JPS61214937A - 吸着保持装置 - Google Patents
吸着保持装置Info
- Publication number
- JPS61214937A JPS61214937A JP5060585A JP5060585A JPS61214937A JP S61214937 A JPS61214937 A JP S61214937A JP 5060585 A JP5060585 A JP 5060585A JP 5060585 A JP5060585 A JP 5060585A JP S61214937 A JPS61214937 A JP S61214937A
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- Japan
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- suction
- valve
- holding device
- pin
- suction port
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING, OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は半導体ウェハのような薄い板状物品に負圧を加
えて吸着保持する吸着保持装置に関するものである。
えて吸着保持する吸着保持装置に関するものである。
［従来の技術１
従来の吸着保持装置では、吸着面の中心から被吸着物体
の半径に相当する所定の距離内に複数の吸着溝を設け、
各吸着溝に連通ずる吸着面上の吸入口を介して吸着面上
の被吸着物体に負圧を加えて被吸着物体を吸着面に吸着
保持していた。
の半径に相当する所定の距離内に複数の吸着溝を設け、
各吸着溝に連通ずる吸着面上の吸入口を介して吸着面上
の被吸着物体に負圧を加えて被吸着物体を吸着面に吸着
保持していた。
このため被吸着物体の寸法が異なるとその被吸着物体を
吸着保持するに適当な吸着溝を設けた吸着保持装置を選
択使用しなければならないという不都合があった。
吸着保持するに適当な吸着溝を設けた吸着保持装置を選
択使用しなければならないという不都合があった。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明の目的は、被吸着物体の寸法が異なっても単一の
吸着保持装置によって吸着保持することができる吸着保
持装置を提供することにある。
吸着保持装置によって吸着保持することができる吸着保
持装置を提供することにある。
［問題点を解決するための手段と作用］この目的は本発
明に従って、吸着面の中心から所定距離だけ離れている
複数の吸着溝と、各吸着溝に連通ずる吸着面上の吸入口
と、吸入口と連通ずる排気孔と、吸入口から排気孔への
空気の流入を制御する弁と、被吸着物体の寸法に応じて
選択された弁のみを作動させる弁選択制御手段とを備え
ている吸着保持装置により達成される。
明に従って、吸着面の中心から所定距離だけ離れている
複数の吸着溝と、各吸着溝に連通ずる吸着面上の吸入口
と、吸入口と連通ずる排気孔と、吸入口から排気孔への
空気の流入を制御する弁と、被吸着物体の寸法に応じて
選択された弁のみを作動させる弁選択制御手段とを備え
ている吸着保持装置により達成される。
弁は閉位置にあるときは吸入口から排気孔への空気の流
入を阻止してその吸入口と連通している吸着溝を介して
被吸着物体に負圧を加えることはないが、開位置にある
ときは吸入口から排気孔への空気の流入を許してその吸
入口と連通している吸着溝を介して被吸着物体に負圧を
加えてこれを吸着面上に吸着保持する。弁選択制御手段
は自動的に被吸着物体の寸法に応じて選択した弁を同状
態に保持し、その他の弁を閉状態に保持してその被吸着
物体に負圧を作用させて吸着面に吸着保持する。または
、弁制御手段は手動調整により被吸着物体の寸法に応じ
て選択した弁を閉状態に保持し、その他の弁を開状態に
保持して被吸着物体を吸着保持する。
入を阻止してその吸入口と連通している吸着溝を介して
被吸着物体に負圧を加えることはないが、開位置にある
ときは吸入口から排気孔への空気の流入を許してその吸
入口と連通している吸着溝を介して被吸着物体に負圧を
加えてこれを吸着面上に吸着保持する。弁選択制御手段
は自動的に被吸着物体の寸法に応じて選択した弁を同状
態に保持し、その他の弁を閉状態に保持してその被吸着
物体に負圧を作用させて吸着面に吸着保持する。または
、弁制御手段は手動調整により被吸着物体の寸法に応じ
て選択した弁を閉状態に保持し、その他の弁を開状態に
保持して被吸着物体を吸着保持する。
この第１の実施例の構造では、弁を構成しているのは、
吸入口に滑動自在に挿入される柄部と、吸入口よりも大
きなつば部とを有するピンであり、そして弁選択制御手
段はピンのつば部に当接して常時これを吸入口に押し当
てて弁を閉状態に保持するスプリングである。
吸入口に滑動自在に挿入される柄部と、吸入口よりも大
きなつば部とを有するピンであり、そして弁選択制御手
段はピンのつば部に当接して常時これを吸入口に押し当
てて弁を閉状態に保持するスプリングである。
動作に当って、ウェハ２をオートハンド９によりプリア
ライメントステーション１１からウェハチャック１へ転
送すると、最外周のウェハ吸着溝５ａはピン４ａ上にウ
ェハ２がこないためピン４ａはスプリング７により押し
上げられたままの状態で排気孔３との連通を遮断されて
いる。他方、内側の吸＠＠Ｓｂ、 ５ｃはオートハンド
９の押圧によりピン４ｂ。
ライメントステーション１１からウェハチャック１へ転
