JPS61237951A

JPS61237951A - エアカ−テン装置

Info

Publication number: JPS61237951A
Application number: JP7834285A
Authority: JP
Inventors: Mitsushi Endo; 光志遠藤
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1985-04-15
Filing date: 1985-04-15
Publication date: 1986-10-23

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の利用分野〕本発明は、エアカーテン装置に係り、特に半導体製造工
場、薬品製造工場、食品製造工場および病院等に設けら
れる空調防塵室、クリーンベンチ等に好適なエアカーテ
ン装置に関する。

〔発明の背景〕

第４図に、エアカーテン装置を配置した半導体製造工場
等の空調防塵室の従来技術を示す。

この空調防塵室では、クリーンルーム６の中で働く作粱
者寺は廊下１からドア２．５を開閉し、前室４を通り、
ついでエアジャワ５により除塵な行い、クリーンルーム
６の中に入るようになっている。

従来技術において、ドア２．５による二重罪にしている
理由は、前室４もある程度の清浄度を要するためである
。一般に、前室４はセミクリーンルームの仕様に作られ
ており、従来技術ではこの前室４をある程度の清浄度に
維持するため、二重扉にする必要があった。

しかし、前記従来の空調防塵室では、二重罪とせざるを
得ないので、ドア２，３を２度開け、閉めする必要があ
り、特に物品を運ぶ作業者にとって、非常に煩わしい問
題がある。

なお、エアカーテン装置において、単に一重扉にした場
合には風の巻き込みがあり、室内を要求される清浄度に
保つことが困難であるばかりでなく、戸口が広い場合に
は、風速および風蓋を増す必要かあるため、ファン容量
を大きくすることになる。その結果、騒音が著しく太き
くなり７ｏｄＢを超すようなことになると、クリーンル
ーム６内で行う微妙な作業の障害となる問題が発生する
。

ついで、第５図に従来の水平ラミナフロータイプのクリ
ーンベンチを示す。

この水平ラミナフロータイプのクリーンベンチ９では、
清浄エア吹き出し口１０から水平方向に清浄エア１１を
吹き出すようにしている。

しかし、このタイプのクリーンベンチの従来のものは、
外部から方向が異なる風が流れることによる外乱に対す
る配慮がなされていない。

したがって、清浄エア１１の流れに対して、違う方向の
風が流れると、気流に乱れが生じ、水平ラミナフローの
特性が低下し、また清浄度が低下する問題があった。

続いて、第６図に従来の垂直ラミナフロータイプのクリ
ーンベンチを示す。

この垂直ラミナフロータイプのクリーンベンチ１４では
、清浄エア吹き出し口１５から垂直方向に清浄エア１６
を吹き出すようにしている。

しかしなから、このタイプのクリーンベンチにおいても
従来は外乱に対する配慮がなされていないため、清浄エ
ア１６の流れに対して、外部から違う方向の風が流れて
くると、気流が乱れ、垂直ラミナフローの特性が低下し
、また清浄度が低下する問題があった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、前記従来技術の問題を解決し、空調防
塵室およびクリーンベンチを要求される清浄度に維持す
ることができ、かつ空調防塵室に適用して二重罪による
ドアの開閉の煩わしさを解消でき、しかも容量の小さい
ファンを使用可能なエアカーテン装置を提供することに
ある。

〔発明の概要〕

本発明は、相対する二方向から空気を吹き出す空気吹き
出し口を設けたところに特徴を有するもので、この構成
により、外部からの空気の侵入による清浄度の低下を無
くし、その結果空調防塵室およびクリーンベンチを要求
される清浄度に維持することができ、かつ空調防塵室に
適用した時は一重罪にすることができ、これによりドア
の開閉の煩わしさを解消でき、また小さい容量のファン
を２個使用して空気を吹き出すようにすることによって
、騒音を小さく抑えることができる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図面により説明するｉ第１図は
、空調防塵室に適用した本発明の一実・絶倒を示す。

この実施例に示す空調防塵室は、廊下１と、ドア２と、
前室４と、エアジャワ５と、クリーンルーム６とを備え
、−重罪に構成されている。

一方、との実施例のエアカーテン装置は、ドア２の廊下
１側に設置された空気吹き出しロアａ、１７ｂを有して
いる。前記空気吹き出しロアａ、７ｂは、互いに対向す
る方向に空気を吹き出すように構成されており、二方向
から吹き出された空気の交点角度は廊下１側に向かって
１８０度以下になるように設けられている。また、前記
空気吹き出し０７ａ、７ｂは、ドア２の開閉に連動して
働くようになっている。

前記第１図忙示す実施例のエアカーテン装置では、ドア
２が開くと、これに連動して空気吹き出しロアａ、ｙｂ
より、二方向から　下１側に向かって１８０度以下の交
点角度で空気が吹き出し−この空気の流れ８により外部
からの塵あいの侵入を防ぐことができる。したがって、
クリーンルーム６内を必要な清浄度に維持することがで
きる。

