JPS6130006A - 抵抗体のトリミング方法 - Google Patents
抵抗体のトリミング方法Info
- Publication number
- JPS6130006A JPS6130006A JP15182284A JP15182284A JPS6130006A JP S6130006 A JPS6130006 A JP S6130006A JP 15182284 A JP15182284 A JP 15182284A JP 15182284 A JP15182284 A JP 15182284A JP S6130006 A JPS6130006 A JP S6130006A
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- JP
- Japan
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- trimming
- resistor
- resistance value
- groove
- distance
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- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は抵抗体を所望とする抵抗値に調整する抵抗体ト
リミング方法の中でも、特に印刷等で形成された微小な
抵抗体が基板内に多数散在するような抵抗体のトリミン
グ方法に関する。
リミング方法の中でも、特に印刷等で形成された微小な
抵抗体が基板内に多数散在するような抵抗体のトリミン
グ方法に関する。
従来例の構成とその問題点
近年、電子部品実装技術の発達に伴い、部品自体も小型
してきた。その実装方法の１つにハイプツトＩＣ（以下
、ＨＩＣと称す）がある。ＨＩＣに用いられる抵抗体の
製造は、セラミック基板上に抵抗体電極ならびに配線パ
ターンを形成後、抵抗体を印刷または蒸着により形成さ
れている。
してきた。その実装方法の１つにハイプツトＩＣ（以下
、ＨＩＣと称す）がある。ＨＩＣに用いられる抵抗体の
製造は、セラミック基板上に抵抗体電極ならびに配線パ
ターンを形成後、抵抗体を印刷または蒸着により形成さ
れている。
しかしながら、抵抗体材料の調合条件ならびに焼成条件
のバラツキなどから、その低値精度は設計値に対して±
１０〜２０５％程度の誤差を生じる。したがって、抵抗
体トリミングによる最終抵抗値調整が必要である。抵抗
値調整には、抵抗値そのものを規格値にトリミングをす
る素子トリミングと、回路を動作させた状態でその回路
特性を計測しながら規格値まで抵抗体をトリミングする
機能トリミングとの２種類がある。
のバラツキなどから、その低値精度は設計値に対して±
１０〜２０５％程度の誤差を生じる。したがって、抵抗
体トリミングによる最終抵抗値調整が必要である。抵抗
値調整には、抵抗値そのものを規格値にトリミングをす
る素子トリミングと、回路を動作させた状態でその回路
特性を計測しながら規格値まで抵抗体をトリミングする
機能トリミングとの２種類がある。
先ず、従来の抵抗体のトリミング方法について端につけ
られた電極、（８ａ） （８ｂ）は抵抗体（１）の抵抗
値を所望抵抗値にするためにトリミング装置〔図示せず
〕により抵抗体（１）にほどこされたトリミング溝であ
る。（４）は抵抗体の抵抗値を測定するためにＮ、極（
２ａ） （２ｂ）に圧接されたプローブ、（５）は抵抗
体（１）の抵抗値を測定する抵抗値測定手段、（６）は
抵抗体（１）の抵抗値と所望抵抗値と比較してトリミン
グされている抵抗体の抵抗値が所望抵抗値を越えたかを
判定する比較手段である。第２図は第１図の抵抗体と電
極部分をぬきだした部分図であり、（７ａ）は１本目の
トリミング溝（３ａ）をほどこす位置、（７ｂ）は２本
目のトリミング溝（８ｂ）をほどこす位置である。なお
（７ａ） （７ｂ）は入れ換わってもかまわない。まず
第２図（ｂ）のように微小距離△ｌがトリミング装置に
より抵抗体に形成される。このトリミング溝により、抵
