JPS61199461A - リニアステツピングモ−タ - Google Patents

リニアステツピングモ−タ

Info

Publication number
JPS61199461A
JPS61199461A JP4038785A JP4038785A JPS61199461A JP S61199461 A JPS61199461 A JP S61199461A JP 4038785 A JP4038785 A JP 4038785A JP 4038785 A JP4038785 A JP 4038785A JP S61199461 A JPS61199461 A JP S61199461A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mover
stator
guide
core
grooves
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4038785A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0318424B2 (ja
Inventor
Akira Yoshida
昭 吉田
Yoshinari Kobayashi
良成 小林
Toshio Umezawa
梅沢 利雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Instruments Corp
Original Assignee
Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd filed Critical Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Priority to JP4038785A priority Critical patent/JPS61199461A/ja
Publication of JPS61199461A publication Critical patent/JPS61199461A/ja
Publication of JPH0318424B2 publication Critical patent/JPH0318424B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はリニアステッピングモータに関する。
(従来の技術) ムーバ−をステーターに対し相対移動させるようにした
リニアステッピングモータにおいては、ムーバ−とステ
ーターの相対直線運動を精度良く行わせる必要がある。
そこで、従来のリニアステッピングモータにおいては、
摩擦抵抗の少ない案内手段を用いることによりムーバ−
をステーターに対し精度良く移動させることが考えられ
ており、そのための各種の案内手段が考えられている。
従来一般によく用いられる案内手段は、ムーバ−の側面
に突設した軸にボールヘアリングの内輪を嵌合し、ステ
ーターの一部に形成したレール部に」−記ボールベアリ
ングの鍔付外輪を車輪として転勤自在に乗せて、ムーバ
−がステーターのレール部に沿って直線運動しうるよう
にしたものである。
従来用いられている別の案内手段は、ムーバ−とステー
ターの対向位置に断面V字状の案内溝を設け、この相対
向するV字状溝間に鋼球を介在させてなるものである。
ムーバ−はV字状の案内溝方向に直線運動させられる。
」1記案内溝をループ状に形成し、この案内溝に多数の
鋼球を介在させて鋼球を循環させるようにしたものもあ
る。
何れの案内手段の場合も、レール部や鋼球との当接部は
、耐摩耗性を考慮して鋼材やセラミ’)りス等の硬度の
高い材質が用いられる。これに対しムーバ一本体はII
I性と非磁性が要求されるためアルミニウムや黄銅等の
厚板材が用いられる。またステーター側にコイルやマグ
ネットのある構造のショートストローク用モータでは、
ステータ一本体はムーバ−と同様に非磁性であることが
要求され、形状が複雑になる場合も多いことから、ステ
ータ一本体にはアルミダイキャストが用いられることが
多い。
(発明が解決しようとする問題点) 案内手段としてボールへアリングを用いたものによれば
、ボールベアリングはコストが高く、しかもこれを最低
4個必要とするため、モータのコストが高くなる。また
、鍔付のボールベアリングをレール上で転勤させると、
ヘアリングの鍔がレールの側面に当たってがたつき、例
えば、磁気ディスク装置のへソドキャリソジのように厳
格な位置精度が要求されるものの駆動源としては不適当
である。さらに、ボールヘアリングでなる車輪の振れや
ボールヘアリングの支軸の精度誤差等が累積して誤差が
生し易い。
案内手段として鋼球と案内溝を用いたものによれば、案
内溝部を、ムーバ−およびステータ一本体とは別体に高
硬度材質で形成してこれをムーバ−およびステータ一本
体に取付けることになるため、ムーバ−およびステータ
一本体に対する案内溝部の取付は誤差が生じ易い。しか
も、案内部をセラミックスで形成した場合は、ムーバ−
およびステーターに対する固着手段を、量産効率の悪い
接着とせざるを得ない。また、案内溝をループ状にした
鋼球の循環式によれば、案内溝の形状が複雑となって加
工コストが高くなる。
何れにせよ、従来のリニアステッピングモータによれば
、関連部品の誤差の累積要因が多く、ムーバ−とステー
ターとの間のエアギャップを所定の範囲に確保すること
