JPS6119143A - 半導体装置の検査装置 - Google Patents
半導体装置の検査装置Info
- Publication number
- JPS6119143A JPS6119143A JP13993484A JP13993484A JPS6119143A JP S6119143 A JPS6119143 A JP S6119143A JP 13993484 A JP13993484 A JP 13993484A JP 13993484 A JP13993484 A JP 13993484A JP S6119143 A JPS6119143 A JP S6119143A
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- JP
- Japan
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- light
- probes
- inspection
- semiconductor devices
- receiver
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 35
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 54
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 241000282412 Homo Species 0.000 description 2
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体装置の検査装置に関し、特に半導体ウ
ェハー上に規則正しく配列された半導体装置の検査装置
に関する。
ェハー上に規則正しく配列された半導体装置の検査装置
に関する。
従来、半導体ウェハー上に規則正しく配列された半導体
装置を検査する装置において、半導体ウェハーを載物台
に載せ、間欠送シ機構によって１チツプづつ送りながら
検査用探針群を半導体装置の電極部に接触させ電気特性
を測定し、良品と不良品に判別する検査装置（ウェハー
プローバー）がある。
装置を検査する装置において、半導体ウェハーを載物台
に載せ、間欠送シ機構によって１チツプづつ送りながら
検査用探針群を半導体装置の電極部に接触させ電気特性
を測定し、良品と不良品に判別する検査装置（ウェハー
プローバー）がある。
この検査用探針群を半導体装置の電極部に合わせる方法
はまず半導体ウェハーを載物台に載せ検査用探針群をウ
ェハープローバー上に設置し、載物台を検査用探針群の
下方に移動させ載物台を回転させて載物台の移動方向と
半導体ウェハー上の半導体装置の分割線（スクライブ線
）の方向を合わせる・その後人が肉眼で見ながら検査用
探針群を回転させ検査用探針群の配列方向を載物台の移
動方向に合わせ、さらにこれらの方向合わせの後に載物
台を動かして半導体ウェハー上の半導体装置の電極部と
検査用探針群の各針先を合わせていた。
はまず半導体ウェハーを載物台に載せ検査用探針群をウ
ェハープローバー上に設置し、載物台を検査用探針群の
下方に移動させ載物台を回転させて載物台の移動方向と
半導体ウェハー上の半導体装置の分割線（スクライブ線
）の方向を合わせる・その後人が肉眼で見ながら検査用
探針群を回転させ検査用探針群の配列方向を載物台の移
動方向に合わせ、さらにこれらの方向合わせの後に載物
台を動かして半導体ウェハー上の半導体装置の電極部と
検査用探針群の各針先を合わせていた。
ところが、検査用探針群を回転させて、検査用探針群の
配列方向を載物台の移動方向に合わせることに対して以
下のような問題がある。すなわち、検査する半導体装置
の種類が変わり、検査用探針群を交換する毎に上記検査
用探針群の配列方向を載物台の移動方向に合わせる作業
を人が実施しなければならず、その工数が多大に必要と
される。
配列方向を載物台の移動方向に合わせることに対して以
下のような問題がある。すなわち、検査する半導体装置
の種類が変わり、検査用探針群を交換する毎に上記検査
用探針群の配列方向を載物台の移動方向に合わせる作業
を人が実施しなければならず、その工数が多大に必要と
される。
また前記作業を実施している間、検査装置は休止しなけ
ればならず、検査装置の稼動率を大巾に低下されていた
。さらに、人が肉眼で合わせる為に、人の判断による合
わせ誤差が大きく検査用探針群の針先が半導体装置の電
極部からはずれて誤検査をし、良品を不良品と判断して
しまうことも多かった。
ればならず、検査装置の稼動率を大巾に低下されていた
。さらに、人が肉眼で合わせる為に、人の判断による合
わせ誤差が大きく検査用探針群の針先が半導体装置の電
極部からはずれて誤検査をし、良品を不良品と判断して
しまうことも多かった。
本発明の目的は、かかる被検査半導体装置の種類が変わ
る時の検査用探針群の配列方向を載物台の移動方向に合
わせる作業の自動化を計り、工数の大巾低減と時間の短
縮を達成し、検査装置の稼動率の向上を達成するととも
に、人の合わせ誤差を無くし、正しい検査が可能な半導
体装置の検査装置を提供することにある。
る時の検査用探針群の配列方向を載物台の移動方向に合
