JPS6120033U - 気相成長装置 - Google Patents

気相成長装置

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Publication number
JPS6120033U
JPS6120033U JP10389984U JP10389984U JPS6120033U JP S6120033 U JPS6120033 U JP S6120033U JP 10389984 U JP10389984 U JP 10389984U JP 10389984 U JP10389984 U JP 10389984U JP S6120033 U JPS6120033 U JP S6120033U
Authority
JP
Japan
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vapor phase
phase growth
bell jar
growth apparatus
heat source
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Pending
Application number
JP10389984U
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English (en)
Inventor
重次 松永
公弟 岩田
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Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
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Publication date
Application filed by Toshiba Machine Co Ltd filed Critical Toshiba Machine Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は本考案の一実施例を示すもので、
第１図は気相成長装置の構成を概略的に示す断面図、第
２図はランプ出力と温度差との関係を示す説明図、第３
図は従来装置を示す概略的断面図、第４図は従来装置に
よって生じた半導体基板の変形状態を示す説明図である
。 ２・・・・・・石英ベルジャー、３・・・・・・半導体
基板（ウエハー）、４・・・・・・サセプタ、５・・・
・・・主熱源（高周波コイル）、６・・・・・・ノズル
、８・・・・・・反応室、９・・・・・・金属製ベルジ
ャー、１０・・・・・・補助熱源（ノ和ゲンランプ）、
１１・・・・・・反射部材（反射ミラー）。

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）反応室内の半導体基板が載置されるサセプタを高
    周波加熱する気相成長装置であって、前記反応室を石英
    ベルジャーで形成し、この石英ベルジャーの外側かつ前
    記サセプタと対向する状態に補助熱源を配置するととも
    に金属製ベルジャーで前記石英ベルジャーと補助熱源の
    全体を覆う構成としたことを特徴とする気相成長装置。
  2. （２）金属製ベルジャーが二重構造となっていることを
    特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の気相成
    長装置。
  3. （３） 金属製ベルジャーが冷却水導通路を有してい
    ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第２項記載
    の気相成長装置。
  4. （４）補助熱源がその背部を反射部材で囲繞されたハロ
    ゲンランプからなることを特徴とする実用新案登録請求
    の範囲第１項記載の気相成長装置。
JP10389984U 1984-07-10 1984-07-10 気相成長装置 Pending JPS6120033U (ja)

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