JPS6128942Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6128942Y2 JPS6128942Y2 JP1003277U JP1003277U JPS6128942Y2 JP S6128942 Y2 JPS6128942 Y2 JP S6128942Y2 JP 1003277 U JP1003277 U JP 1003277U JP 1003277 U JP1003277 U JP 1003277U JP S6128942 Y2 JPS6128942 Y2 JP S6128942Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- vacuum chamber
- pipe
- continuous
- partition wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 15
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 10
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 5
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Compressor (AREA)
- Self-Closing Valves And Venting Or Aerating Valves (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は治具に収納した被処理物を管路に送入
すると同時に該管路を内挿してなる連続管内にお
いて上記被処理物収容容器内を真空にするか、ま
たは真空にした後各種不活性ガスを充填する連続
型真空排気装置の連続真空槽に関する。従来、各
種産業分野において酸化防止処理包装等のため容
器内に酸化防止剤等を収容するとともに該容器内
を真空にするか、または不活性ガスと置換する方
法が採られており、この真空処理装置として順次
管路内を一方向に搬送する被処理物連続搬送工程
において真空処理する連続型真空排気装置が使用
されている。しかるにこの種の連続真空排気装置
の連続真空槽は第１図に示すごとく被処理物容器
を収納する治具を搬送する管路ａを挿通してなる
各真空槽ｂを順次封緘部材を介して気密的に連結
して連続管状にするともに各真空槽ｂ端部と上記
管路ａに固設した隔壁ｃもまた封緘部材を介して
気密的に構成し、各真空槽ｂ周側に設けたフラン
ジｄに真空ボンプの吸引ポートを連結して使用す
るものであるが、多数連結される上記真空槽ｂが
単位部材となりそれぞれ隔壁ｃと隣接する真空槽
ｂ間に封緘部材を介装しながら連結される管体で
あるため、部材の個数が多く複雑な構成であると
ともに、それにともなつて組立工数も多く接続個
所が多いため気密の保持が困難であり、調整工
数、保守工数等が増大するものであり、場合によ
つては真空ポンプの容量を大きくして封緘効果を
補償する必要も生ずる等の欠点を有するものであ
つた。
すると同時に該管路を内挿してなる連続管内にお
いて上記被処理物収容容器内を真空にするか、ま
たは真空にした後各種不活性ガスを充填する連続
型真空排気装置の連続真空槽に関する。従来、各
種産業分野において酸化防止処理包装等のため容
器内に酸化防止剤等を収容するとともに該容器内
を真空にするか、または不活性ガスと置換する方
法が採られており、この真空処理装置として順次
管路内を一方向に搬送する被処理物連続搬送工程
において真空処理する連続型真空排気装置が使用
されている。しかるにこの種の連続真空排気装置
の連続真空槽は第１図に示すごとく被処理物容器
を収納する治具を搬送する管路ａを挿通してなる
各真空槽ｂを順次封緘部材を介して気密的に連結
して連続管状にするともに各真空槽ｂ端部と上記
管路ａに固設した隔壁ｃもまた封緘部材を介して
気密的に構成し、各真空槽ｂ周側に設けたフラン
ジｄに真空ボンプの吸引ポートを連結して使用す
るものであるが、多数連結される上記真空槽ｂが
単位部材となりそれぞれ隔壁ｃと隣接する真空槽
ｂ間に封緘部材を介装しながら連結される管体で
あるため、部材の個数が多く複雑な構成であると
ともに、それにともなつて組立工数も多く接続個
所が多いため気密の保持が困難であり、調整工
数、保守工数等が増大するものであり、場合によ
つては真空ポンプの容量を大きくして封緘効果を
補償する必要も生ずる等の欠点を有するものであ
つた。
本考案は上記欠点を一掃する目的でなされたも
ので連続真空槽の構成を簡単にして封緘部材介装
部を減少せしめ、所望の真空度を小排気容量の真