また、前記エアカーテン装置の機能により、−重罪に構
成でき、これにより二重罪の開閉の煩わしさが解消され
、物品の搬入、搬出を能率よく行うことができる。

さらに、２個の空気吹き出しロアａ、７ｂがら空気を吹
き出すようにしているので、容量の小さい２個のファン
を使用して空気を送ることもでき、したがってファンの
騒音による障害も解消することが可能となる。　− 次Ｋ、第２図は水平ラミナフロータイプのりリーンベン
チに本発明を適用した実施例を示す。

この第２図に示すクリーンベンチ９は、清浄エア吹き出
し口１０を有し、この清浄エア吹き出し口１０から水平
方向に清浄エア１１を吹き出すように構成されている。

そして、エアカーテン装置は前記クリーンベンチ９にお
ける清浄エア１１の気流の出口側の左右に設けられた２
個の空気吹き出し口１２ａ　、１２ｂを備えて構成され
ている。また、このエアカーテン装置は前記空気吹き出
し口１２ａ、１２ｂから前記清浄エア１１の流れ方向に
向かって１８０度以下の交点角度に空気を吹き出し、空
気の流れ１５を形成するようになっている。

前記第２図に示す実施例のエアカーテン装置では、空気
吹き出し口１２ａ、１２ｂを通じて二方向から吹き出し
、この空気の流れ１５により清浄エア１１に対して方向
の違う風の侵入を防ぐことができる。したがって、外部
から入ってくる違う方向の風の流れによる清浄エア１１
の気流の乱れを防止でき、水平ラミナフローの特性の低
下および清浄度の低下を防止できるので、クリーンベン
チ９内を必要な清浄度に維持することができる。

ついで、第５図は垂直ラミナフロータイプのクリーンベ
ンチに本発明を適用した実施例を示す。

この第３図に示すクリーンベンチ１４は、清浄エア吹き
出し口１５を備え、この清浄エア吹き出し口１５から垂
直方向に清浄エア１６を吹き出すように構成されている
。

また、エアカーテン装置は前記クリーンベンチ１４にお
ける清浄エア１６の流れの出口側の上下に設けられた２
個の空気吹き出し口１７ａ、１７ｂを有して構成されて
いる。このエアカーテン装置は、前記空気吹き出し口１
７ａ、ｔ７ｂから清浄エア１６の流れ方向に向かって１
８０度以下の交点角度に空気を吹き出し、空気の流れ１
Ｂを形成するようになっている。

前記第３図に示す実施例のエアカーテン装置では、空気
吹き出し口１７ａ、１７ｂを通じて二方向がら空気を吹
き出し、この空気の流れ１Ｂにより清浄エア１６の流れ
に対して方向の異なる虱の侵入を防ぐことができる。そ
の結果、外部からの風の侵入による清浄エア１６の気流
の乱れを防止することができ、垂直ラミナフローの特性
の低下および清浄度の低下を防止で六るので、クリーン
ベンチ１４内を必要な清浄度に維持することができる。

し発明の効果〕以上説明した本発明によれば、相対する二方向から空気
を吹き出す空気吹き出し口を設けているので、空調防塵
室およびクリーンベンチに適用した場合において、外部
からの空気の侵入による清浄度の低下を防止でき、した
がって空調防塵室およびクリーンベンチを必要な清浄度
に維持し得る効果がある。

また、特に本発明を空調防塵室に適用した場合に、−重
罪にすることができ、したがってドアの開閉の煩わしさ
を解消で般、物品の搬入。

搬出を能率よく行い得る効果があり、小さい容量のファ
ンを２個使用して空気を吹き出すようにすることもでき
るので、ファンの騒音を小さく抑え得る効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は空調防塵室に適用した本発明の一実施例を示す
平面図、第２図は水平ラミナフローのクリーンベンチに
適用した本発明の一実施例の斜視図、第３図は垂直ラミ
ナフローのクリーンベンチに適用した本発明の一実施例
の側面図、第４図は空調防塵室の従来技術を示す平面図
、第５図は水平ラミナフローのクリーンベンチの従来技
術の斜視図、第６図は垂直ラミナフローのクリーンベン
チの従来技術の側面図である。１・・・・・・空調防塵室の廊下、２・・・・・・同ドア、　　　　４・叩・同前室、５・
・・・・・同エアジャワ、　６・叩・同クリーンルーム
、７ａ、７ｂ・・・・・・エアカーテン装置を構成して
いる空気吹き出し口、８・・・・・・空気吹き出し口から吹き出された空気の
流れ。９・・・・・・水平ラミデフ０−のクリーンベンチ、１
０・・・・・・クリーンベンチの清浄エア吹き出し口、
１２ａ、１２ｂ・・・・・・エアカーテン装置を構成し
ている空気吹き出し口、１５・・・・・・空気吹き出し口から吹き出された空気
の流れ、１４・・・・・・垂直ラミナフローのクリーンベンチ、
１５・・・・・・クリーンベンチの清浄エア吹倉出し口
、１７ａ、１７ｂ・・・；・・エアカーテン装置を構成
している空気吹き出し口、１Ｂ・・・・・・空気吹き出し口から吹伊出された空気
の流れ。

Claims

【特許請求の範囲】１、相対する二方向から空気を吹き出す空気吹き出し口
を設けたことを特徴とするエアカーテン装置。２、特許請求の範囲第１項において、相対する二方向か
ら吹き出す空気の交点角度を１８０度以下としたことを
特徴とするエアカーテン装置。