JPS6126833A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS6126833A JPS6126833A JP14786184A JP14786184A JPS6126833A JP S6126833 A JPS6126833 A JP S6126833A JP 14786184 A JP14786184 A JP 14786184A JP 14786184 A JP14786184 A JP 14786184A JP S6126833 A JPS6126833 A JP S6126833A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure
- grooved
- output
- displacement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/007—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in inductance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は圧力センサの圧力・出力特性の直線性の向上に
関するものである。
関するものである。
従来例の構成とその問題点
第１図に従来例の構成、第２図にその特性を示す。第１
図により構成を説明する。溝付ダイアフラム１の上面側
に上部圧力導入口２、中央凸起部３を有する上部密閉ケ
ーシング４を、下面側に下部圧力導入口３を有する下部
密閉ケーシング５を設けた構成となっている。６は磁気
コアで連結ロッド７によって前記溝付ダイアフラム１と
連結されている。８は前記磁気コア６と同心的に設けら
れた１次コイ／Ｉ／９と２個の２次コイル１０．１０に
よって構成された差動コイルであり変位検出部を構成し
ている。１１．１２はそれぞれ上部ダイアフラム支持ば
ね、下部ダイアフラム支持ばねである。第２図とともに
動作を説明する。第２図は横軸に作用圧力、縦軸に圧力
センサ出力をとったものである。具体的に説明すると、
上部圧力導入口２に作用する圧力ＰＡを基準に下部圧力
導入口３に作用する圧力ＰＧを横軸にとり、縦軸に差動
コイル８の出力Ｖをとったものである。第２図の特性図
を詳細にみるとＰＧ−ＰＡ−Ｖ特性は直線関係ではなく
、下に凸の曲線となっている。これは作用圧力によって
溝付ダイアフラム１が変位することによってその有効受
圧面積（有効径）が変化するだめである。ＰＧ−ＰＡ＝
Ｏのとき溝付ダイアフラム１は第１図実線で示すように
なっておりその有効径はＤｌであるがＰＧが大きくなっ
てＰＧ−ＦＡ＞Ｏ（第２図右半分）となると溝付ダイア
フラム１は上部ダイアフラム支持ばね１１を圧縮しなが
ら上方に移動して破線の様な形状となる。
図により構成を説明する。溝付ダイアフラム１の上面側
に上部圧力導入口２、中央凸起部３を有する上部密閉ケ
ーシング４を、下面側に下部圧力導入口３を有する下部
密閉ケーシング５を設けた構成となっている。６は磁気
コアで連結ロッド７によって前記溝付ダイアフラム１と
連結されている。８は前記磁気コア６と同心的に設けら
れた１次コイ／Ｉ／９と２個の２次コイル１０．１０に
よって構成された差動コイルであり変位検出部を構成し
ている。１１．１２はそれぞれ上部ダイアフラム支持ば
ね、下部ダイアフラム支持ばねである。第２図とともに
動作を説明する。第２図は横軸に作用圧力、縦軸に圧力
センサ出力をとったものである。具体的に説明すると、
上部圧力導入口２に作用する圧力ＰＡを基準に下部圧力
導入口３に作用する圧力ＰＧを横軸にとり、縦軸に差動
コイル８の出力Ｖをとったものである。第２図の特性図
を詳細にみるとＰＧ−ＰＡ−Ｖ特性は直線関係ではなく
、下に凸の曲線となっている。これは作用圧力によって
溝付ダイアフラム１が変位することによってその有効受
圧面積（有効径）が変化するだめである。ＰＧ−ＰＡ＝
Ｏのとき溝付ダイアフラム１は第１図実線で示すように
なっておりその有効径はＤｌであるがＰＧが大きくなっ
てＰＧ−ＦＡ＞Ｏ（第２図右半分）となると溝付ダイア
フラム１は上部ダイアフラム支持ばね１１を圧縮しなが
ら上方に移動して破線の様な形状となる。