空ポンプにて達成し得る小型の連続型真空排気装
置の連続真空槽を提供せんとするものである。
ので連続真空槽の構成を簡単にして封緘部材介装
部を減少せしめ、所望の真空度を小排気容量の真
空ポンプにて達成し得る小型の連続型真空排気装
置の連続真空槽を提供せんとするものである。
以下、本考案連続真空槽の一実施例について図
面にしたがつて説明すると第２図は連続真空槽の
一部切欠正断面図である。本考案連続真空槽１は
内径の均一なる長管２の周壁に真空ポンプ（図示
せず）に接続する開口部３を複数個配設し、フラ
ンジ４を設けて接続端部となし、該長管２内に上
記開口部３の穿孔間隔に円盤状の隔壁５を固設し
た管路６を挿入するとともに該各隔壁５外周に設
けた凹条７に嵌合してなるＯリング等の封緘部材
８によつて気密的に長管２内壁９に担持されてな
る。上記管路６は被加工物収納治具１０をほぼ気
密的に移送可能に構成した管状部材からなり、上
記隔壁５，５間には通気窓１１が開口される。
面にしたがつて説明すると第２図は連続真空槽の
一部切欠正断面図である。本考案連続真空槽１は
内径の均一なる長管２の周壁に真空ポンプ（図示
せず）に接続する開口部３を複数個配設し、フラ
ンジ４を設けて接続端部となし、該長管２内に上
記開口部３の穿孔間隔に円盤状の隔壁５を固設し
た管路６を挿入するとともに該各隔壁５外周に設
けた凹条７に嵌合してなるＯリング等の封緘部材
８によつて気密的に長管２内壁９に担持されてな
る。上記管路６は被加工物収納治具１０をほぼ気
密的に移送可能に構成した管状部材からなり、上
記隔壁５，５間には通気窓１１が開口される。
上記構成になる連続真空槽１は各フランジ４に
真空ポンプを連結して連続型真空排気装置を構成
するもので、被処理物を収納した治具１０を管路
６の一方より順次送入することによつて連続的に
常圧より徐々に所望の真空度に達成し得る。すな
わち、今、多数の治具１０を連続的に図中右側か
ら左方向へ向けて送入する場合を考えると、長管
２内には、管路６に沿つて右から左へ第１、第２
……第ｎ番目の真空槽１ａが形成される。このう
ち最も右寄りの第１の真空槽１ａは、管路６内に
各治具１０を送入する該管路６の開口端に最も近
く、大気が該開口端から該槽１ａに対して開口す
る通気窓１１を介して最も侵入し易い場所とな
る。治具１０の送入を開始すると同時に各真空ボ
ンプを稼動させると、各真空槽１ａ内は徐々に真
空引きされていくが、前述のとうり、開口端を介
して大気に通じる管路６に通気窓１１が形成され
ているため、大気は第４図に示すように管路６と
治具１０の間に形成されるわずから隙間を通つて
真空槽１ａ内へ入り込む。当該連続真空槽１はこ
の隙間を通じての大気の侵入をあらかじめ想定
し、各真空ポンプの稼動によつて、互いに隣接す
る真空槽１ａ（第１と第２の真空槽、第２と第３
の真空槽……第（ｎ−１）と第ｎ番目の真空槽）
間の前記隙間を通つて侵入する大気の量を徐々に
減らし、各真空槽１ａの真空度を第１から第ｎ番
目の真空槽１ａへかけて段階的に高め、最終的に
第ｎ番目近くの真空槽１ａで所望の真空度を得
て、被処理物の酸化防止処理を行なうものであ
る。前記隔壁５外周の凹条７に嵌合したＯリング
等の封緘部材８は該隔壁５と管路６内周の封緘を
確実にし、前記真空引きの効率を高める働きをな
す。
真空ポンプを連結して連続型真空排気装置を構成
するもので、被処理物を収納した治具１０を管路
６の一方より順次送入することによつて連続的に
常圧より徐々に所望の真空度に達成し得る。すな
わち、今、多数の治具１０を連続的に図中右側か
ら左方向へ向けて送入する場合を考えると、長管
２内には、管路６に沿つて右から左へ第１、第２
……第ｎ番目の真空槽１ａが形成される。このう
ち最も右寄りの第１の真空槽１ａは、管路６内に
各治具１０を送入する該管路６の開口端に最も近
く、大気が該開口端から該槽１ａに対して開口す
る通気窓１１を介して最も侵入し易い場所とな
る。治具１０の送入を開始すると同時に各真空ボ
ンプを稼動させると、各真空槽１ａ内は徐々に真
空引きされていくが、前述のとうり、開口端を介
して大気に通じる管路６に通気窓１１が形成され
ているため、大気は第４図に示すように管路６と
治具１０の間に形成されるわずから隙間を通つて
真空槽１ａ内へ入り込む。当該連続真空槽１はこ
の隙間を通じての大気の侵入をあらかじめ想定
し、各真空ポンプの稼動によつて、互いに隣接す
る真空槽１ａ（第１と第２の真空槽、第２と第３
の真空槽……第（ｎ−１）と第ｎ番目の真空槽）
間の前記隙間を通つて侵入する大気の量を徐々に
減らし、各真空槽１ａの真空度を第１から第ｎ番
目の真空槽１ａへかけて段階的に高め、最終的に
第ｎ番目近くの真空槽１ａで所望の真空度を得
