JPS6126246B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6126246B2 JPS6126246B2 JP58125759A JP12575983A JPS6126246B2 JP S6126246 B2 JPS6126246 B2 JP S6126246B2 JP 58125759 A JP58125759 A JP 58125759A JP 12575983 A JP12575983 A JP 12575983A JP S6126246 B2 JPS6126246 B2 JP S6126246B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface wave
- electrode
- comb
- distance
- waves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面波を利用した表面波フイルタの如
き表面波素子に係わる。
き表面波素子に係わる。
この種表面波素子は、例えば第１図に示す如
く、表面波伝播媒質、即ち圧電体基体１上に、
夫々対の櫛歯電極が交互に対向配置されてなる入
力電極２と出力電極３とが被着形成され両電極２
及び３間に接地電極４が配置されて成る。
く、表面波伝播媒質、即ち圧電体基体１上に、
夫々対の櫛歯電極が交互に対向配置されてなる入
力電極２と出力電極３とが被着形成され両電極２
及び３間に接地電極４が配置されて成る。
この種表面波素子に於いては、その電極２及び
３の各対の櫛歯電極の対向幅Ｗをできるだけ大と
なして入力電極２によつて励起発生した表面波の
うち、直接出力電極３に向う有効表面波のエネル
ギーを大とし、他方向に回折によつて広がる不要
表面波の反射による不要波の影響をできるだけ小
さくするようにしている。
３の各対の櫛歯電極の対向幅Ｗをできるだけ大と
なして入力電極２によつて励起発生した表面波の
うち、直接出力電極３に向う有効表面波のエネル
ギーを大とし、他方向に回折によつて広がる不要
表面波の反射による不要波の影響をできるだけ小
さくするようにしている。
ところがこのように櫛歯電極の対向幅Ｗを大と
すると、特に、例えばPZT（チタン酸鉛とジルコ
ン酸鉛との固溶体）系の圧電セラミツクのように
その誘電率εが1000前後という高誘電率を有する
表面波伝播媒質を用いた表面波素子では、そのイ
ンピーダンスが低く外部回路の負担が大きくな
る。
すると、特に、例えばPZT（チタン酸鉛とジルコ
ン酸鉛との固溶体）系の圧電セラミツクのように
その誘電率εが1000前後という高誘電率を有する
表面波伝播媒質を用いた表面波素子では、そのイ
ンピーダンスが低く外部回路の負担が大きくな
る。
そこで、このような圧電セラミツクを用いた表
面波素子ではそのインピーダンスを高めるために
は、櫛歯電極の対向幅Ｗはできるだけ小さくする
ことが望まれる。今、圧電セラミツクを用いて
10.7MHzの表面波フイルタについて述べると、
この場合櫛歯電極の対向幅Ｗが1.5mm以上である
場合は本来の伝搬路を伝わる表面波のエネルギー
が大きいため不要表面波による影響は殆んど問題
にならないが、この幅を1.0mm以下とすると不要
表面波による影響が大となつてくる。これは回折
により広がつた表面波が音響インピーダンスの不
整合部即ち各電極２，３及び４の縁部、特にほぼ
表面波伝播方向（本明細書でいう表面波伝播方向
とは本来の表面波を伝播させるべき方向を指称
し、両電極２及び３を結ぶ方向をいう）に沿つて
延在する両外側縁部２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ及び
４ａ，４ａにおいての反射が特に大きく影響して
いるのである。
面波素子ではそのインピーダンスを高めるために
は、櫛歯電極の対向幅Ｗはできるだけ小さくする
ことが望まれる。今、圧電セラミツクを用いて
10.7MHzの表面波フイルタについて述べると、
この場合櫛歯電極の対向幅Ｗが1.5mm以上である
場合は本来の伝搬路を伝わる表面波のエネルギー
が大きいため不要表面波による影響は殆んど問題
にならないが、この幅を1.0mm以下とすると不要
表面波による影響が大となつてくる。これは回折
により広がつた表面波が音響インピーダンスの不
整合部即ち各電極２，３及び４の縁部、特にほぼ
表面波伝播方向（本明細書でいう表面波伝播方向
とは本来の表面波を伝播させるべき方向を指称
し、両電極２及び３を結ぶ方向をいう）に沿つて