は容易ではなく、モータの特性も不安定になり易い。
本発明の目的は、ムーバ−とステーターとの間のエアギ
ヤツブ精度に関連する部品の誤差の累積要因を少なくし
て、所定のエアギャップを容易に確保できるようにする
とともに、案内手段の構造を簡略化して、組み立てが容
易でコストの安いリニアステッピングモータを提供−J
−ルこ、、!: ニ2F) ル。
(問題点を解決するための手段) 本発明は、ムーバ−をステーターに対し、案内体を介し
て相対移動させるリニアステッピングモータであって、
上記ムーバ−またはステーターの少なくとも一方は、上
記案内体と接する部分がセラミックスの受け部であり、
かつ、磁気回路部分を除く他の部分のほぼ全体が上記セ
ラミックスの受け部と一体成形されたセラミックス体で
あることを特徴とする。
(作用) セラミックスの受け部に介装された案内体によりムーバ
−はステーター上において直線方向に移動可能に支持さ
れる。ムーバ−とステーターとの間には所定の磁気回路
が形成され、駆動コイルに通電することによりムーバ−
がステップ駆動される。
(実施例) 第1図乃至第5図において、符号1はムーバ−15はス
テーターフレームである。ムーバ−1はセラミックスを
成形加工することにより板状に作られ、もって、高硬度
および非磁性が実現されている。ムーバ−1はまた、第
6図に詳細に示されているように、セラミックスの一体
成形により、下面の一側縁部にV字状の案内溝21が、
下面の他側縁部に平坦な案内部22が一体に形成されて
いる。
ステーターフレーム5は、ムーバ−1と同様にセラミッ
クスの成形加工によって作られ、第6図に詳細に示され
ているように、セラミックスの一体成形により、ムーバ
−1の案内a21および案内部22と対向する位置に7
字状の案内溝23.24が一体に形成されている。ムー
バ−1の案内溝21とステーターフレーム5の案内溝2
3との間およびムーバ−1の案内部22とステーターフ
レーム5の案内溝24との間にはそれぞれ鋼球3が介装
されている。
鋼球3は、案内溝23.24内で転動してムーバ−■が
案内溝21、案内部22および案内溝23.24方向に
直線的に移動するのを案内する案内体をなし、案内溝2
1、案内部22および案内溝23.24は上記鋼球3と
接する受け部をなしている。これら案内溝21、案内部
22、案内溝23.24ばムーバ−1またはステーター
フレーム5と一体成形で作られることにより、ムーバ−
1またはステーターフレーム5に対する取付は誤差は問
題とならない形になっている。
ただし、ムーバ−1、ステーターフレーム5ばセラミッ
クスの一体成形で作られるため、必要に応じて案内溝2
1、案内部22、案内溝23.24の表面を二次加工で
研磨して面精度を出すものとする。ムーバ−1の片方の
鋼球3の受け部である案内部22は平坦に形成されてい
るため、■溝の場合のように、■溝を形成する二つの面
の平行度は問題にならない。
ステーターフレーム5の案内溝23.24はその各両端
部が鋼球3の帰還路に連結されることにより鋼球3の縦
形循環構造となっている。すなわち、第2図、第4図に
左側の案内溝23で示されているように、ステーターフ
レーム5の側面には上記案内溝23を有する突出縁部5
aが形成され、この突出縁部5aとの間に鋼球3が入り
うるトンネル状の鋼球帰還路25を形成するように、ス
テーターフレーム5の側面にボールホルダ6が固定され
ている。
このように構成された案内溝23および帰還路25内に
は多数の鋼球3が密集状態に配列され、案内溝23内で
転動してムーバ−1の移動を案内した鋼球3は帰還路2
5内に入り、この帰還路25を通じて帰還したあと再び
ムーバ−■の案内に供されるようになっている。よって
、ステーターフレーム5を二次加工で研磨する必要があ
るのは、ムーバ−1の移動を案内する案内溝23の部分
だけでよい。帰還路25は鋼球3を同情に移動させるだ
けの機能があれば足り、よって、ボールホルダ6は合成
樹脂で作るとともに第2図に右側のボールホルダ6で示
されているように、合成樹脂の弾性力を利用してステー
ターフレーム5の側部にスナツプフィツト式に嵌め込む
構造でよい。ステーターフレーム5に上記のような突出
縁部5aを一体成形するためには、金型を上下に2分割
した割型とする。右側の案内溝24も上記左側の案内溝
23に連続する帰還路25と同様の帰還路に連続してい
るものとする。
第1図乃至第5図において、符号10はステーターコア
であり、磁性材でなる板を複数枚積層し、かしめた構造
になっており、下端部の周囲がコアホルダ9にスボソl
−溶接によって固定されている。
コアホルダ9ば非磁性材で作られ、適宜数のねじ17に
よってステーターフレーム5に固定されている。ステー
ターコア10は二つのコイルのコアをなすものであるが
、図示の実施例では平面形状において二つのコアの中央
部が幅方向に細いリフ27で一体に連結された形になっ
ている。従って、二つのコア部に形成される歯の相対的
なピッチ精度が出し易く、さらに、リブ27は上記のよ
うに細いために磁気飽和し易く、余分な磁路が形成され
ることのないようになっている。
ムーバ−1の下面には左右一対のムーバ−コア13.1
3が長手方向に配置され、これらムーバ−コア13、I
3の上面に溶接された非磁性のスタッド28にナツト1
6が蝙合されることによりムーバ−コア13.13がム
ーバ−1に一体に固着されている。ム−バーコア13.
