JPS6126247B2 - - Google Patents
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- JPS6126247B2 JPS6126247B2 JP916584A JP916584A JPS6126247B2 JP S6126247 B2 JPS6126247 B2 JP S6126247B2 JP 916584 A JP916584 A JP 916584A JP 916584 A JP916584 A JP 916584A JP S6126247 B2 JPS6126247 B2 JP S6126247B2
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- Japan
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- surface wave
- electrode
- unnecessary
- waves
- electrodes
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02614—Treatment of substrates, e.g. curved, spherical, cylindrical substrates ensuring closed round-about circuits for the acoustical waves
- H03H9/02629—Treatment of substrates, e.g. curved, spherical, cylindrical substrates ensuring closed round-about circuits for the acoustical waves of the edges
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/14526—Finger withdrawal
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面波を利用した表面波フイルタの如
き表面波素子に係わる。
き表面波素子に係わる。
この種表面波素子は、例えば第１図に示す如
く、表面波伝播媒質、即ち圧電体基体１上に、
夫々対の櫛歯電極が交互に対向配置されてなる入
力電極２と出力電極３とが被着形成され両電極２
及び３間に接地電極４が配置されて成る。
く、表面波伝播媒質、即ち圧電体基体１上に、
夫々対の櫛歯電極が交互に対向配置されてなる入
力電極２と出力電極３とが被着形成され両電極２
及び３間に接地電極４が配置されて成る。
この種表面波素子に於いては、その電極２及び
３の各対の櫛歯電極の対向幅Ｗをできるだけ大と
なして入力電極２によつて励起発生した表面波の
うち、直接出力電極３に向う有効表面波のエネル
ギーを大とし、他方向に回折によつて拡がる不要
表面波の反射による不要波の影響をできるだけ小
さくするようにしている。
３の各対の櫛歯電極の対向幅Ｗをできるだけ大と
なして入力電極２によつて励起発生した表面波の
うち、直接出力電極３に向う有効表面波のエネル
ギーを大とし、他方向に回折によつて拡がる不要
表面波の反射による不要波の影響をできるだけ小
さくするようにしている。
ところがこのように櫛歯電極の対向幅Ｗを大と
すると、特に、例えばPZT（チタン酸鉛とジルコ
ン酸鉛との固溶体）糸の圧電セラミツクのように
その誘電率εが1000前後という高誘電率を有する
表面波伝播媒質を用いた表面波素子では、そのイ
ンピーダンスが低く外部回路の負担が大きくな
る。
すると、特に、例えばPZT（チタン酸鉛とジルコ
ン酸鉛との固溶体）糸の圧電セラミツクのように
その誘電率εが1000前後という高誘電率を有する
表面波伝播媒質を用いた表面波素子では、そのイ
ンピーダンスが低く外部回路の負担が大きくな
る。
そこで、このような圧電セラミツクを用いた表
面波素子ではそのインピーダンスを高めるために
は、櫛歯電極の対向幅Ｗはできるだけ小さくする
ことが望まれる。今、圧電セラミツクを用いて
10.7MHzの表面波フイルタについて述べると、
この場合櫛歯電極の対向幅Ｗが1.5mm以上である
場合は本来の伝搬路を伝わる表面波のエネルギー
が大きいため不要表面波による影響は殆んど問題
にならないが、この幅Ｗを1.0mm以下とすると不
要表面波による影響が大となつてくる。これは回
折により広がつた表面波が音響インピーダンスの
不整合部即ち各電極２，３及び４の縁部、特にほ
ぼ表面波伝播方向（本明細書でいう表面波伝播方
向とは本来の表面波を伝播させるべき方向を指称
し、両電極２及び３を結ぶ方向をいう）に沿つて
延在する両外側縁部２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ及び
４ａ，４ｂにおいての反射が特に大きく影響して
いるのである。
面波素子ではそのインピーダンスを高めるために
は、櫛歯電極の対向幅Ｗはできるだけ小さくする
ことが望まれる。今、圧電セラミツクを用いて
10.7MHzの表面波フイルタについて述べると、
この場合櫛歯電極の対向幅Ｗが1.5mm以上である
場合は本来の伝搬路を伝わる表面波のエネルギー
が大きいため不要表面波による影響は殆んど問題
にならないが、この幅Ｗを1.0mm以下とすると不
要表面波による影響が大となつてくる。これは回
折により広がつた表面波が音響インピーダンスの
不整合部即ち各電極２，３及び４の縁部、特にほ
ぼ表面波伝播方向（本明細書でいう表面波伝播方
