JPS61294807A - 内部電極を有する電子部品の製造方法 - Google Patents
内部電極を有する電子部品の製造方法Info
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- JPS61294807A JPS61294807A JP60135883A JP13588385A JPS61294807A JP S61294807 A JPS61294807 A JP S61294807A JP 60135883 A JP60135883 A JP 60135883A JP 13588385 A JP13588385 A JP 13588385A JP S61294807 A JPS61294807 A JP S61294807A
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Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、積層セラミックコンデンサ、積層セラミック
圧電体、積層チップインダクタ等のように、内部電極を
有している電子部品の製造方法に関する。
圧電体、積層チップインダクタ等のように、内部電極を
有している電子部品の製造方法に関する。
従来１例えば積層セラミックコンデンサーｔ−Ｓ造する
には、一般的に、誘電体の粉末粒子をスラリーにし、こ
れをドクターブレード法などによシ３０〜４０μｍのグ
リーンシートとなし、乾燥後。
には、一般的に、誘電体の粉末粒子をスラリーにし、こ
れをドクターブレード法などによシ３０〜４０μｍのグ
リーンシートとなし、乾燥後。
さらにその上に導電層を約５μｍ厚に塗布し、これらを
複数枚積層し、圧着、焼結する方法、が採られたもので
ある。
複数枚積層し、圧着、焼結する方法、が採られたもので
ある。
しかしながら塗材中の溶剤がグリーンシートの中に浸み
込み、その結果グリーンシートにシワがよることがある
。そのシワの影響は、焼結工程を経てはじめて、フラッ
クスの発生や空隙として表時間が長くなってしまうとい
う欠点もある。
込み、その結果グリーンシートにシワがよることがある
。そのシワの影響は、焼結工程を経てはじめて、フラッ
クスの発生や空隙として表時間が長くなってしまうとい
う欠点もある。
したがって、誘電体粒子を分散させる溶剤やパインダー
と、導電体粒子を分散させるそれとの材質や量を、きめ
細かに選定する必要があり、工程上あるいは塗材の管理
上において面倒である。
と、導電体粒子を分散させるそれとの材質や量を、きめ
細かに選定する必要があり、工程上あるいは塗材の管理
上において面倒である。
それ故に１本発明の目的は、内部電極を有する電子部品
の製造に当シ、誘電体のグリーンシートへの不要な溶剤
の浸み込みを防止することにある。
の製造に当シ、誘電体のグリーンシートへの不要な溶剤
の浸み込みを防止することにある。
本発明によれば、セラミックス粉末のスラリーをグリー
ンシートに成形する第１のシート成形工程と、導電体粒
子のスラリーをシート成形する請人上記第１及び第２の
シート成形工程で得られたシートを交互に積層し、圧着
する圧着工程と、該圧着工程の後に焼結する焼結工種と
を含むことを特徴とする内部電極を有する電子部品の製
造方法が得られる。
ンシートに成形する第１のシート成形工程と、導電体粒
子のスラリーをシート成形する請人上記第１及び第２の
シート成形工程で得られたシートを交互に積層し、圧着
する圧着工程と、該圧着工程の後に焼結する焼結工種と
を含むことを特徴とする内部電極を有する電子部品の製
造方法が得られる。
以下本発明の実施例について詳細に説明する。
セラミックス素材としては（Ｐｂ（Ｎｂｌ／２ 、 Ｆ
ｅｌ／２）０、６７ （Ｗ １／３ 、Ｆｅ ２／３
） ０．３３ ］ ０３を組成とする複合ペロブスカイ
ト系誘電材料を使用した。この誘電材料を混合、予焼、
ボールミル粉砕した後、エチレングリコール・モノエチ
ルエーテルに分ｅｌせ。
ｅｌ／２）０、６７ （Ｗ １／３ 、Ｆｅ ２／３
） ０．３３ ］ ０３を組成とする複合ペロブスカイ
ト系誘電材料を使用した。この誘電材料を混合、予焼、
ボールミル粉砕した後、エチレングリコール・モノエチ
ルエーテルに分ｅｌせ。
ポリビニルブチラール（ＰＶＢ） 、ブチルフタリルグ
リコール酸ブチル（ＢＰＢＧ）を可塑剤として混合した
スラリーを作成し、その後ポリエステルフィルム上にド
クタープレイド法によって４０μｍ厚のセラミックス生
シートを作成した。
リコール酸ブチル（ＢＰＢＧ）を可塑剤として混合した
スラリーを作成し、その後ポリエステルフィルム上にド
クタープレイド法によって４０μｍ厚のセラミックス生
シートを作成した。
又、 Ａｇ粉末、 Ｐｄ粉末を組成比８０：２０になる
様に秤量し、乾式粉砕した後、エチレングリコール・モ
ノエチルエーテルに分散させ、 ＰＶＢ 、 ＢＰＢＧ
を混合したスラリーを作成し、１０μｍフィルターを通
し、１０μｍ厚の電極シートを作成した。但しこの電極
シートはシート端（端から１計−の巾で）が２０μｍ厚
になる様に作られた。