抗体を流れる電流はさえぎられ、抵抗体の抵抗値は増大
する。次にトリミング溝形成後の抵抗値を抵抗値測定手
段（５）で測定し、測定された抵抗値は比較手段（６）
により所望抵抗値と比較され、もしも所望抵抗値を越え
ておれば、そこでトリミングは中止される。所望抵抗値
以下であれば更に微小距離△ｌトリミングされてトリミ
ング溝が形成される。このとき、トリミング溝ｌは（ト
リミング繰り返し回数Ｘ６７ ）となるが、この形成さ
れたトリミング長さｌはトリミング装置に記録されてお
り、あらかじめ定められている１本目のトリミング溝の
最大トリミング溝長さｌ、と比較され、もしも１：＞１
１であれば１本目のトリミング溝の形成は中止され、次
に２本目のトリミング溝位置（７ｂ）に移り、第２図（
ｄ）のように△ｌのトリミング溝の形成を抵抗体端より
開始されるように制御され、トリミング、抵抗値の測定
、所望抵抗値との比較という手＋１１％、が繰り返され
て第２図（ｄ）のようにトリミングされる。以上の手順
により抵抗体（１）の抵抗値を所望抵抗値にするという
トリミング溝の形成作業が実行されている。
られた電極、（８ａ） （８ｂ）は抵抗体（１）の抵抗
値を所望抵抗値にするためにトリミング装置〔図示せず
〕により抵抗体（１）にほどこされたトリミング溝であ
る。（４）は抵抗体の抵抗値を測定するためにＮ、極（
２ａ） （２ｂ）に圧接されたプローブ、（５）は抵抗
体（１）の抵抗値を測定する抵抗値測定手段、（６）は
抵抗体（１）の抵抗値と所望抵抗値と比較してトリミン
グされている抵抗体の抵抗値が所望抵抗値を越えたかを
判定する比較手段である。第２図は第１図の抵抗体と電
極部分をぬきだした部分図であり、（７ａ）は１本目の
トリミング溝（３ａ）をほどこす位置、（７ｂ）は２本
目のトリミング溝（８ｂ）をほどこす位置である。なお
（７ａ） （７ｂ）は入れ換わってもかまわない。まず
第２図（ｂ）のように微小距離△ｌがトリミング装置に
より抵抗体に形成される。このトリミング溝により、抵
抗体を流れる電流はさえぎられ、抵抗体の抵抗値は増大
する。次にトリミング溝形成後の抵抗値を抵抗値測定手
段（５）で測定し、測定された抵抗値は比較手段（６）
により所望抵抗値と比較され、もしも所望抵抗値を越え
ておれば、そこでトリミングは中止される。所望抵抗値
以下であれば更に微小距離△ｌトリミングされてトリミ
ング溝が形成される。このとき、トリミング溝ｌは（ト
リミング繰り返し回数Ｘ６７ ）となるが、この形成さ
れたトリミング長さｌはトリミング装置に記録されてお
り、あらかじめ定められている１本目のトリミング溝の
最大トリミング溝長さｌ、と比較され、もしも１：＞１
１であれば１本目のトリミング溝の形成は中止され、次
に２本目のトリミング溝位置（７ｂ）に移り、第２図（
ｄ）のように△ｌのトリミング溝の形成を抵抗体端より
開始されるように制御され、トリミング、抵抗値の測定
、所望抵抗値との比較という手＋１１％、が繰り返され
て第２図（ｄ）のようにトリミングされる。以上の手順
により抵抗体（１）の抵抗値を所望抵抗値にするという
トリミング溝の形成作業が実行されている。
しかしながら、このような従来のトリミング方法では、
最終的に、第８図（ａ）のように１本目のトリミング溝
（８ａ）の最大長さ１１が短か過ぎ、２本目のトリミン
グ溝（８ｂ）の長さを長く抵抗体に形成しなければ所望
抵抗値にならない場合、または第８図（ｂ）のように１
本目のトリミング溝（８ａ）の最大長さ１１が長が過ぎ
、２本目のトリミング溝（８ｂ）が（よとんど形成され
ない場合がおこり、（ａ）（ｂ）とも筈ζトリミング溝
先端Ａ点において電力集中がおこりやすく、トリミング
後の抵抗体の信頼性を悪化させている。また、抵抗体に
微小距離トリミング溝を形成→抵抗値を測定→測定抵抗
値を所望抵抗値と比較するとともにトリミング溝長を最
大トリミング溝長さと比較するという手順で抵抗体にト
リミングを実行するため、高速にトリミングをおこなう
ことができないという問題点を有しているのが現状であ
る。
最終的に、第８図（ａ）のように１本目のトリミング溝
（８ａ）の最大長さ１１が短か過ぎ、２本目のトリミン