向とは本来の表面波を伝播させるべき方向を指称
し、両電極２及び３を結ぶ方向をいう）に沿つて
延在する両外側縁部２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ及び
４ａ，４ｂにおいての反射が特に大きく影響して
いるのである。
第２図ないし第８図は夫々表面波速度が2300
m/secの圧電セラミツクによる基体１を用いた
10.7MHzの表面波フイルタの特性（各周波数−
減衰利得）を示すもので、第２図は対向幅Ｗが
2.5mm、距離ｄが550μｍの場合、第３図は、対向
幅Ｗが1.7mm、距離ｄが550μｍの場合、第４図は
対向幅Ｗが1.5mm、距離ｄが550μｍの場合、第５
図は対向幅Ｗが1.0mm、距離ｄが550μｍの場合、
第６図は対向幅Ｗが0.7mm、距離ｄが550μｍの場
合の各特性で、第７図は対向幅Ｗが1.0mm、距離
ｄが600μｍの場合、第８図は対向幅Ｗが0.7mm、
距離ｄが750μｍの場合の各特性で、これら特性
より明らかなように対向幅Ｗが１mm以下では、距
離ｄが550μｍのものでは第５図及び第６図中破
線で囲んで示したように回折、反射の影響ができ
きて、理論通りの特性が得られず、第７図及び第
８図に示す如く対向幅Ｗを１mm以下としてもその
距離ｄを表面波の１波長の３倍及び之に以上に選
定したものにあつては、不要波による影響が取り
除かれていることがわかる。
m/secの圧電セラミツクによる基体１を用いた
10.7MHzの表面波フイルタの特性（各周波数−
減衰利得）を示すもので、第２図は対向幅Ｗが
2.5mm、距離ｄが550μｍの場合、第３図は、対向
幅Ｗが1.7mm、距離ｄが550μｍの場合、第４図は
対向幅Ｗが1.5mm、距離ｄが550μｍの場合、第５
図は対向幅Ｗが1.0mm、距離ｄが550μｍの場合、
第６図は対向幅Ｗが0.7mm、距離ｄが550μｍの場
合の各特性で、第７図は対向幅Ｗが1.0mm、距離
ｄが600μｍの場合、第８図は対向幅Ｗが0.7mm、
距離ｄが750μｍの場合の各特性で、これら特性
より明らかなように対向幅Ｗが１mm以下では、距
離ｄが550μｍのものでは第５図及び第６図中破
線で囲んで示したように回折、反射の影響ができ
きて、理論通りの特性が得られず、第７図及び第
８図に示す如く対向幅Ｗを１mm以下としてもその
距離ｄを表面波の１波長の３倍及び之に以上に選
定したものにあつては、不要波による影響が取り
除かれていることがわかる。
尚、ここに各電極２及び３の各櫛歯電極の内側
の縁部２ｃ，２ｄ及び３ｃ，３ｄは、これが櫛歯
によるジグザグパターンを有しているので、この
縁部においては、不要波が散乱されるので、之に
よる影響は殆んどない。
の縁部２ｃ，２ｄ及び３ｃ，３ｄは、これが櫛歯
によるジグザグパターンを有しているので、この
縁部においては、不要波が散乱されるので、之に
よる影響は殆んどない。
上述したように、表面波素子においてその電極
の実効部分即ち櫛歯電極の対向部分から外側縁ま
での距離ｄを、伝播させるべき表面波の波長の３
倍以上とするときは、不要波の影響を回避するこ
とができるが、本発明はこのような構成とするこ
となく或いは、この構成とし更に不要波の影響を
確実に除去することができるようにした表面波素
子を提供せんとするものである。
の実効部分即ち櫛歯電極の対向部分から外側縁ま
での距離ｄを、伝播させるべき表面波の波長の３
倍以上とするときは、不要波の影響を回避するこ
とができるが、本発明はこのような構成とするこ
となく或いは、この構成とし更に不要波の影響を
確実に除去することができるようにした表面波素
子を提供せんとするものである。
即ち、本発明においては、表面波伝播媒質、即
ち圧電基体上に被着された電極のほぼ表面波伝播
方向に沿つて延在する外縁部に表面波の散乱手段
を設ける。
ち圧電基体上に被着された電極のほぼ表面波伝播
方向に沿つて延在する外縁部に表面波の散乱手段
を設ける。
第９図を参照して本発明の一例を説明するに、
第１図と対向する部分には同一符号を付して重複
説明を省略する。
第１図と対向する部分には同一符号を付して重複
説明を省略する。
本発明においては、各電極２，３，４の各外側
縁２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂを横切る
如く、例えば鋸歯状のジグザグ又は波状のパター
ンを以つて切り溝６をダイヤモンドペン等で各電
極２，３，４の上からこれを切り欠く如く形成し
てここで、不要表面波を散乱させる手段５を形成
する。この場合の周波数特性は第１０図に示す如
く不要波の影響が除去されている。第１１図はこ
の手段５を設けない場合の周波数特性を示したも
のである。
縁２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂを横切る
如く、例えば鋸歯状のジグザグ又は波状のパター
ンを以つて切り溝６をダイヤモンドペン等で各電
極２，３，４の上からこれを切り欠く如く形成し
てここで、不要表面波を散乱させる手段５を形成
する。この場合の周波数特性は第１０図に示す如
く不要波の影響が除去されている。第１１図はこ
の手段５を設けない場合の周波数特性を示したも
のである。
尚、本発明は第１２図に示すように、対向幅Ｗ
の短かい櫛歯電極を複数段シリーズに重ねてイン
ピーダンスを高くし、挿入損を減らすようにした
表面波フイルタに本発明を適用することもでき、
この場合にも回折反射の影響を除去することがで
きる。尚、この場合、各電極の内側縁においても
複数の櫛歯が対向し、その伝播方向に沿う直線部
分が比較的長い部分においては手段５を設けるこ
