JPH0244558Y2

JPH0244558Y2 -

Info

Publication number: JPH0244558Y2
Application number: JP10237087U
Authority: JP
Priority date: 1987-07-03
Filing date: 1987-07-03
Publication date: 1990-11-27
Also published as: JPS6413200U

Description

【考案の詳細な説明】産業上の利用分野本考案は、回路基板のような板状物を、負圧を
用いて、吸着、位置決めする板状物の吸着保持機
構に関する。

従来技術従来、この種の吸着保持機構としては、第７図
及び第８図に示すものが知られている。第７図に
おいて、吸着テーブル１に複数の吸着穴２が設け
られ、またこの吸着穴２はホース３と連通され、
このホース３は負圧源に接続されている。そし
て、負圧源を作動して、吸着テーブル１の位置決
め突起４に接触させて基板５を置くと、基板５は
吸着穴２の負圧によつて吸着される。

また、第８図における吸着保持機構では、吸着
テーブル１に一方の角から対向する角に向つて順
次大きな十字を形成する溝６ａ，６ｂ，６ｃが設
けられ、これらの溝６ａ，６ｂ，６ｃはそれぞれ
ホース８を接続する接続口７ａ，７ｂ，７ｃに連
通されている。

考案が解決しようとする問題点しかしながら、第７図の吸着保持機構では、基
板５のサイズに応じて吸着穴２の数が異なるテー
ブル１を交換しなければならないため、基板５の
サイズが頻繁に変更される場合は、テーブル１の
変更が面倒であるという問題があつた。

また、第８図の吸着保持機構では、基板５のサ
イズに応じてホース８を接続口７ａ，７ｂ，７ｃ
のいずれかに接続し、最適な状態で吸着するよう
にしているため、ホース８の接続口７ａ，７ｂ，
７ｃへのマニユアル切換えは危険があるという問
題があつた。

問題点を解決するための手段本考案は、上記問題点を解決するために、互い
に貫通しない複数の負圧通路を設け、該負圧通路
のそれぞれの表面に複数の吸着穴を設けたテーブ
ルと、該テーブルの前記負圧通路のそれぞれに接
続された負圧の供給を切換える負圧供給切換え手
段と、該負圧供給切換え手段に負圧を供給する真
空発生器と、該真空発生器から負圧供給切換え手
段へ供給する負圧を検出する負圧センサと、該負
圧センサによつて負圧が検出されない時、前記負
圧供給切換え手段によつて前記テーブルの前記負
圧通路を負圧が検出されるまで順次閉じるように
制御する切換え制御手段とからなることを特徴と
する。

作用本考案によれば、テーブルに基板を載置したと
き、基板が覆つている吸着穴以外の吸着穴は大気
と連通しているので、テーブルの複数の負圧通路
の位置決め突起から離れた負圧通路を、負圧が検
出されるまで順次閉じていくことにより、種々の
サイズの基板を吸着保持することができる。

実施例第１図は、本考案の実施例の吸着保持機構の構
成図で、テーブル９の表面に位置決め突起１０が
設けられ、また表面に多数の吸着穴１１が設けら
れている。この吸着穴１１は、第２図の点線で示
すようにテーブル９の内部に設けられた負圧通路
１２₁，１２₂，……，１２_oにそれぞれ設けられ
ている。この負圧通路１２₁、１２₂…、１２_oは、
テーブル９の一方の角から他方の角に向かつて順
次大きくなる〓状に形成され、それぞれ接続口１
３₁，１３₂，……，１３_oを介してホース１４₁，
１４₂，……，１４_oに接続されている。そして、
これらのホース１４₁，１４₂，……，１４_oは負
圧供給切換え手段としての電磁弁１５₁，１５₂，
……，１５_oに接続され、また、電磁弁１５₁，１
５₂，……，１５_oは電磁弁駆動回路１６₁，１６
_２，……，１６_oに接続され、さらに電磁弁駆動回
路１６₁，１６₂，……，１６_oは切換え制御手段
としてのCPU１７によつて駆動される。また、
電磁弁１５₁，１５₂，……，１５_oは真空発生器
１８に接続され、この真空発生器１８からの負圧
は負圧センサ１９で検出され、検出信号はCPU
１７に入力される。

