JPS6119152A - 半導体装置用パツケ−ジ - Google Patents
半導体装置用パツケ−ジInfo
- Publication number
- JPS6119152A JPS6119152A JP59140026A JP14002684A JPS6119152A JP S6119152 A JPS6119152 A JP S6119152A JP 59140026 A JP59140026 A JP 59140026A JP 14002684 A JP14002684 A JP 14002684A JP S6119152 A JPS6119152 A JP S6119152A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- internal wiring
- cut
- package
- internal wirings
- view
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
- H10W70/611—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers for connecting multiple chips together
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
- H10W70/62—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers characterised by their interconnections
- H10W70/641—Adaptable interconnections, e.g. fuses or antifuses
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体装置用パッケージに関し、特に特定の
内部配線が切断や結線が出来る構造を有する半導体装置
用パッケージに関する。
内部配線が切断や結線が出来る構造を有する半導体装置
用パッケージに関する。
(従来技術)
従来中導体装置用パッケージの結線においては、ボンデ
ングパッドやその他の部分(マウント部、シールリング
等)と外部リードを接続するための内部配線は、製造工
程において、メタライズ印刷し、積層してしまい内部に
隠れてしまう。従って、成形後は、内部配線の結線状態
を変化させることはできなかった。
ングパッドやその他の部分(マウント部、シールリング
等)と外部リードを接続するための内部配線は、製造工
程において、メタライズ印刷し、積層してしまい内部に
隠れてしまう。従って、成形後は、内部配線の結線状態
を変化させることはできなかった。
そのため、パッケージは、ペレット以外の部分(マウン
ト部、シールリンク等)と外部リード間で結線している
かいないかによって、それ以外の内部配線、外形等の規
格が同一なのにもかかわらず互換性がなく、別種のパッ
ケージとして取シ扱わなければならないという欠点があ
った。
ト部、シールリンク等)と外部リード間で結線している
かいないかによって、それ以外の内部配線、外形等の規
格が同一なのにもかかわらず互換性がなく、別種のパッ
ケージとして取シ扱わなければならないという欠点があ
った。
(発明の目的)
本発明の目的は、成形後の半導体装置用パッケージにお
いてボンデングパッド以外の部分(マウント部、シール
リング等)と特定の外部リード間の、内部配線の状態を
変更することによシ、ボンデングパッド以外の部分(マ
ウント部、シールリング等)と特定の外部リード間で、
結線されているものと、されていないものを同一の規格
のパッケージとして取シ扱うことができる構造を有する
半導体装置用パッケージを提供することにある。
いてボンデングパッド以外の部分(マウント部、シール
リング等)と特定の外部リード間の、内部配線の状態を
変更することによシ、ボンデングパッド以外の部分(マ
ウント部、シールリング等)と特定の外部リード間で、
結線されているものと、されていないものを同一の規格
のパッケージとして取シ扱うことができる構造を有する
半導体装置用パッケージを提供することにある。
(発明の構成)
本発明の半導体装置用パッケージは特定の内部配線を切