とが望ましい。
の短かい櫛歯電極を複数段シリーズに重ねてイン
ピーダンスを高くし、挿入損を減らすようにした
表面波フイルタに本発明を適用することもでき、
この場合にも回折反射の影響を除去することがで
きる。尚、この場合、各電極の内側縁においても
複数の櫛歯が対向し、その伝播方向に沿う直線部
分が比較的長い部分においては手段５を設けるこ
とが望ましい。
上述の如く本発明によれば、各電極２，３，４
の少くとも各外側縁２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４
ａ，４ｂに不要波の散乱手段５を設けたことによ
つて、不要波の影響を効果的に回避できるので櫛
歯電極の対向幅Ｗを十分小となして、インピーダ
ンスの増大化を図ることができる。したがつて電
極の櫛歯の対向部分から外側縁までの距離ｄを波
長の３倍に選定する要はなく全体の小型化をはか
ることができる。
の少くとも各外側縁２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４
ａ，４ｂに不要波の散乱手段５を設けたことによ
つて、不要波の影響を効果的に回避できるので櫛
歯電極の対向幅Ｗを十分小となして、インピーダ
ンスの増大化を図ることができる。したがつて電
極の櫛歯の対向部分から外側縁までの距離ｄを波
長の３倍に選定する要はなく全体の小型化をはか
ることができる。
尚、必要に応じて入力及び出力電極の相対向す
る側とは反対側の即ち基体１の表面波伝播方向の
両端部に図示しないが通常の如く、不要波の吸収
材を被着するようになすこともできる。
る側とは反対側の即ち基体１の表面波伝播方向の
両端部に図示しないが通常の如く、不要波の吸収
材を被着するようになすこともできる。
第１図は従来の表面波素子の略線的上面図、第
２図ないし第８図は夫々その説明に供する周波数
−減衰利得特性曲線図、第９図は本発明による表
面波素子の一例の略線的上面図、第１０図及び第
１１図はその説明に供する周波数−減衰利得特性
曲線図、第１２図は本発明素子の他の例の略線的
上面図である。 １は表面波伝播媒質としての圧電基体、２は入
力電極、２ａ及び２ｂはその外側縁、２ｃ及び２
ｄはその内側縁、３は出力電極、３ａ及び３ｂは
その外側縁、３ｃ及び３ｄはその内側縁、４は接
地電極、４ａ及び４ｂはその外側縁、５は不要波
散乱手段である。
２図ないし第８図は夫々その説明に供する周波数
−減衰利得特性曲線図、第９図は本発明による表
面波素子の一例の略線的上面図、第１０図及び第
１１図はその説明に供する周波数−減衰利得特性
曲線図、第１２図は本発明素子の他の例の略線的
上面図である。 １は表面波伝播媒質としての圧電基体、２は入
力電極、２ａ及び２ｂはその外側縁、２ｃ及び２
ｄはその内側縁、３は出力電極、３ａ及び３ｂは
その外側縁、３ｃ及び３ｄはその内側縁、４は接
地電極、４ａ及び４ｂはその外側縁、５は不要波
散乱手段である。
Claims (1)
- １ 表面波伝播媒質上に被着された電極の表面波
伝播方向に沿う電極端面に上記表面波伝播方向に
延び該伝播方向に非平行な溝による不要波の散乱
手段を設けた表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP916584A JPS59139714A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP916584A JPS59139714A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 表面波素子 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14887575A Division JPS5931246B2 (ja) | 1975-12-12 | 1975-12-12 | ヒヨウメンハソシ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59139714A JPS59139714A (ja) | 1984-08-10 |
| JPS6126247B2 true JPS6126247B2 (ja) | 1986-06-19 |
Family
ID=11712998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP916584A Granted JPS59139714A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59139714A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2068531A1 (en) * | 1989-11-14 | 1991-05-15 | Juergen Machui | Surface-wave reflector-filter |
| US9077312B1 (en) * | 2014-07-25 | 2015-07-07 | Resonant Inc. | High rejection surface acoustic wave filter |
-
1984
- 1984-01-20 JP JP916584A patent/JPS59139714A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59139714A (ja) | 1984-08-10 |
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