JPH0510932U - エアーシヤワー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 一体構造であったエアーシャワー装置４５本
体を現場組立可能な複数の主要構成部材に分割し、搬入
スペースの制約を回避する。 【構成】 据え付け場所の床に対峙して立設されジェッ
ト気流吹出手段１３が設けられるとともに、このジェッ
ト気流吹出手段１３の吸込口３４が凹設される一対の壁
ユニット３１、３３と、立設された一対の壁ユニット３
１、３３の上部同士に亘って取り付けられ内壁面との接
続部が気流の滞留を防止する曲面状の隅部４０となる天
板ユニット３５と、壁ユニット３１、３３の両側端面同
士に亘って取り付けられこの一対の壁ユニット３１、３
３、天板ユニット３５とで箱状の空間を形成する入室用
ドアユニット３６、及びクリーンルーム用ドアユニット
３７とを組立自在に分割して有する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、クリーンルーム入室口に設けられるエアーシャワー装置に関するも のである。

【０００２】

【従来の技術】

クリーンルーム入室口には、入室者及び搬入物に付いた塵を除去し、クリーン ルーム内への塵の侵入を防止するエアーシャワー装置が設けられている。このエ アーシャワー装置は、クリーンルームの前室となるべく外部、及びクリーンルー ム内と遮蔽でき、独立した空間となる。

【０００３】 図５、図６に基づいて、従来のエアーシャワー装置を説明する。図５はエアー シャワー装置を入室口側から見る一部を透視した正面図、図６はエアーシャワー 装置内の壁面を表した正面図を示す。

【０００４】 図５に示すように、一体となった箱状の本体１の壁にはエアーシャワー装置内 への入室用のアルミサッシドア３が取り付けられている。また、アルミサッシド ア３に対向する本体１の他方の壁にはクリーンルーム内への入室用のアルミサッ シドア５が取り付けられている（図６参照）。従って、アルミサッシドア３、ア ルミサッシドア５を閉め切ることで、本体１内は独立した空間となる。本体１は 壁上端面に天板が当接される構造となっているため、内壁と天板との接続部は直 交する二面に挟まれた隅部７となっている。アルミサッシドア３、５はアルミド ア枠９を介して本体１の壁に取り付けられ、本体１とアルミサッシドア３、５と は一体となっている（取り外し不可能）。アルミサッシドア３、５は市販品が用 いられ、色、シリンダ錠、蝶番、ドアクローザ等が所定の仕様となっている。ま た、本体１内の底には床板１１が敷設され、床板１１にはマットスイッチ１２等 が設けられている。従って、本体１の床面と外部の床面とには段差が生じるよう になっている。

【０００５】 図６に示すように、アルミサッシドア３、５が取り付けられた壁に隣接する左 右の壁の内壁面には複数個のジェット気流吹出手段であるエアージェットノズル １３が設けられている。エアージェットノズル１３からはターボファン１５から 送られたエアーがメインフィルター１７を介して吐出されるようになっている（ 図５参照）。エアージェットノズル１３が設けられた内壁面の下部には内壁面と 同一平面状となったプレフィルター１９が設けられ、プレフィルター１９からは ターボファン１５の吸気エアーが吸い込まれるようになっている。つまり、エア ージェットノズル１３から吐出されたエアーはプレフィルター１９から吸気され 、本体１内を循環するとともに、その際、循環エアーに混入した塵がプレフィル ター１９、メインフィルター１７によって除去されるようになっている。

【０００６】 従って、エアーシャワー装置内へ入った入室者及び搬入物は、塵がジェットエ アー（ジェット気流）により吹き飛ばされ、クリーン度が向上した後、クリーン ルーム側のアルミサッシドア５のみが開かれてクリーンルーム内へ入室すること で、クリーンルーム内への塵の持ち込みが防止されているのである。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来のエアーシャワー装置では本体１が一体構造となっている ため、搬入経路の所要スペースが大きく、据え付けることのできる場所が制約さ れることがあり、また、製品重量も大きくなるため、搬入据え付け工事が人手を 要するものとなっていた。更に、本体１の底には床板１１が敷設されているので 、エアーシャワー装置内の入室時に違和感が生じるとともに、手押台車、或いは 、ＦＡ化に伴う自動搬送台車の通行に支障をきたす場合もあった。そして、床板 １１が設けられていることは、清掃がしにくくなる理由ともなっていた。また、 アルミサッシドア３、５は市販品が用いられているため、他の建築ドアと意匠的 に調和がとれず違和感が生じるとともに、遮音性が劣り、ターボファン１５の運 転音が外部への騒音となる虞れがあり、更には、気密性を充分に確保することも できなかった。また、本体１内における内壁と天板との接続部は、隅部７となっ ているため、ジェットエアーの死角が生じるとともに、プレフィルター１９が内 壁面と同一平面状で設けられているため、吸い込み時のエアーが乱れるという問 題があった。