断や結線をするために、内部配線の一部が露出部分を有
することによ多構成される。
断や結線をするために、内部配線の一部が露出部分を有
することによ多構成される。
半導体装置用パッケージにおいてボンデンボパッド以外
の部分(マウント部、シールリング等)と特定の外部リ
ード間で、結線されているか、いないかという相違点以
外、その他の内部配線や外形寸法などが同じ規格のパッ
ケージがある場合、また将来において必要になると予想
される場合がおる。
の部分(マウント部、シールリング等)と特定の外部リ
ード間で、結線されているか、いないかという相違点以
外、その他の内部配線や外形寸法などが同じ規格のパッ
ケージがある場合、また将来において必要になると予想
される場合がおる。
そのような、半導体装置用パッケージにおいて、予め結
線して使用する場合の多い内部配線はその一部分が横方
向を完全に露出するような穴をあける0 また、予め切断して使用する場合が多い内部配線は、穴
を内部配線の切断部分でキャビィティ部側と外部リード
側の配線が見える様に開けることによ多構成される。
線して使用する場合の多い内部配線はその一部分が横方
向を完全に露出するような穴をあける0 また、予め切断して使用する場合が多い内部配線は、穴
を内部配線の切断部分でキャビィティ部側と外部リード
側の配線が見える様に開けることによ多構成される。
(作用)
本発明による半導体装置用パッケージで、例えば予め結
線されている内部配線を切断する必要がある場合には、
露出部分をレーザーで焼き切ったシ、ドリル等で機械的
に切断することができる。
線されている内部配線を切断する必要がある場合には、
露出部分をレーザーで焼き切ったシ、ドリル等で機械的
に切断することができる。
また、予め切断しである内部配線を結線する必要がある
場合は、この部分に半田や導電性の樹脂など低温(パッ
ケージ基体の耐熱温度以下)で溶けて簡単に凝固するも
のを流しこめば結線できる。
場合は、この部分に半田や導電性の樹脂など低温(パッ
ケージ基体の耐熱温度以下)で溶けて簡単に凝固するも
のを流しこめば結線できる。
また、金属板等、導電性のものを切断部両端の内部配線
に密着させても接続できる。
に密着させても接続できる。
また、一度切断した内部配線も、予め切断されていたも
のと同じ方法で再結線することができる。
のと同じ方法で再結線することができる。
また、一度結線した内部配線は、結線するときに半田や
導電性の樹脂等を流し込んだものは、予め結線されてい
る場合と同じ方法で再切断できる。
導電性の樹脂等を流し込んだものは、予め結線されてい
る場合と同じ方法で再切断できる。
また、金属板等導電性のものを密着させたものは、それ
を取り外せば再切断できる〇 本発明によれば、外形寸法の規格が同じで配線が一部分
で結線しているか・していないかの違いだけのパッケー
ジは、同一のものとして扱うことができる。これによっ
て、同一゛規格品を量産することができ、コストを削減
することができる。
を取り外せば再切断できる〇 本発明によれば、外形寸法の規格が同じで配線が一部分
で結線しているか・していないかの違いだけのパッケー
ジは、同一のものとして扱うことができる。これによっ
て、同一゛規格品を量産することができ、コストを削減
することができる。
(実施例)
以下、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る@ 第1図(a) 、 (b) 、 (C)から第6図に本
発明の第一の実施例を示す。第一の実施例は、本発明を
16ビンDIL (Dual In−1ine)−に
2ミンクパツケージに適用した例である。
る@ 第1図(a) 、 (b) 、 (C)から第6図に本
発明の第一の実施例を示す。第一の実施例は、本発明を
16ビンDIL (Dual In−1ine)−に
2ミンクパツケージに適用した例である。
第1図t8) 、 (b) 、 (C1は本発明の第1
の実施例を示す図で第1図(alは平面図、第1図(b
)は側面図、第1図(c)は正面図である。また第2図
は第1図A−A′断面図である。第1図(a) r (
b) 、(cl及び第2図において、4a、4b、4c
、4dが本発明の適用部分である。
の実施例を示す図で第1図(alは平面図、第1図(b
)は側面図、第1図(c)は正面図である。また第2図
は第1図A−A′断面図である。第1図(a) r (
b) 、(cl及び第2図において、4a、4b、4c
、4dが本発明の適用部分である。
本実施例のセラミックパッケージは、グリーンシートの
段階で内部配線をメタライズ印刷し、その上に別のグリ
ーン7−トを重ねて焼成するのが8゜IM、□ヶ9工い
、。 ゞ 本パッケージは、第2図に示すように上2ミックが三層
になっている実施例で、パッケージ上面(キャップ側)
から、2a、 2b、2Cとする0目的とする内部配線
が2b上に存在する場合には、2aにグリーンシートの
段階で目的の内部配線に到達する穴4dを開ける。目的
とする内部配線が2C上に存在する場合には、2aと2
bにグリーンシートの段階で目的の内部配線に到達する
穴4Cを開ける。また、パッケージ裏面に穴を開ける時
には、目的とする内部配線を2bか2Cの裏面に印刷し
ておく。2b裏面に目的とする内部配線がある場合には
、2Cにグリーンシートの段階で目的の内部配線に到達
する穴4bを開ける。目的とする内部配線が2a裏藺に
存在する場合には、2Cと2bにグリーンシートの段階
で目的の内部配線に到達する穴4aを開ける。なお、図
面では円形の穴にしているが特に円形である必要はない
。
段階で内部配線をメタライズ印刷し、その上に別のグリ
ーン7−トを重ねて焼成するのが8゜IM、□ヶ9工い
、。 ゞ 本パッケージは、第2図に示すように上2ミックが三層
になっている実施例で、パッケージ上面(キャップ側)
から、2a、 2b、2Cとする0目的とする内部配線
が2b上に存在する場合には、2aにグリーンシートの
段階で目的の内部配線に到達する穴4dを開ける。目的
とする内部配線が2C上に存在する場合には、2aと2
bにグリーンシートの段階で目的の内部配線に到達する
穴4Cを開ける。また、パッケージ裏面に穴を開ける時
には、目的とする内部配線を2bか2Cの裏面に印刷し
ておく。2b裏面に目的とする内部配線がある場合には
、2Cにグリーンシートの段階で目的の内部配線に到達
する穴4bを開ける。目的とする内部配線が2a裏藺に
存在する場合には、2Cと2bにグリーンシートの段階
で目的の内部配線に到達する穴4aを開ける。なお、図
面では円形の穴にしているが特に円形である必要はない
。
次に、あらかじめ結線されている内部配線を切断する場
合について述べる。第3図+al 、 (C)はそれぞ
れ本発明の一実施例の適用部分の上面図及び断面図であ
シ、内部配線が最初から結線しておる場合をしめす。こ
の内部配線をV−ザーで焼き切ったシ、ドリル等で機械
的に削シ取りた場合を第4図(a)に示す。この内部配
線の切断部分を保護する必要がある場合には、第4図1
0)に示すように絶縁体の個体7をクサビのようにはめ
込んだシ、第4図(blに示すように、絶縁性の樹脂6
を流し込めばよい。また、一度切断した部分を再び結線
する場合は、第4図(c)に示すように個体7をはめ込
んでいる場合にはそれを取シ外し、後で述べるような、
予め切断されているものを結線する場合と同様にすれば
よい。
合について述べる。第3図+al 、 (C)はそれぞ
れ本発明の一実施例の適用部分の上面図及び断面図であ
シ、内部配線が最初から結線しておる場合をしめす。こ
の内部配線をV−ザーで焼き切ったシ、ドリル等で機械
的に削シ取りた場合を第4図(a)に示す。この内部配
線の切断部分を保護する必要がある場合には、第4図1
0)に示すように絶縁体の個体7をクサビのようにはめ
込んだシ、第4図(blに示すように、絶縁性の樹脂6
を流し込めばよい。また、一度切断した部分を再び結線
する場合は、第4図(c)に示すように個体7をはめ込
んでいる場合にはそれを取シ外し、後で述べるような、
予め切断されているものを結線する場合と同様にすれば
よい。
次に、予め切断されている内部配線を結線する場合につ
いて述べる。第3図(b) 、 (dlはそれぞれ本発
明の一実施例の適用部分の上面図及び断面図であシ、内
部配線が最初から切断しである場合を示し第5図(a)
、 (b) 、 (c)は切断部の接続並びに保護の
説明図である。第3図(bJ 、 (C)の切断部分に
第5図(a)のように半田や導電性の樹脂8などパッケ
ージ基体の耐熱温度以下で溶けて凝固するものを用いて
結線したり、第5図(b)に示すように導電性の物質9
を外部リード側とその反対側に密着させて接着剤8等で
固定する。この場合、接着剤は導電性、非導電性を問わ
ない。また、第5図(C)のように、導電性の部分9が
内部配線に密着するようにし、上からクサビ7のような
ものを押し込んで固定する方法もある。
いて述べる。第3図(b) 、 (dlはそれぞれ本発
明の一実施例の適用部分の上面図及び断面図であシ、内
部配線が最初から切断しである場合を示し第5図(a)
、 (b) 、 (c)は切断部の接続並びに保護の
説明図である。第3図(bJ 、 (C)の切断部分に
第5図(a)のように半田や導電性の樹脂8などパッケ
ージ基体の耐熱温度以下で溶けて凝固するものを用いて
結線したり、第5図(b)に示すように導電性の物質9
を外部リード側とその反対側に密着させて接着剤8等で
固定する。この場合、接着剤は導電性、非導電性を問わ
ない。また、第5図(C)のように、導電性の部分9が
内部配線に密着するようにし、上からクサビ7のような
ものを押し込んで固定する方法もある。
また、もう一度切断する場合は、以下の様になる・第5
図(C)のように導電性の物質を機械的に密着させてい
る場合にはそれを取ル外す。また、第5図(a)r (
btの様に接着している場合には、前に述べ九ような予
め結線された内部配線を切断する場合と同じである。第
6図に、第5図(a)に示すように結線したものを、再
び切断した場合を示す◇なお、以上の方法はセラミック
製のパッケージであれば、形態に関係なく適用できる。
図(C)のように導電性の物質を機械的に密着させてい
る場合にはそれを取ル外す。また、第5図(a)r (
btの様に接着している場合には、前に述べ九ような予
め結線された内部配線を切断する場合と同じである。第
6図に、第5図(a)に示すように結線したものを、再
び切断した場合を示す◇なお、以上の方法はセラミック
製のパッケージであれば、形態に関係なく適用できる。
第7図から第12図(81、(b)に本発明の第二の実
施例を示す。第二の実施例は、本発明を72ビンチツプ
・オンeボード(Chip on Board)形式の
プラグ・イン・ライン(Plag In 1ine)パ
ッケージに適用した例である。
施例を示す。第二の実施例は、本発明を72ビンチツプ
・オンeボード(Chip on Board)形式の
プラグ・イン・ライン(Plag In 1ine)パ
ッケージに適用した例である。
第7図1a) 、 (b)はそれぞれ本発明の第2の実
施例の平面図及び正面図を示し、第8図は第7図(a)
のB−B’断面図である。第7図(a) 、 (b)及
び第8図において24a、24bが本発明の適用部分で
ある。
施例の平面図及び正面図を示し、第8図は第7図(a)
のB−B’断面図である。第7図(a) 、 (b)及
び第8図において24a、24bが本発明の適用部分で
ある。
本実施例のパッケージは、樹脂基板上に内部配線をエツ
チング・パターンニング印刷し、その上にソルダーレジ
ストを印刷するのが基本的製法となっている。
チング・パターンニング印刷し、その上にソルダーレジ
ストを印刷するのが基本的製法となっている。
そこでソルダーレジストを印刷する時に目的とする内部
配線の一部が露出するようにする。なお、図面では露出
部分が円形になっているが特に円形である必要はない。
配線の一部が露出するようにする。なお、図面では露出
部分が円形になっているが特に円形である必要はない。
次に、あらかじめ結線されている内部配線を切断する場
合について述べる0第9図(a) 、 (C)は本発明
の第2の実施例の適用部の上面図及び断面図で最初から
結線しである場合を示し、また第10図(a) 、 l
b)は切断並びに保護の説明用の断面図である。
合について述べる0第9図(a) 、 (C)は本発明
の第2の実施例の適用部の上面図及び断面図で最初から
結線しである場合を示し、また第10図(a) 、 l
b)は切断並びに保護の説明用の断面図である。
この内部配線25をレーザーで焼き切ったシ、ドリル等
で機械的に削シ取った場合を第10図(alに示す。こ
の内部配線の切断部分を保護する必要がある場合には、
第10図(b)に示すように絶縁性の樹脂26等を流し
込めによい。また、一度切断した部分を再び結線する場
合は、彼で述べるような、予め切断されているものを結
線する場合と同様にすればよい。
で機械的に削シ取った場合を第10図(alに示す。こ
の内部配線の切断部分を保護する必要がある場合には、
第10図(b)に示すように絶縁性の樹脂26等を流し
込めによい。また、一度切断した部分を再び結線する場
合は、彼で述べるような、予め切断されているものを結
線する場合と同様にすればよい。
次に、予め切断されている内部配線を結線する場合につ
いて述べる。第9図(b) 、 (d)は本発明の第2
の実施例の適用部の上面図及び断面図で最初から切断し
である場合を示し、第11図ta+ 、 (b) 、
(C)は切断部の接続並びに保護の説明用の断面図であ
る・この部分を半田や導電性の樹脂28などパッケージ
基体の耐熱温度以下で溶けて凝固するものを流し込んで
結線したシ、第11図(blに示すように導電性の物質
を外部リード側とその反対側に密着させて接着剤28等
で固定する。この場合、接りな予め結線された内部配線
を切断する場合と同じである・第12図(a)に、第1
1図(b)に示すように結線したものを、再び切断した
場合を示す。第12図(b)に、第11図(b)に示す
ように結線したものを、再び切断した場合を示す。
いて述べる。第9図(b) 、 (d)は本発明の第2
の実施例の適用部の上面図及び断面図で最初から切断し
である場合を示し、第11図ta+ 、 (b) 、
(C)は切断部の接続並びに保護の説明用の断面図であ
る・この部分を半田や導電性の樹脂28などパッケージ
基体の耐熱温度以下で溶けて凝固するものを流し込んで
結線したシ、第11図(blに示すように導電性の物質
を外部リード側とその反対側に密着させて接着剤28等
で固定する。この場合、接りな予め結線された内部配線
を切断する場合と同じである・第12図(a)に、第1
1図(b)に示すように結線したものを、再び切断した
場合を示す。第12図(b)に、第11図(b)に示す
ように結線したものを、再び切断した場合を示す。
(発明の効果)
以上説明したように、本発明によれば、外形寸法の規格
が同じで配線が一部分で結線しているか・していないか
の違いだけのパッケージは、同一のものとして扱うこと
ができる。これによって、同一規格品を量産することが
でき、コストを削減することができる。
が同じで配線が一部分で結線しているか・していないか
の違いだけのパッケージは、同一のものとして扱うこと
ができる。これによって、同一規格品を量産することが
でき、コストを削減することができる。
WJ1図(al 、 (b) 、 (C)はそれぞれ本
発明の第1の実施例の平面図、側面図、正面図、第2図
は第1図(aJのA−A’断面図、第3図+al l
(b) 、 (C) 、 (d)は本発明の第一の実施
例で適用部分の内部配線の上面図及び断面図、第4図(
aJ 、 (b) 、 (c)は本発明の第一の実施例
で目的の内部配線があらかじめ結線してあシ、それを切
断及び切断部を保護したものの断面図、第5図(aJ
、 (b) 、 (clは本発明の第一の実施例で目的
の内部配線があらかじめ切断してあシ、それを結線及び
結線部を保護したものの断面図、第6図は本発明の第一
の実施例で目的の内部配線があらかじめ切断してあシ、
それを結線した後、再び切断した場合の断面図、第7図
ta) 、 (b)はそれぞれ本発明の第二の実施例の
平面図、正面図、第8図は第7囚(a)のB−i′断面
図、第9図1a) l (b) 、 (CL(dJは本
発明の第二の実施例で適用部分の内部配線の上面図及び
断面図、第10図(a) 、 (b)は本発明の第二の
実施例で目的の内部配線が基板上にあらかじめ結線して
あシ、それを切断した場合及び保護した場合の断面図、
第11図(a) 、 tb) l (C)は本発明の第
二の実施例で目的の内部配線が基板上にあらかじめ切断
してあシ、それを結線した場合及び保護した場合の断面
図、第12図(al 、 (b)は本発明の第二の実施
例で目的の内部配線が基板上にあらかじめ切断してあシ
、それを結線した後、再び切断した場合の断面図である
。 ]、21・・・キャップ、2.22・・・パッケージ基
体、2a・・・パッケージを構成する三つのセラミック
層の内の最上層、2b・・・パッケージを構成する三つ
のセラミック層の内の中間層、2C・・ノくツケージを
構成する三つの七2ミック層の内の最下層、3.23・
・・外部リード、4a、4b、4c、4d一本発明の適
用部分、5,25・・・内部配線、6,7゜26・・・
絶縁体、8,28・・・半田又は、導電性の樹脂、9.
29・・・金属板、24a、24b・・・本発明の適用
部分、30・・・ソルダーレジスト。 (C) 第i冴 αυ (b) (C) (d)第3閉 第4図 ((1) (b)
(C)第5図 第乙圀 (θ)(b) (CJ
(II;/〕第り閏
発明の第1の実施例の平面図、側面図、正面図、第2図
は第1図(aJのA−A’断面図、第3図+al l
(b) 、 (C) 、 (d)は本発明の第一の実施
例で適用部分の内部配線の上面図及び断面図、第4図(
aJ 、 (b) 、 (c)は本発明の第一の実施例
で目的の内部配線があらかじめ結線してあシ、それを切
断及び切断部を保護したものの断面図、第5図(aJ
、 (b) 、 (clは本発明の第一の実施例で目的
の内部配線があらかじめ切断してあシ、それを結線及び
結線部を保護したものの断面図、第6図は本発明の第一
の実施例で目的の内部配線があらかじめ切断してあシ、
それを結線した後、再び切断した場合の断面図、第7図
ta) 、 (b)はそれぞれ本発明の第二の実施例の
平面図、正面図、第8図は第7囚(a)のB−i′断面
図、第9図1a) l (b) 、 (CL(dJは本
発明の第二の実施例で適用部分の内部配線の上面図及び
断面図、第10図(a) 、 (b)は本発明の第二の
実施例で目的の内部配線が基板上にあらかじめ結線して
あシ、それを切断した場合及び保護した場合の断面図、
第11図(a) 、 tb) l (C)は本発明の第
二の実施例で目的の内部配線が基板上にあらかじめ切断
してあシ、それを結線した場合及び保護した場合の断面
図、第12図(al 、 (b)は本発明の第二の実施
例で目的の内部配線が基板上にあらかじめ切断してあシ
、それを結線した後、再び切断した場合の断面図である
。 ]、21・・・キャップ、2.22・・・パッケージ基
体、2a・・・パッケージを構成する三つのセラミック
層の内の最上層、2b・・・パッケージを構成する三つ
のセラミック層の内の中間層、2C・・ノくツケージを
構成する三つの七2ミック層の内の最下層、3.23・
・・外部リード、4a、4b、4c、4d一本発明の適
用部分、5,25・・・内部配線、6,7゜26・・・
絶縁体、8,28・・・半田又は、導電性の樹脂、9.
29・・・金属板、24a、24b・・・本発明の適用
部分、30・・・ソルダーレジスト。 (C) 第i冴 αυ (b) (C) (d)第3閉 第4図 ((1) (b)
(C)第5図 第乙圀 (θ)(b) (CJ
(II;/〕第り閏
Claims (1)
- パッケージの特定の内部配線が切断や結線できるように
、内部配線の一部が露出している部分を有することを特
徴とする半導体装置用パッケージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59140026A JPS6119152A (ja) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | 半導体装置用パツケ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59140026A JPS6119152A (ja) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | 半導体装置用パツケ−ジ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6119152A true JPS6119152A (ja) | 1986-01-28 |
Family
ID=15259220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59140026A Pending JPS6119152A (ja) | 1984-07-06 | 1984-07-06 | 半導体装置用パツケ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6119152A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0516636U (ja) * | 1991-08-19 | 1993-03-02 | 株式会社高津製作所 | 屋根付オイルタンク |
-
1984
- 1984-07-06 JP JP59140026A patent/JPS6119152A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0516636U (ja) * | 1991-08-19 | 1993-03-02 | 株式会社高津製作所 | 屋根付オイルタンク |
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