次に、この本実施例の動作を第３図のフローチ
ヤートにより説明する。まず、電磁弁１５₁，１
５₂，……，１５_oは総べてオンにして基板をテー
ブル９の上に載置すると、基板で覆われていない
吸着穴１１は大気とオープンになつているので、
負圧センサ１９は負圧を検出しないため、CPU
１７から信号が出され、一番大きい〓状の負圧通
路１２_oを閉じるように電磁弁駆動回路１６_oが駆
動され、電磁弁１５_oをオフにする。ここで、
CPU１７のタイマが動作し、負圧センサ１９が
安定するのを待つ。そして、一定時間後に負圧セ
ンサ１９が負圧を検出しない場合は、さらに電磁
駆動回路１６_o-1を駆動して電磁弁１５_o-1をオフ
にする。

このようにして順次電磁弁１５をオフにするこ
とにより、負圧センサ１９で負圧が検出された
時、基板によつて大気にオープンにされた吸着穴
がなくなり、吸着穴の負圧面と基板のサイズが一
致した時点で動作が終了する。

第４図は、本考案の他の実施例の吸着保持機構
の回路図で、切換え制御手段としてのハード回路
３２_o，３２_o-1，……はそれぞれ負圧判定回路２
０、ラツチ回路２１、タイマ回路２２を有し、ラ
ツチ回路２１はトランジスタ２３のベースに接続
され、トランジスタ２３のコレクタはそれぞれ電
磁弁１５_o，１５_o-1，……に接続され、タイマ回
路２２は次のハード回路に接続されている。そし
て、負圧判定回路２０に負圧センサ１９が接続さ
れている。また、トランジスタ２３のコレクタは
それぞれ抵抗２４を介して電磁弁駆動電圧源Vcc
に接続され、エミツタはそれぞれアースされてい
る。一方、トランジスタ２３のコレクタは電磁弁
１５_o，１５_o-1，……を介してテーブル９の接続
口１３_o，１３_o-1，……に接続される（第１図参
照）。

この実施例の動作は、まず、端子２５から吸着
開始信号がハード回路３２_oに入力されると、負
圧判定回路２０は負圧センサ１９から負圧信号が
あるかないかを判定し、負圧がなければ、ラツチ
回路２１に信号をラツチし、それに接続されたト
ランジスタ２３をオンにし、それによつて、電磁
弁１５_oをオフにする。その後、タイマ回路２２
を駆動して一定時間の後、次のハード回路３２_o-
_１の負圧判定回路２０を動作し、負圧センサ１９
から負圧信号があるかないかを判定し、負圧がな
ければ、ラツチ回路２１をオンにし、それによつ
て、電磁弁１５_o-1をオフにする。その後、タイ
マ回路２２を駆動して一定時間の後、次のハード
回路３２を駆動するというように、前記実施例と
同様に電磁弁１５を順次オフにして、負圧センサ
１９が負圧が検出されない時に基板がテーブル９
で確実に保持される。

第５図は、本考案のさらに他の実施例の吸着保
持機構の構成図で、９はテーブル、１０は位置決
め突起、１１は吸着穴、１２₁，１２₂，……，１
２_oは負圧通路、１３₁，１３₂，……，１３_oは接
続口、１４₁，１４₂，……，１４_oはホース、１
７はCPU、１８は真空発生器、１９は負圧セン
サであり、これらの構成は第１図の実施例とほぼ
同様であるので、説明は省略する。本実施例で
は、ホース１４₁，１４₂，……，１４_oは切換ド
ラム２６の接続口２７₁，２７₂，……、２７_oに
接続され、この接続口２７₁、２７₂、……、２７
_ｏは第６図の点線で示すように切換ドラム２６の
負圧供給室２８に接続され、この負圧供給室２８
に真空発生器１８からホースが接続されて負圧が
供給され、この真空発生器１８からの負圧は負圧
センサ１９で検出されている。また、負圧供給室
２８内に切換ロータ２９が回転可能に設けられ、
さらにこの切換ロータ２９はステツプモータ３０
によつて回転される。このステツプモータ３０は
CPU１７からの出力によつてモータ駆動回路３
１が駆動すると、モータ駆動回路３１からステツ
プモータ３０を１ステツプ駆動する信号を供給す
る。なお、切換ドラム２６、負圧供給室２８、切
換ロータ２９、ステツプモータ３０等で負圧供給
切換手段を形成している。