送すると、最外周のウェハ吸着溝５ａはピン４ａ上にウ
ェハ２がこないためピン４ａはスプリング７により押し
上げられたままの状態で排気孔３との連通を遮断されて
いる。他方、内側の吸＠＠Ｓｂ、 ５ｃはオートハンド
９の押圧によりピン４ｂ。
４Ｃが押し下げられて吸入口を介して排気孔３と連通し
、その結果ウェハ２に負圧が作用してウェハ２は吸着面
に吸着保持される。
、その結果ウェハ２に負圧が作用してウェハ２は吸着面
に吸着保持される。
［実施例］
第１図は本発明の吸着保持装置の第１の実施例の縦断面
図であり、第２図はそれの平面図である。
図であり、第２図はそれの平面図である。
第３図は本発明の吸着保持装置による被吸着物体の吸着
転送動作を説明する図である。
転送動作を説明する図である。
第１．２図において、１はウェハチャック、２はウェハ
、３は排気孔、４ａ、 ４ｂ、 ４ｃはウェハチャック
の吸着面の吸着溝と連通ずる吸入口を開閉するためのピ
ン、５ａ、 ５ｂ、 ５ｃはウェハ２を吸着するための
吸着溝、６は常に負圧がかかつている中心吸着溝、７は
ウェハ２が吸着面にのぜられていない状態でピンを押上
げ吸着溝からの空気の流入通路を密閉するスプリング、
８は吸入ポンプ（図示せず）に接続するための継手であ
る。
、３は排気孔、４ａ、 ４ｂ、 ４ｃはウェハチャック
の吸着面の吸着溝と連通ずる吸入口を開閉するためのピ
ン、５ａ、 ５ｂ、 ５ｃはウェハ２を吸着するための
吸着溝、６は常に負圧がかかつている中心吸着溝、７は
ウェハ２が吸着面にのぜられていない状態でピンを押上
げ吸着溝からの空気の流入通路を密閉するスプリング、
８は吸入ポンプ（図示せず）に接続するための継手であ
る。
第３図において９はプリアライメントステーション１１
からウェハ２をウェハチャック１上へ転送するためのオ
ートハンド、１０はこのオートハンド９を上下するため
のシリンダー、１１はウェハ２をウェハチャック１へ供
給する前に位置決めするためのプリアライメントステー
ション、１２は位置決めピンをそれぞれ示す。
からウェハ２をウェハチャック１上へ転送するためのオ
ートハンド、１０はこのオートハンド９を上下するため
のシリンダー、１１はウェハ２をウェハチャック１へ供
給する前に位置決めするためのプリアライメントステー
ション、１２は位置決めピンをそれぞれ示す。
ピン４ｂ、 ４ｃの押し下げはオートハンド９によらな
くてもよい。例えばピン４ａ、 ４ｂ、 ４ｃのウェハ
チャックの吸着面からの突出量を微少（０，１１１１１
程度）にして、スプリング７の設定力もピン４ａ、 ４
ｂ、 ４ｃの型口より数りだけ多くしておけば、ウェハ
２の自重と中心部吸着溝６による吸着力によってピン４
ａ、 ４ｂ、 ４ｃを押し下げ、排気孔３と吸着溝５ａ
、 ５ｂ。
くてもよい。例えばピン４ａ、 ４ｂ、 ４ｃのウェハ
チャックの吸着面からの突出量を微少（０，１１１１１
程度）にして、スプリング７の設定力もピン４ａ、 ４
ｂ、 ４ｃの型口より数りだけ多くしておけば、ウェハ
２の自重と中心部吸着溝６による吸着力によってピン４
ａ、 ４ｂ、 ４ｃを押し下げ、排気孔３と吸着溝５ａ
、 ５ｂ。
５Ｃを連通させることもできる。
第４図は本発明の吸着保持装置の第２の実施例の縦断面
図である。この実施例では弁は吸入口に滑動自在に挿入
され、頂部にドライバー受けみぞを形成した上方柄部と
、この上方柄部に一体となっていて吸入口よりも大きい
つば部と、このつば部と一体となっていて上方柄部と反
対側にのびる下方柄部とを有するピンから成り、弁選択
制御手段は下方柄部に形成されたねじとこれと螺合して
ピンを固定保持するねじつき孔とから成る。
図である。この実施例では弁は吸入口に滑動自在に挿入
され、頂部にドライバー受けみぞを形成した上方柄部と
、この上方柄部に一体となっていて吸入口よりも大きい
つば部と、このつば部と一体となっていて上方柄部と反
対側にのびる下方柄部とを有するピンから成り、弁選択
制御手段は下方柄部に形成されたねじとこれと螺合して
ピンを固定保持するねじつき孔とから成る。
第４図は本発明の吸着保持装置の第２の実施例を示す。
第１の実施例との相違は、吸入口に滑動自在に挿入され
、頂部にドライバー受け溝１８を形成した上方柄部１４
と、この上方柄部に一体となっていて吸入口よりも大き
いつば部１５と、このつば部と一体となっていて上方柄
部と反対側にのびるＦ方柄部１６とを有するピンから弁
が構成されており、そしてピンの下方柄部１６に形成さ
れたねじとこれと螺合してピンを閉位置に固定保持する
ウェハチャックの盲ねじ孔１７とから弁選択制御手段が
構成されていることである。
、頂部にドライバー受け溝１８を形成した上方柄部１４
と、この上方柄部に一体となっていて吸入口よりも大き
いつば部１５と、このつば部と一体となっていて上方柄
部と反対側にのびるＦ方柄部１６とを有するピンから弁
が構成されており、そしてピンの下方柄部１６に形成さ
れたねじとこれと螺合してピンを閉位置に固定保持する
ウェハチャックの盲ねじ孔１７とから弁選択制御手段が
構成されていることである。
この実施例では吸着しようとするウェハ２の外周より外
側に位置する吸入口を弁によりあらかじめ閉じ、そして
ウェハ２の外周より内側に位置する吸入口をあらかじめ
開いて使用するのであるが、。
側に位置する吸入口を弁によりあらかじめ閉じ、そして
ウェハ２の外周より内側に位置する吸入口をあらかじめ
開いて使用するのであるが、。
その場合ドライバーの先端をピンの上方柄部１４の溝１
８に挿入し、ピンの下方柄部１６が盲ねじ孔１７から抜
は出る方向にピンを、つば部１５が吸入口を閉じるまで
、回動する。ウェハ２の外周より内側に位置する吸入口
