JPS6130285Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6130285Y2 JPS6130285Y2 JP6278482U JP6278482U JPS6130285Y2 JP S6130285 Y2 JPS6130285 Y2 JP S6130285Y2 JP 6278482 U JP6278482 U JP 6278482U JP 6278482 U JP6278482 U JP 6278482U JP S6130285 Y2 JPS6130285 Y2 JP S6130285Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roller
- wafer
- driven roller
- end surface
- driven
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
(a) 考案の技術分野
この考案は、ICなどを作るときに使用するウ
エハの位置決め装置についてのものである。
エハの位置決め装置についてのものである。
(b) 考案の目的
ウエハは第１図のように外形が円形になつてお
り、外形の一部には位置決めの基準になるオリエ
ンテーシヨンフラツト２を設ける。
り、外形の一部には位置決めの基準になるオリエ
ンテーシヨンフラツト２を設ける。
このようなウエハの位置決め装置には種々のも
のが発表されているが、第２図に示すものもその
一つである。第２図の３は駆動ローラ、４はガイ
ド、５はガイド４の端面、６と７は自由に回転す
る従動ローラ、８はウエハ１を載せる台、９はガ
イド、１０はガイド９の端面である。
のが発表されているが、第２図に示すものもその
一つである。第２図の３は駆動ローラ、４はガイ
ド、５はガイド４の端面、６と７は自由に回転す
る従動ローラ、８はウエハ１を載せる台、９はガ
イド、１０はガイド９の端面である。
第２図はウエハ１を台８の上に載せ、従動ロー
ラ６と従動ローラ７でウエハ１を駆動ローラ３側
に押し付けながら、駆動ローラ３の回転でウエハ
１を回転させている状態を示したものである。
ラ６と従動ローラ７でウエハ１を駆動ローラ３側
に押し付けながら、駆動ローラ３の回転でウエハ
１を回転させている状態を示したものである。
最初にウエハ１を台８に載せるときは、従動ロ
ーラ６と従動ローラ７を台８から遠ざける。ウエ
ハ１を台８に載せると、図示を省略したスプリン
グなどで従動ローラ６と従動ローラ７を駆動ロー
ラ３側に押し付け、ウエハ１を駆動ローラ３に接
触させる。従動ローラ６と従動ローラ７はウエハ
１の回転につれて自由に回転する。
ーラ６と従動ローラ７を台８から遠ざける。ウエ
ハ１を台８に載せると、図示を省略したスプリン
グなどで従動ローラ６と従動ローラ７を駆動ロー
ラ３側に押し付け、ウエハ１を駆動ローラ３に接
触させる。従動ローラ６と従動ローラ７はウエハ
１の回転につれて自由に回転する。
第２図では端面５と端面１０が同一線上にある
ように配置する。そして、ウエハ１に対し駆動ロ
ーラ３をこの線よりもわずかに外側にあるように
する。ウエハ１は円形なので、駆動ローラ３には
接するが、ガイド４とガイド９には接触せずに回
転する。
ように配置する。そして、ウエハ１に対し駆動ロ
ーラ３をこの線よりもわずかに外側にあるように
する。ウエハ１は円形なので、駆動ローラ３には
接するが、ガイド４とガイド９には接触せずに回
転する。
次に、第２図のウエハ１がさらに回転したとき
の主要部分拡大図を第３図に示す。第３図はオリ
エンテーシヨンフラツト２の部分がガイド４の端
面５とガイド９の端面１０に接した状態を示した
もので、この状態では駆動ローラ３とオリエンテ
ーシヨンフラツト２が離れるように、端面５・１
０と駆動ローラ３の位置を設定する。したがつ
て、第３図の状態では駆動ローラ３は空転し、ウ
エハ１は従動ローラ６・７と端面５・１０で固定
される。
の主要部分拡大図を第３図に示す。第３図はオリ
エンテーシヨンフラツト２の部分がガイド４の端
面５とガイド９の端面１０に接した状態を示した
もので、この状態では駆動ローラ３とオリエンテ
ーシヨンフラツト２が離れるように、端面５・１
０と駆動ローラ３の位置を設定する。したがつ
て、第３図の状態では駆動ローラ３は空転し、ウ
エハ１は従動ローラ６・７と端面５・１０で固定
される。
この場合、ウエハ１の回転と停止を検出するこ
とができれば、駆動ローラ３を止めたり、次工程
へ進めたりするのに便利である。
とができれば、駆動ローラ３を止めたり、次工程
へ進めたりするのに便利である。
この考案は、ウエハ１の回転と停止を従動ロー
ラ６に設けたローラ回転検出器で検出することが
できるようにするものである。
ラ６に設けたローラ回転検出器で検出することが
できるようにするものである。
(c) 考案の実施例
まず、この考案による実施例の構成図を第４図
に示す。
に示す。
第４図の１〜１０は第１図と同じであり、１１
は従動ローラ６に取り付けたローラ回転検出器で
ある。ローラ回転検出器１１はスリワリ入りの円
板１１Ａを従 ローラ６に取り付け、円板１１Ａ
のスリワリ部分が発光素子と受光素子を対向させ
た光検出器１１Ｂ内を通過するように構成したも
のである。
は従動ローラ６に取り付けたローラ回転検出器で
ある。ローラ回転検出器１１はスリワリ入りの円