13は、周囲に歯を有するローラーを角材の素材に押し
つげる所謂転造または歯切り加工を行うことにより幅方
向の歯が一定間隔で形成されている。左右のムーバ−コ
ア13.13ハ歯の位相が互いに半ピツチずらされてい
るが、この位相のずれは同一形状のムーバ−コア13.
13ヲ互いに逆向きに取付けることによって実現するこ
とができる。上記一対のムーバ−コア13.13間には
棒状のマグネット12がムーバ−コア13.13に挟ま
れるようにして配置されている。マグネット12はムー
バ−コア13.13との間の吸引力および補助的にムー
バ−1との間に介在している粘着テープによって保持さ
れる。
ステーターコア10には、巻線30とそのボビン8でな
る2組のコイル組が嵌められている。各ボビン8.8は
、そのビン状の突起8a、8aがコアホルダ9の孔に挿
通されて熱がしめされることによりコアホルダ9に固定
されている。各ボビン8.8には端子7が2個ずつ圧入
またはインサート成形等によって固定され、各端子7に
はそれぞれ巻線300巻き始めと巻き終わりが半田付は
等で接続され、さらに各端子7には外部接続用のリード
綿4の一端が接続されている。端子7を含む上記配線部
はボールホルダ6の一部で覆われて外部と絶縁されてい
る。
ムーバ−1上には取付は板15がねじ14で固着されて
いる。取付は板15は、モータ側の磁束が外部へ漏洩す
るのを防止するとともに、モータのユーザーが各種の機
器、例えばディスク装置におシフる磁気ヘッド支持体等
を取付けうるようになっている。
ステーターコア10とムーバ−コア13.13との間に
は所定のエアギャップが形成される。この所定のエアギ
ャップは、ステーターフレーム5の案内溝23.240
表面を二次加工で研磨する際にステーターコア10の上
面を同時に研磨し、また、ムーバ−1の案内溝21と案
内部22の表面を二次加工で研磨する際にムーバ−コア
13.13の下面を同時に研磨することにより容易に確
保することができる。
このようにして形成されたモータには、防塵カバー2が
被せられている。防塵カバー2はモータ上面から覆う形
でねじ31によりステーターフレーム5に固定されて防
塵機能を果たすようになっているが、その上面は取付は
板】5との間に一定の間隔を生ずるように窓孔2aが形
成され、この窓孔2aの端縁部に取付は板15の端面を
当接させることにより、ムーバ−1がオーバーランして
ステーターフレーム5から離脱するのを防止するように
なっている。
ステーターフレーム5とステーターコア1oと巻線30
等を有してなる部分全体がステーターを構成するが、ス
テーターコア10と巻線30等でなる磁気回路部分を除
く他のステータ一部分、すなわちステーターフレーム5
の全体は、ムーバ−1の案内体である鋼球3の受け部と
しての案内溝23.24の部分を含めてセラミックスに
より一体に成形されている。同様に、ムーバ−1とマグ
ネットj2とムーバ−コア13.13等を有していて、
ステーターに対して相対的に移動する部分全体が広い意
味でムーバ−を構成するが、マグネッ目2とムーバーコ
ア13.13を有してなる磁気回路部分を除く他のムー
バ一部分、すなわちムーバ−1の全体は、上記鋼球3の
受け部としての案内i21および案内部22の部分を含
めてセラミックスにより一体に成形されている。
上記実施例では、磁気回路が、ムーバ−1側の中央のマ
グネット12およびその両側のムーバ−コア13.13
と、ステーターコア10とによって形成された所謂ハイ
ブリッド形ステンピングモータとなっており、巻線30
.30に給電してステーターコア10とムーバ−コア1
3.13との間で吸引、反発させることによりムーバ−
1にステップ動作を行わせるようになっている。ムーバ
−1の移動に伴い縦型循環式ボール軸受を構成する鋼球
3がムーバ−1の案内溝21、案内部22およびステー
ターフレーム5の案内溝23.24内で転がり、ムーバ
−1の直線移動を案内する。鋼球3は転がり軸受を構成
するためムーバ−1の移動に対する抵抗は小さい。
ステーターフレーム5の案内溝23.24の端部まで転
がった鋼球3は案内溝23.24に連続する帰還路25
に入り、後から来る鋼球3に押されて転勤を繰り返す。
通常の動作範囲ではムーバ−1は機械的ス1へソバであ
る防塵カバー2の窓孔2aの内面に当たることはないが
、仮に動作範囲をオーバーしたとすると、取付は板15
の端面が防塵カバー2の窓孔2aの内面に当たって停止
させられる。また、ムーバ−1はマグネソ目2の吸引力
でステーターフレーム5上に保持された形になっており
