JPS61178700A - 電子線照射装置用窓箔 - Google Patents
電子線照射装置用窓箔Info
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- JPS61178700A JPS61178700A JP60019082A JP1908285A JPS61178700A JP S61178700 A JPS61178700 A JP S61178700A JP 60019082 A JP60019082 A JP 60019082A JP 1908285 A JP1908285 A JP 1908285A JP S61178700 A JPS61178700 A JP S61178700A
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- window foil
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Links
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、電子線照射装置の照射窓に用いられて、真
空側と照射雰囲気側とを分離する窓箔に関する。
空側と照射雰囲気側とを分離する窓箔に関する。
第２図は、電子線照射装置（走査形電子線照射装置）の
加速装置部の一例を示す概略図である。
加速装置部の一例を示す概略図である。
ケーブル１には直流電源（図示省略）が接続されており
、加速管部２で発生されて加速された電子線ＥＢは、こ
の例では走査部３において走査され、真空側ＶＳから照
射窓４を通して照射雰囲気側ＡＳに引き出されて被照射
物５に照射される。
、加速管部２で発生されて加速された電子線ＥＢは、こ
の例では走査部３において走査され、真空側ＶＳから照
射窓４を通して照射雰囲気側ＡＳに引き出されて被照射
物５に照射される。
第３図は、照射窓を部０分的に示す断面図である。
照射窓４は、真空側ＶＳと照射雰囲気側（例えば大気側
）ＡＳとを分離するための窓箔４３と、窓箔４３等を冷
却するための多数の水冷パイプ４２等から成り、当該水
冷パイプ４２は、窓箔４３が大気圧によって真空側ｖＳ
へ押されるのを支えるために桟４１によって補強されて
いる。
）ＡＳとを分離するための窓箔４３と、窓箔４３等を冷
却するための多数の水冷パイプ４２等から成り、当該水
冷パイプ４２は、窓箔４３が大気圧によって真空側ｖＳ
へ押されるのを支えるために桟４１によって補強されて
いる。
上述した窓箔４３は、電子線ＥＢがそこを通過する時に
エネルギーを吸収して発熱する。その場合、電子線ＥＢ
のエネルギーが低い方が窓箔４３の材質のいかんにかか
わらず、そこで吸収されるエネルギーが大（即ち、トラ
ップ率が大）となってその発熱も大となる性質がある。
エネルギーを吸収して発熱する。その場合、電子線ＥＢ
のエネルギーが低い方が窓箔４３の材質のいかんにかか
わらず、そこで吸収されるエネルギーが大（即ち、トラ
ップ率が大）となってその発熱も大となる性質がある。
従って、窓箔４３としては、低エネルギーの電子線ＥＢ
の場合には、熱伝導の良い材料、例えば純アルミニウム
箔が利用される。しかしながら、照射雰囲気が大気中の
場合には電子線の照射によってオゾンが発生し、純アル
ミニウム箔はこれによって酸化されて寿命が短くなる。
の場合には、熱伝導の良い材料、例えば純アルミニウム
箔が利用される。しかしながら、照射雰囲気が大気中の
場合には電子線の照射によってオゾンが発生し、純アル
ミニウム箔はこれによって酸化されて寿命が短くなる。
これを防止するためには、窒素ガス等の不活性ガスによ
って照射雰囲気を置換する必要があり、非常に面倒であ
る。
って照射雰囲気を置換する必要があり、非常に面倒であ
る。
一方、高エネルギーの電子線ＥＢの場合には、窓箔４３
の発熱は低下するので耐酸性（酸化性ガスに耐えること
）の観点から材料を選定することができる。例えば、耐
酸性の純チタン箔を窓箔４３に用いることができるが、
これを低エネルギーにおいて利用すると、純チタン箔は
熱伝導が悪くて温度上昇が大きくなり、従ってビームの
密度を上げることができないという問題が生じる。
の発熱は低下するので耐酸性（酸化性ガスに耐えること
）の観点から材料を選定することができる。例えば、耐
酸性の純チタン箔を窓箔４３に用いることができるが、
これを低エネルギーにおいて利用すると、純チタン箔は
熱伝導が悪くて温度上昇が大きくなり、従ってビームの
密度を上げることができないという問題が生じる。
従ってこの発明は、低エネルギーの場合においてもビー
ム密度を大きく取ることができ、しかも空気中での照射
が可能である窓箔を提供することを目的とする。
ム密度を大きく取ることができ、しかも空気中での照射
が可能である窓箔を提供することを目的とする。
この発明の窓箔は、良熱伝導材から成る箔の照射雰囲気
側の表面を耐酸性の膜で覆っている。
側の表面を耐酸性の膜で覆っている。
良熱伝導材から成る箔によって温度上昇が軽減される。
従って、低エネルギーの場合においてもビーム密度を大
きく取ることができる。一方、耐酸性の膜によって上記
箔が酸化されるのが防止される。従って、空気中での照
射が可能である。
きく取ることができる。一方、耐酸性の膜によって上記
箔が酸化されるのが防止される。従って、空気中での照
射が可能である。
第１図は、この発明の窓箔を部分的に示す断面図である
。この発明の窓箔４０は、良熱伝導材から成る箔４０１
、例えば純アルミニウム箔の照射雰囲気側ＡＳの表面を
、耐酸性の膜４０２、例えばチタンとか窒化チタン（Ｔ
ｔＮ）等の膜で覆って形成されている。この場合、箔４
０１の真空側■Ｓの表面は、前述した水冷パイプ４２と
の熱伝導を確保する観点から、膜４０２で覆わない方が
好ましい。
。この発明の窓箔４０は、良熱伝導材から成る箔４０１
、例えば純アルミニウム箔の照射雰囲気側ＡＳの表面を