様に秤量し、乾式粉砕した後、エチレングリコール・モ
ノエチルエーテルに分散させ、 ＰＶＢ 、 ＢＰＢＧ
を混合したスラリーを作成し、１０μｍフィルターを通
し、１０μｍ厚の電極シートを作成した。但しこの電極
シートはシート端（端から１計−の巾で）が２０μｍ厚
になる様に作られた。
ッゾを作シ、その電極生チップをセラミックス生シート
上に置いて５０℃で熱圧着しながら順次４０層積層した
。
上に置いて５０℃で熱圧着しながら順次４０層積層した
。
さらにこれを２２ＣＸ ２７ ｍｍに切断し、５いで４
００℃まで脱バインダーＬ、９００℃焼成し。
００℃まで脱バインダーＬ、９００℃焼成し。
得られたチップに外部電極付けし、コンデンサーの評価
を行なった。結果を次表に示す。
を行なった。結果を次表に示す。
なお上述では積層セラミックコンデンサの場合につき説
明したが、他の電子部品１例えば積層セラミック圧電体
又は積層チップインダクタ等においても１本発明は同様
に実施できる。
明したが、他の電子部品１例えば積層セラミック圧電体
又は積層チップインダクタ等においても１本発明は同様
に実施できる。
このように本発明によると、グリーンシートと導電シー
トとを別々に成膜するので、導電体粒子のための溶剤が
誘電体のグリーンシートへ浸み込むというようなととは
防止される。したがってクラックや空隙を皆無に出来、
さらには、グリーンも極めて簡単になる。
トとを別々に成膜するので、導電体粒子のための溶剤が
誘電体のグリーンシートへ浸み込むというようなととは
防止される。したがってクラックや空隙を皆無に出来、
さらには、グリーンも極めて簡単になる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）セラミックス粉末のスラリーをグリーンシートに成
形する第１のシート成形工程と、導電体粒子のスラリー
をシート成形する第２のシート成形工程と、 上記第１及び第２のシート成形工程で得られたシートを
交互に積層し、圧着する圧着工程と、該圧着工程の後に
焼結する焼結工程とを含むことを特徴とする内部電極を
有する電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60135883A JPS61294807A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | 内部電極を有する電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60135883A JPS61294807A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | 内部電極を有する電子部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61294807A true JPS61294807A (ja) | 1986-12-25 |
Family
ID=15162008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60135883A Pending JPS61294807A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | 内部電極を有する電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61294807A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5351458A (en) * | 1976-10-21 | 1978-05-10 | Itt | Method of manufacturing capacttor and apparatus therefor |
| JPS58200521A (ja) * | 1982-05-18 | 1983-11-22 | 日本電気株式会社 | 積層電子部品の製造方法 |
| JPS5929412A (ja) * | 1982-08-11 | 1984-02-16 | 株式会社村田製作所 | 積層コンデンサの製造方法 |
-
1985
- 1985-06-24 JP JP60135883A patent/JPS61294807A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5351458A (en) * | 1976-10-21 | 1978-05-10 | Itt | Method of manufacturing capacttor and apparatus therefor |
| JPS58200521A (ja) * | 1982-05-18 | 1983-11-22 | 日本電気株式会社 | 積層電子部品の製造方法 |
| JPS5929412A (ja) * | 1982-08-11 | 1984-02-16 | 株式会社村田製作所 | 積層コンデンサの製造方法 |
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