このとき有効径はＤ２ （Ｄ２＞ＤＩ ）となり有効受
圧面積が大きくなる。従って圧力（ＰＧ−ＰＡ）増加に
伴う出力（Ｖ）の増加割合が大きくなり第２図右半分に
示す特性となる。次にＰＡがＰＧに比較して大きくなる
と溝付ダイアフラムは下部ダイアフラム支持ばね１２を
圧縮しながら下方に移動し、（図示はしていないが）有
効径が小さくなって有効受圧面積が小さくなる。従って
圧力（ＰＧ＝ＰＡ ）減少に伴う出力（Ｖ）の減少割合
が小さくなり第２図左半分に示す特性となる。すなわち
満月ダイアフラムを使用する場合はその変位にともなっ
て有効受圧面積が変化し、圧力変化に対する出力は直線
関係とならない。
圧面積が大きくなる。従って圧力（ＰＧ−ＰＡ）増加に
伴う出力（Ｖ）の増加割合が大きくなり第２図右半分に
示す特性となる。次にＰＡがＰＧに比較して大きくなる
と溝付ダイアフラムは下部ダイアフラム支持ばね１２を
圧縮しながら下方に移動し、（図示はしていないが）有
効径が小さくなって有効受圧面積が小さくなる。従って
圧力（ＰＧ＝ＰＡ ）減少に伴う出力（Ｖ）の減少割合
が小さくなり第２図左半分に示す特性となる。すなわち
満月ダイアフラムを使用する場合はその変位にともなっ
て有効受圧面積が変化し、圧力変化に対する出力は直線
関係とならない。
発明の目的
本発明は上述の溝付ダイアフラムの変位によって発生す
る有効受圧面積の変化に起因する非直線を′改善するも
のである。
る有効受圧面積の変化に起因する非直線を′改善するも
のである。
発明の構成
発明の骨子は溝付ダイアフラムの溝の凸側に変位するに
従って急激に増加する出力を有する第２の変位検出部を
備え、それによって補正を行うものである。すなわち溝
付ダイアプラムの両側にそれぞれ圧力導入口を備えた密
閉状のケーシングを設け、前記の溝付ダイアフラムの作
用圧による変位を検出する２組の変位検出部を備え、そ
の一方は溝の凸方向に変位するに従って出力が急激に増
大するものでありそれによってダイアフラムの有効受圧
面積の減少にともなう変位の減少を補うものである。
従って急激に増加する出力を有する第２の変位検出部を
備え、それによって補正を行うものである。すなわち溝
付ダイアプラムの両側にそれぞれ圧力導入口を備えた密
閉状のケーシングを設け、前記の溝付ダイアフラムの作
用圧による変位を検出する２組の変位検出部を備え、そ
の一方は溝の凸方向に変位するに従って出力が急激に増
大するものでありそれによってダイアフラムの有効受圧
面積の減少にともなう変位の減少を補うものである。
実施例の説明
第３図、第４図によって実施例の説明を行う。
第３図は実施例の構成図であり第４図は横軸に作用圧力
ＰＧ−ＦＡ、縦軸に出力Ｖをとった実施例の圧力センサ
特性である。第１図に示した従来例と同一構造・同一動
作作用はその説明を省略する。
ＰＧ−ＦＡ、縦軸に出力Ｖをとった実施例の圧力センサ
特性である。第１図に示した従来例と同一構造・同一動
作作用はその説明を省略する。
１３は光反射板であシ溝付ダイアフラム１の溝の凸側で
ほぼ中心部に設けられておυ対面するように下部密閉ケ
ーシング５に設けられた反射形フォト七イサ１４からの
投射光を反射するように構成されている。第４図によっ
て動作・作用を説明する。ｖｌは溝付ダイアフラム１の
作用圧ＰＧ−ＰＡによる変位に基づく差動コイル８の出
力であシ従来例の第２図の特性と同一である。ｖ２は反
射形フォトセンサ１４の出力であり、ある一定の出力以
下ではＰＧ −ＰＡが負の方向に大きくなる、すなわち
第３図において溝付ダイアフラム１が下方に移動するに
従って光反射板１３が近接し、はぼ両者の距離ｒの２剰
に逆比例したものとなり図示の様になる。■はこのｖｌ
とｖ２を合成したものであり、換言すればｖ２によって
ｖｌを補正したものであり第４図にて破線で示したもの
である。
ほぼ中心部に設けられておυ対面するように下部密閉ケ
ーシング５に設けられた反射形フォト七イサ１４からの
投射光を反射するように構成されている。第４図によっ
て動作・作用を説明する。ｖｌは溝付ダイアフラム１の
作用圧ＰＧ−ＰＡによる変位に基づく差動コイル８の出
力であシ従来例の第２図の特性と同一である。ｖ２は反
射形フォトセンサ１４の出力であり、ある一定の出力以
下ではＰＧ −ＰＡが負の方向に大きくなる、すなわち