て、被処理物の酸化防止処理を行なうものであ
る。前記隔壁５外周の凹条７に嵌合したＯリング
等の封緘部材８は該隔壁５と管路６内周の封緘を
確実にし、前記真空引きの効率を高める働きをな
す。
以上述べたように本考案連続型真空排気装置の
連続真空槽は各真空槽外殻を構成する長管を一側
の管状部材で構成するとともに隔壁を固設した管
路を該長管内に内挿し、隔壁にて各真空槽を区画
し、かつ遮断するように構成したためその構成が
極めて簡単になるとともに封緘部を少なくするこ
とができた。したがつて本考案連続真空槽によれ
ば組立工数、調整、保守工数が大巾に削減され、
さらに気密漏洩部分も少なく真空槽の信頼性が高
いため小排気容量の真空ポンプが使用でき、廉価
かつ高性能な連続型真空排気装置を提供できるな
ど本考案実施後の実用的効果は極めて大きい。
連続真空槽は各真空槽外殻を構成する長管を一側
の管状部材で構成するとともに隔壁を固設した管
路を該長管内に内挿し、隔壁にて各真空槽を区画
し、かつ遮断するように構成したためその構成が
極めて簡単になるとともに封緘部を少なくするこ
とができた。したがつて本考案連続真空槽によれ
ば組立工数、調整、保守工数が大巾に削減され、
さらに気密漏洩部分も少なく真空槽の信頼性が高
いため小排気容量の真空ポンプが使用でき、廉価
かつ高性能な連続型真空排気装置を提供できるな
ど本考案実施後の実用的効果は極めて大きい。
図面は従来の連続型真空排気装置の連続真空槽
と本考案連続真空槽の一実施例を示すもので、第
１図は従来の連続真空槽の正断面図、第２図は本
考案連続真空槽の正断面図、第３図は第２図にお
けるＡ−Ａ線断面図、第４図は同Ｂ−Ｂ線断面図
である。 １……連続真空槽、１ａ……真空槽、２……長
管、３……開口部、４……フランジ、５……隔
壁、６……管路、７……凹条、８……封緘部材、
１０……被加工物収納治具、１１……通気窓、ａ
……管路、ｂ……真空槽、ｃ……隔壁。
と本考案連続真空槽の一実施例を示すもので、第
１図は従来の連続真空槽の正断面図、第２図は本
考案連続真空槽の正断面図、第３図は第２図にお
けるＡ−Ａ線断面図、第４図は同Ｂ−Ｂ線断面図
である。 １……連続真空槽、１ａ……真空槽、２……長
管、３……開口部、４……フランジ、５……隔
壁、６……管路、７……凹条、８……封緘部材、
１０……被加工物収納治具、１１……通気窓、ａ
……管路、ｂ……真空槽、ｃ……隔壁。
Claims (1)
- 治具に収納した被処理物を常圧より所望の真空
度まで連続的に排気処理する連続型真空排気装置
において、均一なる内径を有する長管の周側に排
気用開口部を複数個配設するとともに該長管に上
記治具を搬送し得るようになる管路を挿入し、か
つ該管路外周に設けた複数個の隔壁をそれぞれ各
開口部中間位置に立設せしめ、同時に各隔壁外周
に嵌合したＯリング等の封緘部材により該隔壁と
長管内壁を封緘して所要数の真空槽を形成し、さ
らに前記管路の各隔壁間に通気窓を開設してなる
ことを特徴とする連続型真空排気装置の連続真空
槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1003277U JPS6128942Y2 (ja) | 1977-02-01 | 1977-02-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1003277U JPS6128942Y2 (ja) | 1977-02-01 | 1977-02-01 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS53105908U JPS53105908U (ja) | 1978-08-25 |
| JPS6128942Y2 true JPS6128942Y2 (ja) | 1986-08-27 |
Family
ID=28821878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1003277U Expired JPS6128942Y2 (ja) | 1977-02-01 | 1977-02-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6128942Y2 (ja) |
-
1977
- 1977-02-01 JP JP1003277U patent/JPS6128942Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS53105908U (ja) | 1978-08-25 |
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