、耐酸性の膜４０２、例えばチタンとか窒化チタン（Ｔ
ｔＮ）等の膜で覆って形成されている。この場合、箔４
０１の真空側■Ｓの表面は、前述した水冷パイプ４２と
の熱伝導を確保する観点から、膜４０２で覆わない方が
好ましい。
良熱伝導材から成る箔４０１の表面を耐酸性の膜４０２
で覆う手段としては、例えば、純アルミニウム箔の表面
にチタンを真空蒸着させたり、純アルミニウム箔の表面
にチタンを真空蒸着させると共に窒素イオンを照射した
りする。
で覆う手段としては、例えば、純アルミニウム箔の表面
にチタンを真空蒸着させたり、純アルミニウム箔の表面
にチタンを真空蒸着させると共に窒素イオンを照射した
りする。
以上のような窓箔４０においては、良熱伝導材から成る
箔４０１によって温度上昇が軽減されるので、低エネル
ギーの電子線ＥＢの場合でもビーム密度を大きく取るこ
とができる０例えば、箔４０１が純アルミニウム箔の場
合は、純アルミニウムの窓箔と同程度にビーム密度を取
ることができる。しかも、箔４０１の照射雰囲気側ＡＳ
の表面は耐酸性の膜４０２で覆われているので、これに
よって箔４０１が照射雰囲気中に発生するオゾンによっ
て酸化されることもなく、従って照射雰囲気を窒素ガス
等で置換しなくても空気中での照射が可能である。
箔４０１によって温度上昇が軽減されるので、低エネル
ギーの電子線ＥＢの場合でもビーム密度を大きく取るこ
とができる０例えば、箔４０１が純アルミニウム箔の場
合は、純アルミニウムの窓箔と同程度にビーム密度を取
ることができる。しかも、箔４０１の照射雰囲気側ＡＳ
の表面は耐酸性の膜４０２で覆われているので、これに
よって箔４０１が照射雰囲気中に発生するオゾンによっ
て酸化されることもなく、従って照射雰囲気を窒素ガス
等で置換しなくても空気中での照射が可能である。
もちろん、上述のような窓箔４０は、高エネルギーの電
子線の場合にも、低エネルギーの場合と同様に利用でき
ることはいうまでもない。
子線の場合にも、低エネルギーの場合と同様に利用でき
ることはいうまでもない。
以上のようにこの発明によれば、低エネルギー、高エネ
ルギーいずれの場合においても、ビーム密度を大きく取
ることができ、しかも空気中での照射が可能となる。
ルギーいずれの場合においても、ビーム密度を大きく取
ることができ、しかも空気中での照射が可能となる。
第１図は、この発明の窓箔を部分的に示す断面図である
。第２図は、電子線照射装置（走査形電子線照射装置）
の加速装置部の一例を示す概略図である。第３図は、照
射窓を部分的に示す断面図である。 ４・・・照射窓、４０・・・この発明の窓箔、４０１・
・・良熱伝導材から成る箔、４０２・・・耐酸性の膜、
ＥＢ・・・電子線、ＶＳ・・・真空側、Ａｓ・・照射雰
囲気側
。第２図は、電子線照射装置（走査形電子線照射装置）
の加速装置部の一例を示す概略図である。第３図は、照
射窓を部分的に示す断面図である。 ４・・・照射窓、４０・・・この発明の窓箔、４０１・
・・良熱伝導材から成る箔、４０２・・・耐酸性の膜、
ＥＢ・・・電子線、ＶＳ・・・真空側、Ａｓ・・照射雰
囲気側
Claims (1)
- （１）良熱伝導材から成る箔の照射雰囲気側の表面を耐
酸性の膜で覆ったことを特徴とする電子線照射装置用窓
箔。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60019082A JPS61178700A (ja) | 1985-02-01 | 1985-02-01 | 電子線照射装置用窓箔 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60019082A JPS61178700A (ja) | 1985-02-01 | 1985-02-01 | 電子線照射装置用窓箔 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61178700A true JPS61178700A (ja) | 1986-08-11 |
Family
ID=11989522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60019082A Pending JPS61178700A (ja) | 1985-02-01 | 1985-02-01 | 電子線照射装置用窓箔 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61178700A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014503805A (ja) * | 2010-12-02 | 2014-02-13 | テトラ・ラヴァル・ホールディングス・アンド・ファイナンス・ソシエテ・アノニム | 電子射出窓箔 |
-
1985
- 1985-02-01 JP JP60019082A patent/JPS61178700A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014503805A (ja) * | 2010-12-02 | 2014-02-13 | テトラ・ラヴァル・ホールディングス・アンド・ファイナンス・ソシエテ・アノニム | 電子射出窓箔 |
| US9384934B2 (en) | 2010-12-02 | 2016-07-05 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Electron exit window foil |
| US9852874B2 (en) | 2010-12-02 | 2017-12-26 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Electron exit window foil |
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