Ｓ１ウエハーを保持
する位置をプラズマ中心から５〜１０間下げて、ＣＶＤ
を行なうと、均一な厚さに微細結晶が析出する。この微
細結晶の析出した８１基板をＨＦで溶解することにより
、基板面と同じ面積を有する微細結晶の集合体よりなる
均一な厚ζのダイヤモンド薄層が得られる。その厚さは
析出時間によって調節できるが通常２０〜５０μｍの厚
さである。
このダイヤモンド薄層は、ρ：五５〜Ａ ５１ｇ／ｃａ
１：（Ｌ８〜１．０×１０１１Ｎ／７ＦＬｌ、１／ρ：
λ３〜Ｚ ９ Ｘ １０ ”ｄ／ＳｅＣ”となり、ダイ
ヤモンド結晶の文献値に近く、スピーカーの高音振動板
として適したものである。このダイヤモンド膜はＸａ的
には、ダイヤモンド単味であり、ラマンスペクトルよも
、少量の１−カーボンを含むものの、きわめて、天然ダ
イヤモンドに近いものであった。
１：（Ｌ８〜１．０×１０１１Ｎ／７ＦＬｌ、１／ρ：
λ３〜Ｚ ９ Ｘ １０ ”ｄ／ＳｅＣ”となり、ダイ
ヤモンド結晶の文献値に近く、スピーカーの高音振動板
として適したものである。このダイヤモンド膜はＸａ的
には、ダイヤモンド単味であり、ラマンスペクトルよも
、少量の１−カーボンを含むものの、きわめて、天然ダ
イヤモンドに近いものであった。
「実施例」
を用い、これを２−４５Ｇ［’ｌｚのマイクロ波によっ
て誘発されたプラズマの中心よ０５ｍｍ下げて位置せし
め、パイロメーター測定により、基板温度を８５０”Ｃ
ＩＣ保持し、ＣＨ，／Ｈ，：１：９９のガスを導入して
基板面にダイヤモンド微細結晶を析出せしめた。この基
板の処理時間中、５ｒｐｓで回転づぜ、基板内の温度分
布をできるだけ均一化？せた０ その結果、場所による
ｍ度差は±５℃以内に入っていた。
て誘発されたプラズマの中心よ０５ｍｍ下げて位置せし
め、パイロメーター測定により、基板温度を８５０”Ｃ
ＩＣ保持し、ＣＨ，／Ｈ，：１：９９のガスを導入して
基板面にダイヤモンド微細結晶を析出せしめた。この基
板の処理時間中、５ｒｐｓで回転づぜ、基板内の温度分
布をできるだけ均一化？せた０ その結果、場所による
ｍ度差は±５℃以内に入っていた。
２０時間運転した後、Ｓ１ウエハーをＨＦで溶解し、ダ
イヤモンド薄層を得た。得られた薄＃は、基板側の面が
平滑で、表面がザラついた径１インチの多結晶体の膜で
、厚濱：２０±１μｍ１ρ：ｉ ５１ ｐ／Ｃｄ、 ２
１！ ： ｔ ＯＸ １０”Ｎ／ｍ’、Ｘ ／ｐ ：２
．９Ｘ１０”ｒｒｉ“／Ｓｅｅ”で外観は殆ど無色であ
った。
イヤモンド薄層を得た。得られた薄＃は、基板側の面が
平滑で、表面がザラついた径１インチの多結晶体の膜で
、厚濱：２０±１μｍ１ρ：ｉ ５１ ｐ／Ｃｄ、 ２
１！ ： ｔ ＯＸ １０”Ｎ／ｍ’、Ｘ ／ｐ ：２
．９Ｘ１０”ｒｒｉ“／Ｓｅｅ”で外観は殆ど無色であ
った。
この膜の周波数特性を第１図に示す。参考の為に、Ｂｅ
膜の撮動板の周波数特性を添える。本発明のものは２０
００〜５ Ｑ、０００Ｈｚの広（範−囲にて７ラツトな
特性を持っている事がわかる。
膜の撮動板の周波数特性を添える。本発明のものは２０
００〜５ Ｑ、０００Ｈｚの広（範−囲にて７ラツトな
特性を持っている事がわかる。
「実施例２」
ＣＨ４／Ｈ，： １．５／９ ａｌ）ガスを用い、基板
の位置をプラズマ中心より１０．、下方に位置せしめた
外は実施例１と同じ和してダイヤモンド薄層を得た。得
られた薄層は、基板側の面が平滑で、表面がザラついた
径１インチの多結晶体の膜で、厚さ：３２±２μｍ、
ｐ ： ５．．５ｆｉ／ｃｔＪ、Ｅ：１８Ｘ ｆ Ｏ”
Ｎ ／ ｍ ｓ ” ／ ／’ ： ｌ ５ Ｘ ’
０ ’ ｚ ／ Ｓｅ！ｌ：’で、外観は灰色を提して
いた。
の位置をプラズマ中心より１０．、下方に位置せしめた
外は実施例１と同じ和してダイヤモンド薄層を得た。得
られた薄層は、基板側の面が平滑で、表面がザラついた
径１インチの多結晶体の膜で、厚さ：３２±２μｍ、
ｐ ： ５．．５ｆｉ／ｃｔＪ、Ｅ：１８Ｘ ｆ Ｏ”
Ｎ ／ ｍ ｓ ” ／ ／’ ： ｌ ５ Ｘ ’
０ ’ ｚ ／ Ｓｅ！ｌ：’で、外観は灰色を提して
いた。
実施例２の膜の周波数特性は、実施例１とほぼ同じであ
るが、再生可能最高音９部が４０．０００１１２であっ
た。
るが、再生可能最高音９部が４０．０００１１２であっ
た。
〔発明の効果〕
本発明に係るスピーカー用振動板は、ダイヤモンド多結
晶体で形成されているので、本質的に金ＪＡ撮動板等忙
比してはるかに大きいＥ／ρ喧を有し、しかも均一な厚
さで、高音用振動板として極めて優れたものである。
晶体で形成されているので、本質的に金ＪＡ撮動板等忙
