JPS61199037U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61199037U JPS61199037U JP8311485U JP8311485U JPS61199037U JP S61199037 U JPS61199037 U JP S61199037U JP 8311485 U JP8311485 U JP 8311485U JP 8311485 U JP8311485 U JP 8311485U JP S61199037 U JPS61199037 U JP S61199037U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- cylindrical
- cylindrical boat
- heat
- resistant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図は一実施例を表わす正面図で、下部部材
と上部部材を分離した状態を表わしている。第２
図は第１図のＡ―Ｂ線断面図で上部部材と下部部
材を組み合わせた状態を表わしている。 ２……下部部材、４……上部部材、６……円筒
状石英ボート、７……円筒状ボートの中心軸、１
０，１２……石英円板、１４……細長い穴、１５
……ウエハ、１６……ウエハを立てる石英棒。
と上部部材を分離した状態を表わしている。第２
図は第１図のＡ―Ｂ線断面図で上部部材と下部部
材を組み合わせた状態を表わしている。 ２……下部部材、４……上部部材、６……円筒
状石英ボート、７……円筒状ボートの中心軸、１
０，１２……石英円板、１４……細長い穴、１５
……ウエハ、１６……ウエハを立てる石英棒。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上下方向に分割される耐熱性の下部部材と上部
部材とが組み合わされて筒状ボートが形成され、 この筒状ボートの両端開口部は耐熱板により閉
じられ、 前記下部部材と上部部材にはこの筒状ボートの
軸方向に延びる細長い多数の穴があけられ、 この筒状ボート内にウエハが垂直方向に立てら
れ、互いに平行に並べられて、炉内に設置される
ことを特徴とする半導体装置製造用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8311485U JPS61199037U (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8311485U JPS61199037U (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61199037U true JPS61199037U (ja) | 1986-12-12 |
Family
ID=30631446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8311485U Pending JPS61199037U (ja) | 1985-05-31 | 1985-05-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61199037U (ja) |
-
1985
- 1985-05-31 JP JP8311485U patent/JPS61199037U/ja active Pending