【０００８】 更に、ドアーの種類、通過有効巾を変える場合、入室人数を増やしたい場合、 自動扉を取り付けたい場合などの特注時には、いずれも本体１の構造を大きく変 更しなければならず、製造費用の増大は必至であった。

【０００９】 本考案は上記状況に鑑みてなされたもので、搬入時の所要スペースが小さく、 、気密性、遮音性が確保でき、ジェットエアーの死角が生じないとともに、エア ーの乱れも少なく、しかも、特注時にも安価に対応できるエアーシャワー装置の 提供を目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するための本考案に係るエアーシャワー装置の構成は、据え付 け場所の床に対峙して立設され対向するそれぞれの内壁面にジェット気流吹出手 段が設けられるとともに、該ジェット気流吹出手段の吸込口が前記内壁面の下部 に凹設される一対の壁ユニットと、該一対の壁ユニットの上部同士に亘って取り 付けられ内壁面との接続部が曲面状の隅部となる天板ユニットと、前記一対の壁 ユニットの両側端面同士に亘って取り付けられ該一対の壁ユニットと前記天板ユ ニットとで箱状の密閉空間を形成する入室用ドアユニット、及びクリーンルーム 用ドアユニットとからなることを特徴とする。

【００１１】

【作用】

本体が壁ユニット、天板ユニット、及び入室用ドアユニット、クリーンルーム 用ドアユニットの分割状態で搬入され、搬入経路として必要な所要スペースが小 さくなる。据え付け場所の床が兼用され、本体内と外部との床に段差が生じない 。本体内での気流が隅部の曲面に沿って流れ、隅部での気流の滞留がなくなる。 ジェット気流吹出手段の吸気が内壁面直前まで整流状態で流れ、本体内での吸気 気流に乱れが生じない。

【００１２】

【実施例】

以下、本考案に係るエアーシャワー装置の好適な一実施例を図面を参照して詳 細に説明する。図１は本考案に係るエアーシャワー装置の分解斜視図、図２は本 考案に係るエアーシャワー装置を入室口側から見る一部を透視した正面図、図３ はエアータイトユニットを表す断面図、図４は本考案に係るエアーシャワー装置 内の壁面を表した正面図を示す。尚、図５、図６に示した部材と同一の部材には 同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

【００１３】 図１に示すように、一方の側壁を形成する壁ユニット３１の内壁面にはジェッ ト気流吹出手段であるエアージェットノズル１３が設けられ、エアージェットノ ズル１３からは壁ユニット３１に内設されたターボファン１５からメインフィル ター１７を介しジェットエアー（ジェット気流）が吐出されるようになっている （図２参照）。壁ユニット３１には対峙して他方の側壁を形成する壁ユニット３ ３が設置されるようになっており、壁ユニット３３にも同様にエアージェットノ ズル１３、ターボファン１５、メインフィルター１７が設けられ、同様の作用を 奏するようになっている。壁ユニット３１、３３の下部には内壁面より引っ込ん だ吸込口である蹴込部３４がそれぞれ設けられており、ターボファン１５の吸気 はこの蹴込部３４から吸い込まれるようになっている。内壁面より引っ込んだ蹴 込部３４から吸い込まれる吸気は、内壁面直前まで整流状態で流れ、気流に乱れ が生じないようになっている。壁ユニット３１、３３は遮音性を高めるため、鋼 製建具を使用して構成されている。また、壁ユニット３１、３３の下部は据え付 け場所の床に直接設置されることで、壁ユニット３１、３３の床は据え付け場所 の床と同一となるようになっている。従って、壁ユニット３１、３３間への手押 台車等の通行は段差を経ることなく、スムーズに行えるようになっている。尚、 壁ユニット３１、３３の下部と、据え付け場所の床との間はシール材等により当 然に密閉処理が施される。

【００１４】 対峙して設置された壁ユニット３１、３３の上部には現場施工により天板ユニ ット３５が取り付けられるようになっており（図２参照）、天板ユニット３５は 天板下面と内壁面とに挟まれる隅部４０が曲面状に形成されている。つまり、懐 が浅くなり、ジェットエアーの死角が生じにくい構造となっているのである。天 板ユニット３５は遮音性を高めるため、鋼製建具を使用して構成されている。天 板ユニット３５が取り付けられることで、壁ユニット３１、３３は門型の一体構 造となり、内部に空間が形成されるようになっている。