、意識的に引き離サナい限りムーバ−1をステーターフ
レーム5から離脱させることはできないが、ムーバ−1
は最終的には防塵カバー2によって機械的な離脱防止が
なされている。
ステーターコア10とコアホルダ9は相対的に任意の位
置に固定可能な構造になっているため、これを利用して
他の部品の寸法に合わせて双方の相対位置を調整して固
定することができる。例えばコアホルダ9をステーター
フレーム5に固定する際に他の部品寸法から割り出した
寸法に設定して相対位置を決めることができるし、ステ
ーターコア10とムーバ−コアI3.13との間に所定
のニアギャップ分の厚みのスペーサを挟み込んだ状態で
ステーターコア10とコアボルダ9とを溶接することも
可能である。
また、上記実施例では、ボビン8に固定された端子7に
外部リード線4を直接接続するようにしたため、配線用
プリント基板が不要となる。ムーバ−1渉味に対してム
ーバ−コア13.13を固着するに当たり、ムーバ−コ
ア13.13に非磁性のスタッド28を固着してこれを
ムーバ−1に固着するようになっているため、ムーバ−
1に対するムーバ−コア13.13の固着部がムーバ−
1その他の磁路に悪影響を及ぼずことがなく、しかも、
外部への漏洩磁束もなくなる。
ステーターフレーム5は絶縁性のよいセラミックスで形
成されているため、ステーターフレーム5によって端子
等の通電部品を直接保持するようにしてもよい。こうす
れば、半田付は時の熱の問題もなくなる。
本発明は、第7図乃至第10図に示されているように変
形してもよい。
第7図の例は、縦型循環式ボール軸受33をステーター
34とムーバ−35との間で逆転させて形成し、ムーバ
−35側において鋼球36を循環させるようにしたもの
である。この例によれば、ムーバ−35の移動距離を長
くとることができる。
第8図の例ば、ステーターとムーバ−との間の軸受形式
をコロ3Bを用いたコロ式としたもの、第9図の例は、
軸受形式を鋼球39を用いた横型循環方式としたもの、
第10図の例は、ムーバ−の側面に軸37を一体に突設
し、この軸37に車輪40を回転可能に支持させ、この
車輪40をステーターに転勤可能に乗せてなる車輪方式
としたものである。
第7図乃至第10図の何れの例でも、ムーバ−またはス
テーターの少なくとも一方は、磁気回路部分を除く他の
部分のほぼ全体がセラミックスで作られ、かつ、案内体
としての鋼球36、コロ38、鋼球39、車輪40と接
する受け部が上記セラミックス製のムーバ−またはステ
ータ一本体部分と一体にセラミックスで成形される。
なお、セラミックス製のムーバ−またはステーターに金
属板をインサートし、案内体の受け部および通電部品の
保持部をセラミックスで形成するようにしてもよい。
各種の利用機器に対して本発明のリニアステンピングモ
ータを取付けるに際し、ステーターを上記利用機器に対
して相対的に位置可変としてもよい。
(発明の効果) 本発明によれば、ムーバ−またはステータ一本体と案内
体の受け部とがセラミックスにより一体成形されるため
、ムーバ−またはステーターに対して案内体の受け部を
固着する必要がなく、固着に基づく誤差は生じないし、
固着のための接着等の工程も不要であり、生産性の向上
と製品の品質の向上を図ることができる。また、ムーバ
−またはステーターは本来高硬度、非磁性が要求される
が、本発明によれば、セラミックスの一体成形によりこ
の要求を満足することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す平面図、第2図は第1
図中の線TI−IIに沿う断面図、第3図は第1図の中
央部縦断面図、第4図は第1図の一部断面側面図、第5
図は」二記実施例の底面図、第6図は上記実施例におけ
る案内体の受け部を拡大して示す横断面図、第7図は本
発明の別の実施例を示す一部断面側面図、第8図は本発
明のさらに別の実施例を示す斜面図、第9図は本発明の
さらに別の実施例を示す斜面図、第10図は本発明のさ
らに別の実施例を示す斜面図である。 1−ムーバ−13−案内体としての鋼球、5−ステータ
ーフレーム、 21.23.24−受け部としての案内
溝、 22−受け部としての案内部、34− ステータ
ー、 35− ムーバ−137−受け部としての軸、 
38−案内体としてのコロ、 40−案内体としての車
輪。 最lOK

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ムーバーをステーターに対し、案内体を介して相対移動
    させるリニアステッピングモータにおいて、上記ムーバ