板１１Ａを従 ローラ６に取り付け、円板１１Ａ
のスリワリ部分が発光素子と受光素子を対向させ
た光検出器１１Ｂ内を通過するように構成したも
のである。
次に、第４図の作用を説明する。
従動ローラ６の回転につれて円板１１Ａも回転
するが、円板１１Ａのスリワリ部分が光検出器１
１Ｂ内を通過すると、そのスリワリ部分で光検出
器１１Ｂは光を送受信し、そのたびにローラ回転
検出器１１から出力が出ていく。
するが、円板１１Ａのスリワリ部分が光検出器１
１Ｂ内を通過すると、そのスリワリ部分で光検出
器１１Ｂは光を送受信し、そのたびにローラ回転
検出器１１から出力が出ていく。
ウエハ１の回転が止まると、従動ローラ６の回
転も止まる。これにより、ローラ回転検出器１１
の出力も変化しなくなる。したがつて、ローラ回
転検出器１１からの出力が変化しなくなつたとき
駆動ローラ３の回転を止めるようにセツトすれ
ば、駆動ローラ３を空転させることなく停止させ
ることができる。
転も止まる。これにより、ローラ回転検出器１１
の出力も変化しなくなる。したがつて、ローラ回
転検出器１１からの出力が変化しなくなつたとき
駆動ローラ３の回転を止めるようにセツトすれ
ば、駆動ローラ３を空転させることなく停止させ
ることができる。
第４図ではローラ回転検出器１１を従動ローラ
６に取り付けているが、ウエハ１の回転停止を確
実に検出するために、従動ローラ７にもローラ回
転検出器を付けてもよい。
６に取り付けているが、ウエハ１の回転停止を確
実に検出するために、従動ローラ７にもローラ回
転検出器を付けてもよい。
(d) 考案の効果
この考案によれば、従動ローラに取り付けたロ
ーラ回転検出器１１の出力でウエハ１の回転と停
止を検出することができるので、駆動ローラを止
めたり、次工程へ進めたりすることができる。
ーラ回転検出器１１の出力でウエハ１の回転と停
止を検出することができるので、駆動ローラを止
めたり、次工程へ進めたりすることができる。
第１図はウエハの外観図、第２図は従来装置の
構成図、第３図は第２図のウエハ１をさらに回転
したときの主要部分拡大図、第４図はこの考案に
よる実施例の構成図。 １……ウエハ、２……オリエンテーシヨンフラ
ツト、３……駆動ローラ、４……ガイド、５……
端面、６……従動ローラ、７……従動ローラ、８
……台、９……ガイド、１０……端面、１１……
ローラ回転検出器、１１Ａ……スリワリつき円
板、１１Ｂ……光検出器。
構成図、第３図は第２図のウエハ１をさらに回転
したときの主要部分拡大図、第４図はこの考案に
よる実施例の構成図。 １……ウエハ、２……オリエンテーシヨンフラ
ツト、３……駆動ローラ、４……ガイド、５……
端面、６……従動ローラ、７……従動ローラ、８
……台、９……ガイド、１０……端面、１１……
ローラ回転検出器、１１Ａ……スリワリつき円
板、１１Ｂ……光検出器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 駆動ローラと、第１の端面をもつ第１のガイド
と、第２の端面をもつ第２のガイドと、第１の従
動ローラと、第２の従動ローラとをもち、第１の
従動ローラと第２の従動ローラでウエハを前記駆
動ローラ側に押し付けるとともに前記駆動ローラ
で前記ウエハを回転させ、前記ウエハのオリエン
テーシヨンフラツトが第１の端面と第２の端面に
接すると前記ウエハと前記駆動ローラが離れるよ
うに設定しているウエハの位置決め装置におい
て、 第１の従動ローラにローラ回転検出器を取り付
け、前記ローラ回転検出器の出力から前記ウエハ
の回転停止を検出することを特徴とするウエハの
位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6278482U JPS58166035U (ja) | 1982-04-29 | 1982-04-29 | ウエハの位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6278482U JPS58166035U (ja) | 1982-04-29 | 1982-04-29 | ウエハの位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58166035U JPS58166035U (ja) | 1983-11-05 |
| JPS6130285Y2 true JPS6130285Y2 (ja) | 1986-09-05 |
Family
ID=30072918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6278482U Granted JPS58166035U (ja) | 1982-04-29 | 1982-04-29 | ウエハの位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58166035U (ja) |
-
1982
- 1982-04-29 JP JP6278482U patent/JPS58166035U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58166035U (ja) | 1983-11-05 |
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