のピンはピンの下方柄部１６が富ねじ孔１７に入り込む
方向に、つば部１５が吸入口から離れてこれを開くまで
、回動する。
８に挿入し、ピンの下方柄部１６が盲ねじ孔１７から抜
は出る方向にピンを、つば部１５が吸入口を閉じるまで
、回動する。ウェハ２の外周より内側に位置する吸入口
のピンはピンの下方柄部１６が富ねじ孔１７に入り込む
方向に、つば部１５が吸入口から離れてこれを開くまで
、回動する。
吸着動作は第１の実施例と同様であるので説明は省略す
る。
る。
本発明の実施例を半導体ウェハを吸着するものとして説
明したが、他の薄い板状物の吸着保持に当然使用できる
。また、吸着溝は同心円状に形成されるものとして説明
したが、方形であってもまたその他のループ状の溝であ
ってもよい。
明したが、他の薄い板状物の吸着保持に当然使用できる
。また、吸着溝は同心円状に形成されるものとして説明
したが、方形であってもまたその他のループ状の溝であ
ってもよい。
なお、ループは部分的に切断されるもの、すなわち完全
にはつながらないものであってもよい。
にはつながらないものであってもよい。
［発明の効果］
本発明により簡単な構成の単一の吸着保持装置によって
種々の寸法の薄板の吸着保持が可能となり、従来の寸法
毎に異なる吸着保持装置の選択使用という不都合は解消
されたのである。
種々の寸法の薄板の吸着保持が可能となり、従来の寸法
毎に異なる吸着保持装置の選択使用という不都合は解消
されたのである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の第１の実施例の縦断面図である。
第２図は第１の実施例の平面図である。
第３図は吸着保持装置の使用状態を説明する斜視図であ
る。 第４図は本発明の第２の実施例の縦断面図である。 図中： １：ウェハチャック、２：ウェハ、３：排気孔、４ａ；
４ｂ；４ｃ：ピン、５ａ：５ｂ：５ｃ：吸着溝、６：中
心部吸着溝、９：オートハンド、１０ニジリンダ、 １１ニブリアライメントスチージヨン、１２：位置決め
ピン、１４：上方柄部、１５：つば部、１６：下方柄部
、１７：Ｎねじ孔、 １８二上方柄部の溝。 第１図 第２図
る。 第４図は本発明の第２の実施例の縦断面図である。 図中： １：ウェハチャック、２：ウェハ、３：排気孔、４ａ；
４ｂ；４ｃ：ピン、５ａ：５ｂ：５ｃ：吸着溝、６：中
心部吸着溝、９：オートハンド、１０ニジリンダ、 １１ニブリアライメントスチージヨン、１２：位置決め
ピン、１４：上方柄部、１５：つば部、１６：下方柄部
、１７：Ｎねじ孔、 １８二上方柄部の溝。 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、吸着面の中心から所定距離だけ離れている複数の吸
着溝と、 各吸着溝に連通する吸着面上の吸入口と、 吸入口と連通する排気孔と、 吸入口から排気孔への空気の流入を制御する弁と、 被吸着物体の寸法に応じて選択された弁のみを作動させ
る弁選択制御手段とを備えていることを特徴とする吸着
保持装置。 ２、前記の吸着溝が吸着面の中心から所定距離だけ離れ
ている複数のループとなっており、前記の弁が前記の吸
入口に滑動自在に挿入される柄部と、吸入口よりも大き
なつば部とを有するピンであり、そして前記の弁選択制
御手段がピンのつば部を当接して常時これを吸入口に押
し当てて弁を閉状態に保持するスプリングである特許請
求の範囲第１項に記載の吸着保持装置。 ３、前記の吸着溝が吸着面の中心から所定距離だけ離れ
ている複数のループとなっており、前記の弁が前記の吸
入口に滑動自在に挿入され、頂部にドライバー受け溝を
形成した上方柄部と、この上方柄部に一体となっていて
吸入口よりも大きなつば部と、このつば部と一体となっ
ていて前記の上方柄部と反対側にのびる下方柄部とを有
するピンから成り、前記の弁選択制御手段が前記の下方
柄部に形成されたねじとこれと螺合してピンを固定保持
するねじつき孔とから成る特許請求の範囲第１項に記載
の吸着保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5060585A JPS61214937A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | 吸着保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5060585A JPS61214937A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | 吸着保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61214937A true JPS61214937A (ja) | 1986-09-24 |
| JPH0232092B2 JPH0232092B2 (ja) | 1990-07-18 |
Family
ID=12863596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5060585A Granted JPS61214937A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | 吸着保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61214937A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01206643A (ja) * | 1988-02-13 | 1989-08-18 | Shinkawa Ltd | 基板吸着構造 |