次に、本実施例の動作を説明する。まず、切換
ドラム２６の負圧供給室２８で切換ロータ２９に
よつて接続口２７₁，２７₂，……，２７_oは総べ
て開かれ、また負圧供給室２８内のエアーは真空
発生器１８で抜かれている。そして、第１図の実
施例と同様に負圧センサ１９で負圧が検出されな
い場合は、モータ駆動回路３１から信号が出力さ
れ、ステツプモータ３０を１ステツプ駆動する。
ステツプモータ３０の回転で切換ロータ２９が第
６図の矢印方向に回転すると、接続口２７_oが閉
じられる。そして、CPU１７のタイマにより一
定時間経過した後、負圧センサで負圧を検出し、
負圧信号がなければ、ステツプモータ３０を回転
して接続口２７_o-1を閉じ、負圧が検出されなけ
れば、順次接続口２７を閉じ、負圧が検出される
と、ステツプモータ３０をそれ以上回転しない。

本実施例は、このようにして負圧センサ１９で
負圧が検出されるまでステツプモータ３０を回転
し、負圧検出されると、ステツプモータ３０を停
止することにより、基板がテーブル９の上に確実
に位置決め、保持される。

なお、上記実施例では、ステツプモータ３０を
使用した例を説明したが、リニアモータでもよ
い。

考案の効果以上の説明から明らかなように、本考案によれ
ば、テーブルに基板を載置したとき、基板が覆つ
ている吸着穴以外の吸着穴は大気と連通している
ので、基板が覆われていない負圧通路を、負圧が
検出されるまで順次閉じていくことにより、積載
テーブルを交換したり、また吸着経路をマニユア
ルで切換える必要がないため、簡単に、かつ危険
を伴わずに種々のサイズの基板を吸着、位置決め
保持することができるという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の吸着保持機構の構成
図、第２図は第１図のテーブルの平面図、第３図
は第１図の動作を説明するフロートチヤート、第
４図は本考案の他の実施例の吸着保持機構の回路
図、第５図は本考案のさらに他の実施例の吸着保
持機構の構成図、第６図は第５図の切換ロータ及
びテーブルの平面図、第７図は従来の吸着保持機
構の斜視図、第８図は他の従来の吸着保持機構の
斜視図である。９……テーブル、１０……位置決め突起、１１
……吸着穴、１２₁，１２₂，……，１２_o……負
圧通路、１３₁，１３₂，……，１３_o……接続口、
１４₁，１４₂，……，１４_o……ホース、１５₁，
１５₂，……，１５_o……電磁弁、１６₁，１６₂，
……，１６_o……電磁弁駆動回路、１７……
CPU、１８……真空発生器、１９……負圧セン
サ、２０……負圧判定回路、２１……ラツチ回
路、２２……タイマ回路、２３……トランジス
タ、２４……抵抗。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

互いに貫通しない複数の負圧通路を設け、該負
圧通路のそれぞれの表面に複数の吸着穴を設けた
テーブルと、該テーブルの前記負圧通路のそれぞ
れに接続された負圧の供給を切換える負圧供給切
換え手段と、該負圧供給切換え手段に負圧を供給
する真空発生器と、該真空発生器から負圧供給切
換え手段へ供給する負圧を検出する負圧センサ
と、該負圧センサによつて負圧が検出されない
時、前記負圧供給切換え手段によつて前記テーブ
ルの前記負圧通路を負圧が検出されるまで順次閉
じるように制御する切換え制御手段とからなる板
状物の吸着保持機構。