わせる作業の自動化を計り、工数の大巾低減と時間の短
縮を達成し、検査装置の稼動率の向上を達成するととも
に、人の合わせ誤差を無くし、正しい検査が可能な半導
体装置の検査装置を提供することにある。
本発明は検査用探針群の探針１に光を照射する光源２と
、探針よりの反射光を受光する受光器３と、受光器より
の出力で探針の位置を解析する解析部４とを有するもの
である。
、探針よりの反射光を受光する受光器３と、受光器より
の出力で探針の位置を解析する解析部４とを有するもの
である。
光源２から探針１に光を照射し、その反射光を受光器３
で受け、その結果を解析部４に入力して探針の位置を探
査する。
で受け、その結果を解析部４に入力して探針の位置を探
査する。
以下図面を参照して本発明の実施例について説明する。
第１図（ａ） 、 （ｂ）は、検査用探針群の探針の針
先の位置を探査する機構を説明する為の図であシ、該機
構は第１図（ａ）に示すように、検査用探針１に光を照
射する光源２とその反射光を受光する受光器３と、受光
器３よりの出力に基づいて探針の位置を探査する解析部
４とから構成される。第１図（ａ）に示すように検査用
探針１に光源２から光を照射し、その反射光を受光器３
で受け、その結果を解析部４に送る。光源２及び受光器
３はそれぞれ移動機構２ａ＋３ａを有しており、プロー
バーの載物台の移動方向Ｘと同一方向に第１図（ｂ）の
ように移動し、検査用探針群のＸ軸方向の反射光の強度
を次々と測定する。反射光の強度Ｉと移動距離Ｘとの波
形は第１図（ｃ）のようになる。この反射光の強度のピ
ークのＸ軸の位置により、各検査用探針の針先のＸ方向
の位置が探査される。同様に載物台の移動方向Ｘと垂直
な載物台の移動方向Ｙについても検査用探針の針先の位
置が探査され、（Ｘ、Ｙ）の座標が各検査用探針につい
て探査される。この各検査用探針の（Ｘ、Ｙ）の座標か
ら検査用探針群の配列方向を認知することができる。
先の位置を探査する機構を説明する為の図であシ、該機
構は第１図（ａ）に示すように、検査用探針１に光を照
射する光源２とその反射光を受光する受光器３と、受光
器３よりの出力に基づいて探針の位置を探査する解析部
４とから構成される。第１図（ａ）に示すように検査用
探針１に光源２から光を照射し、その反射光を受光器３
で受け、その結果を解析部４に送る。光源２及び受光器
３はそれぞれ移動機構２ａ＋３ａを有しており、プロー
バーの載物台の移動方向Ｘと同一方向に第１図（ｂ）の
ように移動し、検査用探針群のＸ軸方向の反射光の強度
を次々と測定する。反射光の強度Ｉと移動距離Ｘとの波
形は第１図（ｃ）のようになる。この反射光の強度のピ
ークのＸ軸の位置により、各検査用探針の針先のＸ方向
の位置が探査される。同様に載物台の移動方向Ｘと垂直
な載物台の移動方向Ｙについても検査用探針の針先の位
置が探査され、（Ｘ、Ｙ）の座標が各検査用探針につい
て探査される。この各検査用探針の（Ｘ、Ｙ）の座標か
ら検査用探針群の配列方向を認知することができる。
第２図は、本発明の検査装置で半導体ウェハー 上の半
導体装置を検査する場合の検査方法を説明する為の図で
ある。載物台の移動方向Ｘ及びＹを基準として説明する
。半導体ウェハー上の半導体装置５の分割線（スクライ
ブ線）７の方向（α。
導体装置を検査する場合の検査方法を説明する為の図で
ある。載物台の移動方向Ｘ及びＹを基準として説明する
。半導体ウェハー上の半導体装置５の分割線（スクライ
ブ線）７の方向（α。
β）は、載物台上で探査される機構が従来のプローバー
にも付属している。検査用の探針群の配列方向６は、前
述した機構によＪ（Ａ、Ｂ）として探査される。従来は
、スクライブ線の方向（α。
にも付属している。検査用の探針群の配列方向６は、前
述した機構によＪ（Ａ、Ｂ）として探査される。従来は
、スクライブ線の方向（α。
β）を載物台の移動方向（Ｘ、Ｙ）に合わし、検査用探
針群の配列方向（Ａ、Ｂ）も載物台の移動方向（ｘ、ｙ
）に合わして間欠送シ機構によりＸ方向あるいはＹ方向
に移動して１チツプづつ検査を実施していた。本発明で
は検査用探針群の配列方向（Ａ、Ｂ）が自動的に探査さ
れるので、同じく自動的に探査されたスクライブ線の方
向（α。
針群の配列方向（Ａ、Ｂ）も載物台の移動方向（ｘ、ｙ
）に合わして間欠送シ機構によりＸ方向あるいはＹ方向
に移動して１チツプづつ検査を実施していた。本発明で
は検査用探針群の配列方向（Ａ、Ｂ）が自動的に探査さ
れるので、同じく自動的に探査されたスクライブ線の方
向（α。
β）を検査用探針群の配列方向（Ａ、Ｂ）と一致するよ
うに載物台を回転させ、Ｘ□とＸ軸方向、ＹｌとＹ軸方
向に間欠送りをくり返すことにより１チツプづつ検査を
実施していく。この為、従来実施していた、被検査半導
体装置の種類が変わる時の検査用探針群の配列方向（Ａ
、Ｂ）を載物台の移動方向（Ｘ、Ｙ）に合わせる作業が
省略でき、工数の大巾低減と時間の短縮が達成できる。
うに載物台を回転させ、Ｘ□とＸ軸方向、ＹｌとＹ軸方
向に間欠送りをくり返すことにより１チツプづつ検査を
実施していく。この為、従来実施していた、被検査半導
体装置の種類が変わる時の検査用探針群の配列方向（Ａ
、Ｂ）を載物台の移動方向（Ｘ、Ｙ）に合わせる作業が
省略でき、工数の大巾低減と時間の短縮が達成できる。