| US20150357217A1 (en) * | 2012-12-28 | 2015-12-10 | Shanghai Micro Electronics Equipment Co,, Ltd | Warped silicon-chip adsorption device and adsorption method thereof |
| WO2016054397A1 (en) * | 2014-10-03 | 2016-04-07 | Applied Materials, Inc. | Spring-loaded pins for susceptor assembly and processing methods using same |
| CN106252791A (zh) * | 2015-06-12 | 2016-12-21 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 | 硅片吸盘 |
| USD980884S1 (en) | 2021-03-02 | 2023-03-14 | Applied Materials, Inc. | Lift pin |
| US12183618B2 (en) | 2020-10-01 | 2024-12-31 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods to transfer substrates into and out of a spatial multi-substrate processing tool |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS432692Y1 (ja) * | 1964-12-23 | 1968-02-03 | ||
| JPS50125895U (ja) * | 1974-03-29 | 1975-10-15 | ||
| JPS5646529A (en) * | 1979-09-21 | 1981-04-27 | Citizen Watch Co Ltd | Wafer chuck |
-
1985
- 1985-03-15 JP JP5060585A patent/JPS61214937A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS432692Y1 (ja) * | 1964-12-23 | 1968-02-03 | ||
| JPS50125895U (ja) * | 1974-03-29 | 1975-10-15 | ||
| JPS5646529A (en) * | 1979-09-21 | 1981-04-27 | Citizen Watch Co Ltd | Wafer chuck |
Cited By (8)
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| JPH01206643A (ja) * | 1988-02-13 | 1989-08-18 | Shinkawa Ltd | 基板吸着構造 |
| US20150357217A1 (en) * | 2012-12-28 | 2015-12-10 | Shanghai Micro Electronics Equipment Co,, Ltd | Warped silicon-chip adsorption device and adsorption method thereof |
| WO2016054397A1 (en) * | 2014-10-03 | 2016-04-07 | Applied Materials, Inc. | Spring-loaded pins for susceptor assembly and processing methods using same |
| US10192770B2 (en) | 2014-10-03 | 2019-01-29 | Applied Materials, Inc. | Spring-loaded pins for susceptor assembly and processing methods using same |
| CN106252791A (zh) * | 2015-06-12 | 2016-12-21 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 | 硅片吸盘 |
| CN106252791B (zh) * | 2015-06-12 | 2019-02-19 | 睿励科学仪器（上海）有限公司 | 硅片吸盘 |
| US12183618B2 (en) | 2020-10-01 | 2024-12-31 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods to transfer substrates into and out of a spatial multi-substrate processing tool |
| USD980884S1 (en) | 2021-03-02 | 2023-03-14 | Applied Materials, Inc. | Lift pin |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0232092B2 (ja) | 1990-07-18 |
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