第３図において溝付ダイアフラム１が下方に移動するに
従って光反射板１３が近接し、はぼ両者の距離ｒの２剰
に逆比例したものとなり図示の様になる。■はこのｖｌ
とｖ２を合成したものであり、換言すればｖ２によって
ｖｌを補正したものであり第４図にて破線で示したもの
である。
ｖ２の特性（曲り具合）を選択することによりｖｌとｖ
２を合成したものをほぼ直線状にすることができる。
２を合成したものをほぼ直線状にすることができる。
発明の効果
本発明の骨子は、溝付ダイアフラムの溝の凸方向に変位
するに従って出力が急激に増大する第２の変位検出部で
ダイアプラムの有効受圧面積の減少を補い作用圧力とセ
ンサ出力の直線性を改善するものである。
するに従って出力が急激に増大する第２の変位検出部で
ダイアプラムの有効受圧面積の減少を補い作用圧力とセ
ンサ出力の直線性を改善するものである。
第１図は従来例の圧力センサの構成図、第２図は第１図
の圧力センサの特性図、第３図は本発明の一実施例の圧
力センサの構成図、第４図は第３図の圧力センサの特性
図である。 １・・・・・溝付ダイアフラム、２・・・・・・上部圧
力導入口、２人・・・・・・下部圧力導入口、４・・・
・・上部密閉ケーシング、５・・・・・・下部密閉ケー
シング、８・・・・・・差動コイル、１４・・・・・・
フォトセンサ （８，１４が二組の変位検出部） 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ＭＳ
１図 第２図 １５３図 第４図
の圧力センサの特性図、第３図は本発明の一実施例の圧
力センサの構成図、第４図は第３図の圧力センサの特性
図である。 １・・・・・溝付ダイアフラム、２・・・・・・上部圧
力導入口、２人・・・・・・下部圧力導入口、４・・・
・・上部密閉ケーシング、５・・・・・・下部密閉ケー
シング、８・・・・・・差動コイル、１４・・・・・・
フォトセンサ （８，１４が二組の変位検出部） 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ＭＳ
１図 第２図 １５３図 第４図
Claims (1)
- 溝付ダイアフラムの両面側にそれぞれ圧力導入口を有す
る密閉状ケーシングを配するとともに前記溝付ダイアフ
ラムの変位を検出する２組の変位検出部を備え、その少
なくとも１つはその溝の凸方向に変位するに従って出力
が急激に増大する特性を有しかつ前記２組の変位検出部
の出力信号の合成信号をセンサ出力とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14786184A JPS6126833A (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14786184A JPS6126833A (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6126833A true JPS6126833A (ja) | 1986-02-06 |
Family
ID=15439904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14786184A Pending JPS6126833A (ja) | 1984-07-17 | 1984-07-17 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6126833A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6337727U (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-11 |
-
1984
- 1984-07-17 JP JP14786184A patent/JPS6126833A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6337727U (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-11 |
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