グ溝（８ｂ）の長さを長く抵抗体に形成しなければ所望
抵抗値にならない場合、または第８図（ｂ）のように１
本目のトリミング溝（８ａ）の最大長さ１１が長が過ぎ
、２本目のトリミング溝（８ｂ）が（よとんど形成され
ない場合がおこり、（ａ）（ｂ）とも筈ζトリミング溝
先端Ａ点において電力集中がおこりやすく、トリミング
後の抵抗体の信頼性を悪化させている。また、抵抗体に
微小距離トリミング溝を形成→抵抗値を測定→測定抵抗
値を所望抵抗値と比較するとともにトリミング溝長を最
大トリミング溝長さと比較するという手順で抵抗体にト
リミングを実行するため、高速にトリミングをおこなう
ことができないという問題点を有しているのが現状であ
る。
発明の目的
本発明はトリミング溝の先端部分での電力集中がなくて
信頼性が高く、しかも高速にトリミングを実行できる抵
抗体のトリミング方法を提供することを目的とする。
信頼性が高く、しかも高速にトリミングを実行できる抵
抗体のトリミング方法を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明の抵抗体のトリミング方法は、トリミングする抵
抗体の初期抵抗値とトリミングすることにより得る所望
抵抗値および抵抗体の形状寸法力〉ら抵抗体にほどこす
トリミング距離を算出し、この算出されｔこトリミング
距離を用も）で抵抗体番こトリミングすることを特徴と
する。
抗体の初期抵抗値とトリミングすることにより得る所望
抵抗値および抵抗体の形状寸法力〉ら抵抗体にほどこす
トリミング距離を算出し、この算出されｔこトリミング
距離を用も）で抵抗体番こトリミングすることを特徴と
する。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例を図面を参照しながら説明する
。
。
第４図は本発明の抵抗体のトリミング方法を抵抗体（１
）にほどこしたときの外観図であり、Ｗ４よ抵抗体幅、
Ｌは抵抗体長である。第４図番こおｔ）て、トリミング
溝（８ａ）は電極（２ａ）の端から（Ｌ／４ ）の位置
にほどこされ、トリミング溝（８ｂ）はトリミング溝（
８ａ）からさらニ（Ｌ／２）、ツまり電＠ （２ａ）
（７）電力）ら（（８Ｌ）／４ ）の位置に形成されて
％Ｎる。このような位置関係にあり、かつトリミング溝
（８ａ）と（８ｂ）の長さを等しく、それをｌとし、ま
た抵抗体（１０こトリミング溝を形成する前の抵抗値を
初期抵装置Ｒい トリミング溝（８ａ） 、（８ｂ）を
形成後の抵抗値をＲとすれば、トリミング距離ｌは上記
第１（１）式または第２゛式で求めることができる。
）にほどこしたときの外観図であり、Ｗ４よ抵抗体幅、
Ｌは抵抗体長である。第４図番こおｔ）て、トリミング
溝（８ａ）は電極（２ａ）の端から（Ｌ／４ ）の位置
にほどこされ、トリミング溝（８ｂ）はトリミング溝（
８ａ）からさらニ（Ｌ／２）、ツまり電＠ （２ａ）
（７）電力）ら（（８Ｌ）／４ ）の位置に形成されて
％Ｎる。このような位置関係にあり、かつトリミング溝
（８ａ）と（８ｂ）の長さを等しく、それをｌとし、ま
た抵抗体（１０こトリミング溝を形成する前の抵抗値を
初期抵装置Ｒい トリミング溝（８ａ） 、（８ｂ）を
形成後の抵抗値をＲとすれば、トリミング距離ｌは上記
第１（１）式または第２゛式で求めることができる。
Ｌ
Ｚ ＝２． Ｊ７ｅ （ｘ ＋ｒ ） ・
・・・・・・・・ （１）Ｒ。
・・・・・・・・ （１）Ｒ。
但し Ｗ＞Ｌ／２
／＝Ｗ（１−’ｓｉｎ ’ｅｘｐ （”−＜ （１−町
） ・−・（２）π ８Ｗ
Ｒ０但し ｗ＜Ｌ／２ 次に本実施例の抵抗体のトリミング方法について第５図
を用いて説明する。まず抵抗体幅Ｗ１抵抗体長し、およ
び初期抵抗Ｒ０と所望抵抗値Ｒにより第１式または第２
式を用いてトリミング距離ｌを算出する。次に第５図（
ａ）のように１本目のトリミング溝（８ａ）を抵抗体（
１）の抵抗値を測定することなしに、トリミング距離ｌ
の長さだけ形成する。
） ・−・（２）π ８Ｗ
Ｒ０但し ｗ＜Ｌ／２ 次に本実施例の抵抗体のトリミング方法について第５図
を用いて説明する。まず抵抗体幅Ｗ１抵抗体長し、およ
び初期抵抗Ｒ０と所望抵抗値Ｒにより第１式または第２
式を用いてトリミング距離ｌを算出する。次に第５図（
ａ）のように１本目のトリミング溝（８ａ）を抵抗体（
１）の抵抗値を測定することなしに、トリミング距離ｌ
の長さだけ形成する。
次に２本目のトリミング溝（８ｂ）は第５図（ｂ）のよ
うにトリミング距離ｌの長さ近傍まで抵抗体の抵抗値変
化を測定することなしに形成する。そののち第５図（Ｃ
）のように長さ微小距離Δｌずつトリミング溝の形成を
おこなうが、このときは抵抗体の抵抗値を測定し、測定
された抵抗値を抵抗値比較手段の距離トリミング溝を形
成するという手順でトリミングをおこなっていき、所望
抵抗値にする。
うにトリミング距離ｌの長さ近傍まで抵抗体の抵抗値変
化を測定することなしに形成する。そののち第５図（Ｃ
）のように長さ微小距離Δｌずつトリミング溝の形成を
おこなうが、このときは抵抗体の抵抗値を測定し、測定
された抵抗値を抵抗値比較手段の距離トリミング溝を形
成するという手順でトリミングをおこなっていき、所望
抵抗値にする。
この本実施例によれば、抵抗体の形状寸法、初期抵抗値
および所望抵抗値から、トリミング距離を算出し、１本
目のトリミング溝および２本目のトリミング溝のほとん
どを抵抗値を測定することなしにトリミング溝を形成し
、その後２本目のトリミング溝を△ｌずつ増加させ、抵
抗値を測定しながらトリミングをおこなうことにより、
高精度がつ高速に抵抗体にトリミングをほどこすことが
できる。
および所望抵抗値から、トリミング距離を算出し、１本
目のトリミング溝および２本目のトリミング溝のほとん
どを抵抗値を測定することなしにトリミング溝を形成し
、その後２本目のトリミング溝を△ｌずつ増加させ、抵
抗値を測定しながらトリミングをおこなうことにより、
高精度がつ高速に抵抗体にトリミングをほどこすことが
できる。
第６図は他の実施例を示す。第６図では８本のトリミン
グ溝を形成したときを外観図を示している。トリミング
溝を第６図のような位置関係つまり、抵抗体長を１：２
：２：１に分割する位置に形成したとき、そのトリミン
グ長ｌは下記第８式または第４式で求めることができる
。
グ溝を形成したときを外観図を示している。トリミング
溝を第６図のような位置関係つまり、抵抗体長を１：２
：２：１に分割する位置に形成したとき、そのトリミン
グ長ｌは下記第８式または第４式で求めることができる
。
１ ＝ 、、 ：１ｏ１ｅ（ｘ 十１’２”イ）曲・曲
（３）Ｒｏ 但し Ｗ＞い ２、−、Ｌπ Ｒ ｆ＝Ｗ（１−−； ｓｌｎ ｅｘｐ（、、（１−Ｈ，
） ’ｊ −” （４）但し Ｗくい この実施例の場合も先の実施例と同じように、まず抵抗
体幅Ｗ、抵抗体長Ｌ、および初期抵抗値Ｒ８と所望抵抗
値Ｒにより、第８式または第４式を用いて、トリミング
距１ｉＩＩＩ！を算出する。次に１本目および２本目の
トリミング溝を抵抗体の抵抗値を測定することなしに、
トリミング距離ｌの長さだけトリミング溝を形成する。
（３）Ｒｏ 但し Ｗ＞い ２、−、Ｌπ Ｒ ｆ＝Ｗ（１−−； ｓｌｎ ｅｘｐ（、、（１−Ｈ，
） ’ｊ −” （４）但し Ｗくい この実施例の場合も先の実施例と同じように、まず抵抗
体幅Ｗ、抵抗体長Ｌ、および初期抵抗値Ｒ８と所望抵抗
値Ｒにより、第８式または第４式を用いて、トリミング
距１ｉＩＩＩ！を算出する。次に１本目および２本目の
トリミング溝を抵抗体の抵抗値を測定することなしに、
トリミング距離ｌの長さだけトリミング溝を形成する。
次に８本目のトリミング溝はトリミング距離ｌの近傍ま
で、抵抗体の抵抗値変化を測定することなしに、トリミ
ング溝を形成する。そののち、長さ微小距離△ｌずつト
リミング溝の形成をおこない、このときは抵抗体の抵抗
値を測定し、測定された抵抗値を抵抗値比較手段（５）
で所望抵抗値をこえたかを判定し、こえていなければさ
らに微小距離△ｌだけトリミング溝を形成し、抵抗値を
測定しという手順でトリミングをおこない、抵抗値を所
望抵抗値にする。
で、抵抗体の抵抗値変化を測定することなしに、トリミ
ング溝を形成する。そののち、長さ微小距離△ｌずつト
リミング溝の形成をおこない、このときは抵抗体の抵抗
値を測定し、測定された抵抗値を抵抗値比較手段（５）
で所望抵抗値をこえたかを判定し、こえていなければさ
らに微小距離△ｌだけトリミング溝を形成し、抵抗値を
測定しという手順でトリミングをおこない、抵抗値を所
望抵抗値にする。
なお、本実施例では、トリミング溝形成装置を抵抗体長
を整数比でかけるとしたが、これはトリミング距離ｌを
求めるための位置関係であって、実際に抵抗体にトリミ
ングをおこなうときのトリミング溝の形成位置はこの位
置関係に限定されるものではない。
を整数比でかけるとしたが、これはトリミング距離ｌを
求めるための位置関係であって、実際に抵抗体にトリミ
ングをおこなうときのトリミング溝の形成位置はこの位
置関係に限定されるものではない。
また、算出されたトリミング距離を満足する長さのほぼ
等しい複数本のトリミング溝の形成に際し、抵抗体幅Ｗ
とトリミング距離ｌの差（Ｗ−７）を知ることができ、
あらかじめ、抵抗体の電力量および信頼性の面からＷ−
ｌの値がある閾値以下のとき前記複数本のトリミング溝
では満足できる抵抗体が得られないと判定して、無駄な
トリミングを開始する前に他のトリミング方法に切りか
えることができる。またトリミング精度を必要としない
ときは最終木目のトリミング溝の形成をも抵抗値の測定
を必要とせず、計算により求められたトリミング距離ｔ
の長さだけトリミングをおこなえばよいことはあきらか
である。
等しい複数本のトリミング溝の形成に際し、抵抗体幅Ｗ
とトリミング距離ｌの差（Ｗ−７）を知ることができ、
あらかじめ、抵抗体の電力量および信頼性の面からＷ−
ｌの値がある閾値以下のとき前記複数本のトリミング溝
では満足できる抵抗体が得られないと判定して、無駄な
トリミングを開始する前に他のトリミング方法に切りか
えることができる。またトリミング精度を必要としない
ときは最終木目のトリミング溝の形成をも抵抗値の測定
を必要とせず、計算により求められたトリミング距離ｔ
の長さだけトリミングをおこなえばよいことはあきらか
である。
発明の効果
以上の説明から明らかなように本発明の抵抗体のトリミ
ング方法は、抵抗体の形状寸法と初期抵抗値および所望
抵抗値からトリミング距離を算出し、この算出に基づい
てトリミングするため、複数本のトリミング溝の長さを
ほぼ等しくなるように抵抗体にトリミングをほどこすこ
とによりトリミング溝長さの不均一によるトリミング溝
先端の電力集中の問題がなくなる。また高いトリム比（
トリミング後の抵抗値／初期抵抗値）を容易に実現でき
、さらに１木目のトリミング溝から最終木目のトリミン
グ溝のほとんど抵抗値の測定なしにトリミングを抵抗体
にほどこすことができるため、非常に高速にトリミング
をおこなうことができるという大きな効果を得ることが
できる。
ング方法は、抵抗体の形状寸法と初期抵抗値および所望
抵抗値からトリミング距離を算出し、この算出に基づい
てトリミングするため、複数本のトリミング溝の長さを
ほぼ等しくなるように抵抗体にトリミングをほどこすこ
とによりトリミング溝長さの不均一によるトリミング溝
先端の電力集中の問題がなくなる。また高いトリム比（
トリミング後の抵抗値／初期抵抗値）を容易に実現でき
、さらに１木目のトリミング溝から最終木目のトリミン
グ溝のほとんど抵抗値の測定なしにトリミングを抵抗体
にほどこすことができるため、非常に高速にトリミング
をおこなうことができるという大きな効果を得ることが
できる。
第１図は抵抗体のトリミングの概念図、第２図は従来の
抵抗体のトリミング方法の説明図、第８図は従来の抵抗
体のトリミング方法をほどこされた抵抗体の外観図、第
４図は本発明によりトリミング溝が形成された抵抗体の
外観図、第５図は第４図のトリミング工程の説明図、第
６図は第４図とは別の実施例の抵抗体の外観図である。
抵抗体のトリミング方法の説明図、第８図は従来の抵抗
体のトリミング方法をほどこされた抵抗体の外観図、第
４図は本発明によりトリミング溝が形成された抵抗体の
外観図、第５図は第４図のトリミング工程の説明図、第
６図は第４図とは別の実施例の抵抗体の外観図である。
Claims (2)
- １．トリミングする抵抗体の初期抵抗値とトリミングす
ることにより得る所望抵抗値および抵抗体の形状寸法か
ら抵抗体にほどこすトリミング距離を算出し、この算出
されたトリミング距離を用いて抵抗体にトリミングする
抵抗体のトリミング方法。 - ２．算出されたトリミング距離を用いて長さがほぼ等し
い複数本のトリミング溝を形成することを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の抵抗体のトリミング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15182284A JPS6130006A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 抵抗体のトリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15182284A JPS6130006A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 抵抗体のトリミング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6130006A true JPS6130006A (ja) | 1986-02-12 |
Family
ID=15527070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15182284A Pending JPS6130006A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 抵抗体のトリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6130006A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01184221A (ja) * | 1988-01-14 | 1989-07-21 | Komatsu Ltd | 流動層炉内雰囲気の制御装置 |
| JPH0270196U (ja) * | 1988-11-17 | 1990-05-28 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5788704A (en) * | 1980-11-21 | 1982-06-02 | Nippon Electric Co | Method of controlling resistance element |
| JPS5851550A (ja) * | 1981-09-22 | 1983-03-26 | Fujitsu Ltd | フアンクシヨントリミング方法 |
-
1984
- 1984-07-20 JP JP15182284A patent/JPS6130006A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5788704A (en) * | 1980-11-21 | 1982-06-02 | Nippon Electric Co | Method of controlling resistance element |
| JPS5851550A (ja) * | 1981-09-22 | 1983-03-26 | Fujitsu Ltd | フアンクシヨントリミング方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01184221A (ja) * | 1988-01-14 | 1989-07-21 | Komatsu Ltd | 流動層炉内雰囲気の制御装置 |
| JPH0270196U (ja) * | 1988-11-17 | 1990-05-28 |
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