    ーまたはステーターの少なくとも一方は、上記案内体と
    接する部分がセラミックスの受け部であり、かつ、磁気
    回路部分を除く他の部分のほぼ全体が上記セラミックス
    の受け部と一体成形されたセラミックス体であることを
    特徴とするリニアステッピングモータ。
JP4038785A 1985-03-01 1985-03-01 リニアステツピングモ−タ Granted JPS61199461A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4038785A JPS61199461A (ja) 1985-03-01 1985-03-01 リニアステツピングモ−タ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4038785A JPS61199461A (ja) 1985-03-01 1985-03-01 リニアステツピングモ−タ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61199461A true JPS61199461A (ja) 1986-09-03
JPH0318424B2 JPH0318424B2 (ja) 1991-03-12

Family

ID=12579240

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4038785A Granted JPS61199461A (ja) 1985-03-01 1985-03-01 リニアステツピングモ−タ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61199461A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013247812A (ja) * 2012-05-28 2013-12-09 Nippon Thompson Co Ltd スライド装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013247812A (ja) * 2012-05-28 2013-12-09 Nippon Thompson Co Ltd スライド装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0318424B2 (ja) 1991-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6552449B2 (en) Stage system with onboard linear motor
EP1193847A2 (en) Slider unit with built-in moving-coil linear motor
EP0229280B1 (en) Planar linear pulse motor
US6244192B1 (en) XY table
JPH11122901A (ja) リニアモータ
JP2002354779A (ja) リニアモータ
JP4321033B2 (ja) リニアモータ装置
JPH0318424B2 (ja)
JP2002096233A (ja) リニアスライダ
KR20200039777A (ko) 전동기 및 그 제조 방법
US20030038556A1 (en) Variable reluctance motor
JPH08182302A (ja) リニアモータ用軸受
US20010026101A1 (en) Variable reluctance motor
JPH1155925A (ja) リニアアクチュエータ
JPH0122392Y2 (ja)
JPH04255456A (ja) リニアモータ
JPH0424786Y2 (ja)
JP5248149B2 (ja) 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置
JPS6141164Y2 (ja)
JP2000014119A (ja) リニアモータ
JP3458922B2 (ja) ボイスコイル形リニアモータ
JPH0510026B2 (ja)
US5046234A (en) Method of manufacturing a core unit for a linear probe motor
JPH0453190Y2 (ja)
JPS6380756A (ja) 平板状リニアパルスモ−タ