また、従来人が行なっていた合わせ作業の誤差を無くし
、正しい検査が可能となる。
、正しい検査が可能となる。
本発明は以上説明したように、検査用探針群の配列方向
が載物台の移動方向に対して認知され、この認知情報を
もとに、検査用探針群の配列方向にあわせて載物台の移
動方向を変化させることによシ、従来性なわれていた検
査用探針群の配列方向を載物台の移動方向に合わせる作
業が自動化でき、工数の大巾低減と時間の短縮を図るこ
とができ、検査装置の稼動率向上を達成するとともに、
手作業による合わせ誤差を無くし、正しい検査を行なう
ことができる効果を有するものである。
が載物台の移動方向に対して認知され、この認知情報を
もとに、検査用探針群の配列方向にあわせて載物台の移
動方向を変化させることによシ、従来性なわれていた検
査用探針群の配列方向を載物台の移動方向に合わせる作
業が自動化でき、工数の大巾低減と時間の短縮を図るこ
とができ、検査装置の稼動率向上を達成するとともに、
手作業による合わせ誤差を無くし、正しい検査を行なう
ことができる効果を有するものである。
第１図は、検査用探針の針先の位置を探査する機構を説
明する模式図であり、（ａ）は針先へ光を反射させる機
構を説明する図、（ｂ）は別の針先へ光を反射させる機
構を説明する図、（Ｃ）は反射光の強度と光源及び受光
器の移動距離の関係を示す図、第２図は本発明の検査装
置（プローバー）で半導体ウェハー上の半導体装置を検
査する方法を説明する為の図である。 １・・・検査用探針、２・・・光源、３・・・受光器、
４・・解析部、５・・・半導体装置、６・・・検査用探
針群の配列方向、７・・・スクライブ線、（Ｘ、Ｙ）・
・載物台ノ移動方向、（α、β）・・・スクライブ線の
方向、（Ａ、Ｂ）・・・検査用探針群の配列方向、工・
・・反射光の強度、２・・光源及び受光器の移動距離第
１図 （ｂ）
明する模式図であり、（ａ）は針先へ光を反射させる機
構を説明する図、（ｂ）は別の針先へ光を反射させる機
構を説明する図、（Ｃ）は反射光の強度と光源及び受光
器の移動距離の関係を示す図、第２図は本発明の検査装
置（プローバー）で半導体ウェハー上の半導体装置を検
査する方法を説明する為の図である。 １・・・検査用探針、２・・・光源、３・・・受光器、
４・・解析部、５・・・半導体装置、６・・・検査用探
針群の配列方向、７・・・スクライブ線、（Ｘ、Ｙ）・
・載物台ノ移動方向、（α、β）・・・スクライブ線の
方向、（Ａ、Ｂ）・・・検査用探針群の配列方向、工・
・・反射光の強度、２・・光源及び受光器の移動距離第
１図 （ｂ）
Claims (1)
- （１）半導体ウェハー上に規則正しく配列された半導体
装置を検査する装置において、検査用探針群の探針に光
を照射する光源と、探針よりの反射光を受光する受光器
と、受光器よりの出力で探針の位置を解析する解析部と
を有することを特徴とする半導体装置の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13993484A JPS6119143A (ja) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | 半導体装置の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13993484A JPS6119143A (ja) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | 半導体装置の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6119143A true JPS6119143A (ja) | 1986-01-28 |
| JPH0354856B2 JPH0354856B2 (ja) | 1991-08-21 |
Family
ID=15257066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13993484A Granted JPS6119143A (ja) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | 半導体装置の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6119143A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS622250U (ja) * | 1985-06-20 | 1987-01-08 |
-
1984
- 1984-07-06 JP JP13993484A patent/JPS6119143A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS622250U (ja) * | 1985-06-20 | 1987-01-08 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0354856B2 (ja) | 1991-08-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |