JPS61194856A - 半導体装置用テストソケツト - Google Patents

半導体装置用テストソケツト

Info

Publication number
JPS61194856A
JPS61194856A JP60035675A JP3567585A JPS61194856A JP S61194856 A JPS61194856 A JP S61194856A JP 60035675 A JP60035675 A JP 60035675A JP 3567585 A JP3567585 A JP 3567585A JP S61194856 A JPS61194856 A JP S61194856A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead
socket
insertion holes
holes
test
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60035675A
Other languages
English (en)
Inventor
Motoaki Yoshinaga
吉永 元昭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP60035675A priority Critical patent/JPS61194856A/ja
Publication of JPS61194856A publication Critical patent/JPS61194856A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R12/00—Structural associations of a plurality of mutually-insulated electrical connecting elements, specially adapted for printed circuits, e.g. printed circuit boards [PCB], flat or ribbon cables, or like generally planar structures, e.g. terminal strips, terminal blocks; Coupling devices specially adapted for printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures; Terminals specially adapted for contact with, or insertion into, printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures
    • H01R12/70—Coupling devices
    • H01R12/82—Coupling devices connected with low or zero insertion force
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/62—Means for facilitating engagement or disengagement of coupling parts or for holding them in engagement
    • H01R13/629—Additional means for facilitating engagement or disengagement of coupling parts, e.g. aligning or guiding means, levers, gas pressure electrical locking indicators, manufacturing tolerances
    • H01R13/631—Additional means for facilitating engagement or disengagement of coupling parts, e.g. aligning or guiding means, levers, gas pressure electrical locking indicators, manufacturing tolerances for engagement only

Landscapes

  • Connecting Device With Holders (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体装置の試験回路基板に用いられるテスト
ソケットに関し、特にテストハンドラーを使用する場合
に効果的なテストソケットに係る。
(発明の技術的背景) IC等の半導体装置を製造する工程では、半導体デツプ
をセラミック外囲器や樹脂封止外囲器にパッケージング
した段階で、試験回路基板に設けられたテストソケット
に挿着して信頼性試験等の特性試験が行なわれる。第2
図はこの目的に使用される従来のテストソケットの平面
図で、特にZIPやCPP (通称千鳥足)と呼ばれる
パッケージのICに用いられるものである。なお、この
千鳥足と呼ばれるパッケージは、例えば第3図(A)(
B)に示すように、従来のSIPのリードを左右に交互
に折り曲げて先端を2列にした外形を有している。
第2図において、1は合成樹脂製のソケット本体である
。該ソケット本体1にはソケット端子2・・・が埋設さ
れている。個々のソケット端子2・・・は板バネ機能を
もった二枚の端子片からなり、その合せ目3に第3図に
示したICのリード41・・・。
42・・・が挿入挟着されるようになっている。なお、
第3図において5は樹脂封止パッケージ、6は放熱フィ
ンである。
〔青銅技術の問題点〕
千鳥足パッケージでは外囲器から延出されたリードが前
列リード41・・・と後列リード42・・・とに交互に
配置されているため、隣接するリード相互の平面距離を
小さくすることができ、多ピン化に適している。しかし
、多ビン化した場合には個々のリードの幅が狭く曲り易
くなり、またソケツ1〜の側の端子2・・・の幅も狭く
なっているため、第2図の従来のテストソケッi−を使
用する際には次のような問題が生じている。
第一に、リードが2列配置で?!雑であるためソケット
にセットする際の作業能率が悪く、また作業にかなりの
熟練度を要することである。
第二の問題はリードが細い(通常は0.50mm)ため
に定向りを生じ易く、またソケット端子の幅も狭い(通
常は0.85mm)ことからICの挿入ミスを生じ易い
ことである。即ち、リードが±0.2511111程度
曲っていると挿入できなかったり、また逆に挿入操作で
リードを曲げたりして測定可動率を低下する結果になっ
ている。
第三に、上記第一および第二の問題の帰結として、デス
1〜ハンドラーと呼ばれる自vJW!送装置の使用が困
nなことである。即ち、テストハンドラーでは著しく正
確な位置決め精度が要求されるからである。
〔発明の目的〕
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、千鳥足パッ
ケージについてもテストハンドラーを使用できるような
半導体装置用テストツク゛ットを提供し、テスト作業の
効率化を図ることを目的としてなされたものである。
〔発明の概要〕
本発明による半導体装置用テストソケットは。
ソケット本体表面に千鳥状に2列に設けられたリード挿
入穴と、該2列のリード挿入穴を左右に分離するように
突設されたリードセパレータと、前記リード挿入穴の夫
々に埋設された2枚の端子片からなり、これら端子片の
合せ目に挿入されるリードを挟着保持するソケット端子
と、前記各列のリード挿入穴上を通って前記ソケット本
体表面に形成されたリード案内溝とを具備したことを特
徴とするものである。
上記本発明の構成では、リードセパレータを設けたこと
により測定ICを挿入し易くし、またリード案内溝を設
けてデス1〜ハンドラーの使用を可能としたことが要点
である。
また、前記リードセパレータで各列のソケット端子を分
離したことにより、ソケット端子の幅を広くすることが
可能となり、これも挿入の際の4業性向上に寄与する。
〔発明の実施例〕
第1図(A)は本発明の一実施例になる半導体装置用テ
ストソケットの平面図で、第2図(B)・は同図(A)
のB−8lftに沿う断面図である。これらの図におい
て、11は合成樹脂製のソケット本体である。該ソケッ
ト本体11には、その表面に開孔した2列のリード挿入
穴121・・・、122・・・が設けられている。また
、これら各列のリード挿入穴121・・・、122・・
・の間にはリードセパレータ13が突設されている。前
記夫々のリード挿入穴12の中にはソケット端子141
.142が埋設されておいる。これらソケット端子は板
バネ作用を有しており、測定されるICのリードをその
合せ目に挟着するようになっている。また、両端子片1
41.142はソケットリード15に一体化され、ソケ
ット本体11の裏面から下方に延出されている。さらに
、ソケット本体11の表面には前記リード挿入穴121
・・・、122・・・の夫々の列を結ぶリード案内溝1
61.162が形成されている。
上記実施例のテストソケットに第3図(A>(B)のI
Cを挿着するに際しては、例えばこれを後方に倒した状
態でその後列のり−ド42・・・をリードセパレータ1
3に沿わせた後、垂直に起こして挿入すればよい。また
、第3図(A>(B)のICを前方に倒した状態でも同
様に挿着することができる(この場合には前列のリード
41・・・をリードセパレータ13に沿わせる)。この
ように、リードセパレータ13を位置決めに利用できる
ことから、ICの挿着作業を容易に行なうことができる
。
また、リードセパレータ13により2列のリード挿入穴
12r・・・、122・・・を完全に分離し、両者が入
組まないようにしたため、個々のソケット端子141,
142の幅を広くできる(この実施例では1.7mlで
従来の2倍)。このためリードが少々曲っていても挿入
ミスを生じることがない。
こうして作業性が良好になったため、ナス1〜装置の可
動率は従来の5000個/8時間からaooo〜+oo
oo個/8時間と約1.5倍〜2倍に向上した。
更に、リード案内溝161.162を形成したことから
、該案内溝に沿って第3図(A(B)のICをテストハ
ンドラーにより横方向から供給し、自動的に挿着するこ
とが可能となった。このため、I CWN1作業の自動
化を図ることができる。
加えて、上記実施例のテストソケットはその形状から明
らかなように、通常のSIP型の半導体装置2個を同時
に挿着して使用することも可能である。
〔発明の効果〕
以上詳述したように、本発明の半導体装置用テストソケ
ットによれば、千鳥足パッケージ型ICの帰着作業効率
を大幅に改善できると共に、テストハンドラーの使用に
よる自動化をも可能にしてテスト作業の効率化を図れる
等、顕著な効果が得られるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は(A)は本発明による半導体装置用テストソケ
ットの一実施例を示す平面図であり、第1図(B)は同
図(A)のB−B線に沿う断面図、第2図は従来のテス
1へソケットの平面図、第3図(A)は本発明によるテ
ストソケッ]・の適用対象である通称千鳥足パッケージ
型ICの正面図であり、同図(B)は右側面図である。 11・・・ソケット本体、121.122・・・リード
挿入穴、13・・・リードセパレータ、141゜142
・・・ソケット端子、15・・・ソケットリード、16
1.162・・・リード案内溝 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  ソケット本体表面に千鳥状に2列に設けられたリード
    挿入穴と、該2列のリード挿入穴を左右に分離するよう
    に突設されたリードセパレータと、前記リード挿入穴の
    夫々に埋設された2枚の端子片からなり、これら端子片
    の合せ目に挿入されるリードを挟着保持するソケット端
    子と、前記各列のリード挿入穴上を通つて前記ソケット
    本体表面に形成されたリード案内溝とを具備したことを
    特徴とする半導体装置用テストソケット。
JP60035675A 1985-02-25 1985-02-25 半導体装置用テストソケツト Pending JPS61194856A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60035675A JPS61194856A (ja) 1985-02-25 1985-02-25 半導体装置用テストソケツト

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60035675A JPS61194856A (ja) 1985-02-25 1985-02-25 半導体装置用テストソケツト

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61194856A true JPS61194856A (ja) 1986-08-29

Family

ID=12448452

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60035675A Pending JPS61194856A (ja) 1985-02-25 1985-02-25 半導体装置用テストソケツト

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61194856A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62293744A (ja) * 1986-06-10 1987-12-21 アンプ インコ−ポレ−テツド 電気ソケット
JPS6398643U (ja) * 1986-12-16 1988-06-25

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62293744A (ja) * 1986-06-10 1987-12-21 アンプ インコ−ポレ−テツド 電気ソケット
JPS6398643U (ja) * 1986-12-16 1988-06-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6215322B1 (en) Conventionally sized temporary package for testing semiconductor dice
US6407566B1 (en) Test module for multi-chip module simulation testing of integrated circuit packages
US5721496A (en) Method and apparatus for leak checking unpackaged semiconductor dice
CN115267480B (zh) 测试装置
EP0621484A1 (en) Method and apparatus for coupling a semiconductor device with a tester
US4816751A (en) Apparatus for inspecting the operation of integrated circuit device
US6642729B2 (en) Probe card for tester head
US6788082B2 (en) Probe card
US6771085B2 (en) Socketless/boardless test interposer card
US6292005B1 (en) Probe card for IC testing apparatus
US6828812B2 (en) Test apparatus for testing semiconductor dice including substrate with penetration limiting contacts for making electrical connections
EP0654672A2 (en) Integrated circuit test apparatus
JP3012242B2 (ja) 半導体集積回路の製造方法
JPH01319280A (ja) Icソケット
JPH0514426B2 (ja)
JPH04206285A (ja) Icソケット
JPH0447689A (ja) Icタブ用ソケット
JPS6117073A (ja) ソケツト
JPH0275179A (ja) Icソケット
JPH0980116A (ja) 半導体チップ用ソケット
JPH02167485A (ja) 接続装置
JPH01265167A (ja) Ic用プローブボード
JPH05242940A (ja) Icソケット
JPS6370534A (ja) 電子装置
JPH0541420A (ja) プローブカード