延在する両外側縁部２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ及び
４ａ，４ａにおいての反射が特に大きく影響して
いるのである。
本発明においては、上述したように、表面波伝
播媒質上に、表面波の伝播方向に所定の間隔をお
いて配され表面波の伝播方向に対して直角方向に
沿つて延び所定の長さに渡つて互いに対向するよ
うに交互に配された対の櫛歯電極を有して成る表
面波素子において、各電極の各櫛歯部の先端と、
互いに他の電極の各外側縁との距離ｄを、表面波
の波長の３倍以上に選定するものである。
播媒質上に、表面波の伝播方向に所定の間隔をお
いて配され表面波の伝播方向に対して直角方向に
沿つて延び所定の長さに渡つて互いに対向するよ
うに交互に配された対の櫛歯電極を有して成る表
面波素子において、各電極の各櫛歯部の先端と、
互いに他の電極の各外側縁との距離ｄを、表面波
の波長の３倍以上に選定するものである。
第２図ないし第８図は夫々表面波速度が2300
m/secの圧電セラミツクによる基体１を用いた
10.7MHz（波長215μｍ）の表面波フイルタの特
性（各周波数−減衰利得）を示すもので、第２図
は対向幅Ｗが2.5mm、距離ｄが550μｍの場合、第
３図は、対向幅Ｗが1.7mm、距離ｄが550μｍの場
合、第４図は対向幅Ｗが1.5mm、距離ｄが550μｍ
の場合、第５図は対向幅Ｗが1.0mm、距離ｄが550
μｍの場合、第６図は対向幅Ｗが0.7mm、距離ｄ
が550μｍの場合の各特性で、第７図は対向幅Ｗ
が1.0mm、距離ｄが600μｍ（表面波波長の約2.8
倍）の場合、第８図は対向幅Ｗが0.7mm、距離ｄ
が750μｍ（表面波波長の約3.5倍）の場合の各特
性で、これら特性より明らかなように対向幅Ｗが
１mm以下では、距離ｄが550μｍのものでは第５
図及び第６図中破線で囲んで示したように回折・
反射の影響がでてきて、理論通りの特性が得られ
ず、第７図乃び第８図に示す如く対向幅Ｗを１mm
以下としてもその距離ｄを表面波の１波長の2.8
倍以上とするとき、更に確実性を考えて３倍以上
に選定したものにあつては、不要波による影響が
取り除かれるものであることがわかる。
m/secの圧電セラミツクによる基体１を用いた
10.7MHz（波長215μｍ）の表面波フイルタの特
性（各周波数−減衰利得）を示すもので、第２図
は対向幅Ｗが2.5mm、距離ｄが550μｍの場合、第
３図は、対向幅Ｗが1.7mm、距離ｄが550μｍの場
合、第４図は対向幅Ｗが1.5mm、距離ｄが550μｍ
の場合、第５図は対向幅Ｗが1.0mm、距離ｄが550
μｍの場合、第６図は対向幅Ｗが0.7mm、距離ｄ
が550μｍの場合の各特性で、第７図は対向幅Ｗ
が1.0mm、距離ｄが600μｍ（表面波波長の約2.8
倍）の場合、第８図は対向幅Ｗが0.7mm、距離ｄ
が750μｍ（表面波波長の約3.5倍）の場合の各特
性で、これら特性より明らかなように対向幅Ｗが
１mm以下では、距離ｄが550μｍのものでは第５
図及び第６図中破線で囲んで示したように回折・
反射の影響がでてきて、理論通りの特性が得られ
ず、第７図乃び第８図に示す如く対向幅Ｗを１mm
以下としてもその距離ｄを表面波の１波長の2.8
倍以上とするとき、更に確実性を考えて３倍以上
に選定したものにあつては、不要波による影響が
取り除かれるものであることがわかる。
尚、ここに各電極２及び３の各櫛歯電極の内側
の縁部２ｃ，２ｄ及び３ｃ，３ｄは、これが櫛歯
によるジグザグパターンを有しているので、この
縁部においては、不要波が散乱されるので、之に
よる影響は殆んどない。
の縁部２ｃ，２ｄ及び３ｃ，３ｄは、これが櫛歯
によるジグザグパターンを有しているので、この
縁部においては、不要波が散乱されるので、之に
よる影響は殆んどない。
上述したように、本発明においては、表面波素
子においてその電極の実効部分即ち櫛歯電極の対
向部分から外側縁までの距離ｄを、伝播させるべ
き表面波の波長の３倍以上とするもので、このと
き、不要波の影響を回避することができるが、必
要に応じて更に不要波の影響を確実に除去するこ
とができるように表面波伝播媒質、即ち圧電基体
上に被着された電極のほぼ表面波伝播方向に沿つ
て延在する外縁部に表面波の吸収若しくは散乱手
段を設けることもできる。
子においてその電極の実効部分即ち櫛歯電極の対
向部分から外側縁までの距離ｄを、伝播させるべ
き表面波の波長の３倍以上とするもので、このと
き、不要波の影響を回避することができるが、必
要に応じて更に不要波の影響を確実に除去するこ
とができるように表面波伝播媒質、即ち圧電基体