【００１５】 図１に示すように、天板ユニット３５により一体となった門型の壁ユニット３ １、３３の開口側には、入室用ドアユニット３６と、クリーンルーム用ドアユニ ット３７とが現場施工により取り付けられるようになっている。入室用ドアユニ ット３６、クリーンルーム用ドアユニット３７は、鋼製建具を使用し他の建築意 匠に調和したものとなっており、気密性の高いいわゆるセミタイト構造になって いる。また、クリーンルーム用ドアユニット３７の下部には、図３に示すように 、スイングエアタイトユニット３９が設けられている。スイングエアタイトユニ ット３９には可動シール片４１が設けられ、可動シール片４１はクリーンルーム 用ドアユニット３７の開閉動作に応じて常時床面との密接状態が保持できるよう になっている。そして、図４に示すように、入室用ドアユニット３６は軽量間仕 切り壁４３に連結可能となっており、クリーンルーム用ドアユニット３７はクリ ーンルームの入室口に取り付けられるようになっている。

【００１６】 壁ユニット３１、３３、天板ユニット３５、入室用ドアユニット３６、クリー ンルーム用ドアユニット３７を主な部材として本考案に係るエアーシャワー装置 ４５が構成されている。

【００１７】 本実施例に係るエアーシャワー装置４５によれば、本体にそれぞれ鋼製建具が 使用されているので、遮音性に優れ、ターボファン１５の運転音が外部に洩れる ことがなく、騒音の防止を図ることができる。また、入室用ドアユニット３６、 クリーンルーム用ドアユニット３７は、セミタイト構造になっているので、気密 性を高く保持でき、エアーシャワー装置４５内をいわゆるエアーロックルームと することができる。また、入室用ドアユニット３６が鋼製建具を使用しているの で、他の建築扉との調和が図れ、建築意匠にもかなったものとすることができる 。

【００１８】 更に、本実施例に係るエアーシャワー装置４５を特注品として製作したい場合 には、以下の優れた点を有する。即ち、ドアの種類を変えたい場合、或いは、自 動ドアを組み合わせたい場合には、本体は変更不要でドアのみの変更で済む。通 過有効巾を変えたい場合には、天板ユニット３５と、ドアのみの変更で済む。入 室人数を増やしたい場合には、壁ユニット３１、３３、天板ユニット３５の基本 本体を人数分増設することで、安定した品質で容易に、しかも、安価に増やすこ とができる。床付タイプとしたい場合には、床部分のみ製作取り付けすることが できる。エアタイト性及び遮音性を高めたい場合には、入室用ドアユニット３６ にもスイングエアタイトユニット３９を設けることで容易に実現することができ るなどである。

【００１９】

【考案の効果】

以上詳細に説明したように、本考案に係るエアーシャワー装置は、分割された 壁ユニット、天板ユニット、入室用ドアユニット、及びクリーンルーム用ドアユ ニットの五つの構成部材から組み立てられるので、搬入時の占有スペースが小さ くて済み、搬入経路の制約による据え付け制限を皆無にすることができる。また 、本体内と外部との床に段差が生じないので、手押台車等の通行が極めてスムー ズに行える。更に、隅部での気流の死角がなくなるため、気流が滞留しなくなり 、クリーン度を向上させることができる。また、ジェット気流吹出手段の吸気が 内壁面直前まで整流状態で流れ、吸気気流に乱れが生じないため、ジェット気流 の循環効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るエアーシャワー装置の分解斜視図
である。

【図２】本考案に係るエアーシャワー装置を入室口側か
ら見る一部を透視した正面図である。

【図３】エアータイトユニットを表す断面図である。

【図４】本考案に係るエアーシャワー装置内の壁面を表
した正面図である。

【図５】従来のエアーシャワー装置を入室口側から見る
一部を透視した正面図である。

【図６】従来のエアーシャワー装置内の壁面を表した正
面図である。

【符号の説明】

１３ エアージェットノズル（ジェット気流吹出手段） ３１ 壁ユニット ３３ 壁ユニット ３４ 蹴込部（吸込口） ３５ 天板ユニッ
ト ３６ 入室用ドアユニット ３７ クリーンル
ーム用ドアユニット ４０ 隅部 ４５ エアーシャ
ワー装置

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 据え付け場所の床に対峙して立設され対
   向するそれぞれの内壁面にジェット気流吹出手段が設け
   られるとともに、該ジェット気流吹出手段の吸込口が前
   記内壁面の下部に凹設される一対の壁ユニットと、該一
   対の壁ユニットの上部同士に亘って取り付けられ内壁面
   との接続部が曲面状の隅部となる天板ユニットと、前記
   一対の壁ユニットの両側端面同士に亘って取り付けられ
   該一対の壁ユニットと前記天板ユニットとで箱状の密閉
   空間を形成する入室用ドアユニット、及びクリーンルー
   ム用ドアユニットとからなることを特徴とするエアーシ
   ャワー装置。