比してはるかに大きいＥ／ρ喧を有し、しかも均一な厚
さで、高音用振動板として極めて優れたものである。
第１図は、ダイヤモンド、およびベリリウム膜の周波数
特性を示す図である。
特性を示す図である。
Claims (1)
- ダイヤモンド薄層が密度：３．２〜３．５ｇ／ｃｍ＾３
ヤング率：０．５〜１．２×１０＾１＾２Ｎ／ｍ＾２で
あることを特徴とするスピーカー用振動板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25078184A JPS61128700A (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | スピ−カ−用振動板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25078184A JPS61128700A (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | スピ−カ−用振動板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61128700A true JPS61128700A (ja) | 1986-06-16 |
Family
ID=17212947
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25078184A Pending JPS61128700A (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 | スピ−カ−用振動板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61128700A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0385100A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-10 | Kenwood Corp | スピーカ用振動板及びその製造法 |
| US5110405A (en) * | 1988-06-09 | 1992-05-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing single-crystal diamond particles |
| JPH04271398A (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 骨伝導マイク検出型音節認識装置 |
| US5556464A (en) * | 1992-07-15 | 1996-09-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Vibration plate of a speaker and method for producing same |
-
1984
- 1984-11-28 JP JP25078184A patent/JPS61128700A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5110405A (en) * | 1988-06-09 | 1992-05-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing single-crystal diamond particles |
| JPH0385100A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-10 | Kenwood Corp | スピーカ用振動板及びその製造法 |
| JPH04271398A (ja) * | 1991-02-27 | 1992-09-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 骨伝導マイク検出型音節認識装置 |
| US5556464A (en) * | 1992-07-15 | 1996-09-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Vibration plate of a speaker and method for producing same |
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