上に被着された電極のほぼ表面波伝播方向に沿つ
て延在する外縁部に表面波の吸収若しくは散乱手
段を設けることもできる。
第１図は本発明の説明に供する表面波素子の略
線的上面図、第２図ないし第８図は夫々その説明
に供する周波数−減衰利得曲線である。 １は表面波伝播媒質としての圧電基体、２は入
力電極、２ａ及び２ｂはその外側縁、２ｃ及び２
ｄはその内側縁、３は出力電極、３ａ及び３ｂは
その外側縁、３ｃ及び３ｄはその内側縁、４は接
地電極、４ａ及び４ｂはその外側縁である。
線的上面図、第２図ないし第８図は夫々その説明
に供する周波数−減衰利得曲線である。 １は表面波伝播媒質としての圧電基体、２は入
力電極、２ａ及び２ｂはその外側縁、２ｃ及び２
ｄはその内側縁、３は出力電極、３ａ及び３ｂは
その外側縁、３ｃ及び３ｄはその内側縁、４は接
地電極、４ａ及び４ｂはその外側縁である。
Claims (1)
- １ 表面波伝播媒質上に、表面波の伝播方向に所
定の間隔をおいて配され、上記表面波の伝播方向
に対して直角方向に沿つて延び所定の長さに渡つ
て互いに対向するように交互に配された対の櫛歯
電極を有して成る表面波素子において、各電極の
各櫛歯部の先端と、互いに他の電極の各外側縁と
の距離ｄを、上記表面波の波長の３倍以上に選定
した表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12575983A JPS5925411A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12575983A JPS5925411A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 表面波素子 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14887575A Division JPS5931246B2 (ja) | 1975-12-12 | 1975-12-12 | ヒヨウメンハソシ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5925411A JPS5925411A (ja) | 1984-02-09 |
| JPS6126246B2 true JPS6126246B2 (ja) | 1986-06-19 |
Family
ID=14918111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12575983A Granted JPS5925411A (ja) | 1983-07-11 | 1983-07-11 | 表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5925411A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62127648U (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-13 | ||
| US11255257B2 (en) | 2017-08-28 | 2022-02-22 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Turbocharger |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5534609B2 (ja) * | 1974-06-12 | 1980-09-08 |
-
1983
- 1983-07-11 JP JP12575983A patent/JPS5925411A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62127648U (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-13 | ||
| US11255257B2 (en) | 2017-08-28 | 2022-02-22 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Turbocharger |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5925411A (ja) | 1984-02-09 |
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