JPS6132814B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6132814B2 JPS6132814B2 JP52124472A JP12447277A JPS6132814B2 JP S6132814 B2 JPS6132814 B2 JP S6132814B2 JP 52124472 A JP52124472 A JP 52124472A JP 12447277 A JP12447277 A JP 12447277A JP S6132814 B2 JPS6132814 B2 JP S6132814B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- capillary
- external lead
- pellet
- bonding
- Prior art date
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- Expired
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07521—Aligning
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/536—Shapes of wire connectors the connected ends being ball-shaped
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/531—Shapes of wire connectors
- H10W72/5363—Shapes of wire connectors the connected ends being wedge-shaped
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体ペレツトと外部リードとの間を
ワイヤで接続するワイヤボンデイング方法に関す
るものである。
ワイヤで接続するワイヤボンデイング方法に関す
るものである。
半導体集積回路(IC,LSI)等の組立工程にお
いては、第1図aに示すようにキヤピラリ1に挿
通したワイヤ2の先端にボール3を形成し、第1
図bのようにボール3を半導体基板4に設けたタ
ブ5に溶着されたペレツト6にキヤピラリ1を押
圧して接続し、次にキヤピラリ1を移動して第1
図cのように外部リード7へワイヤ2を接続す
る。8は半導体基板4及び外部リード7を加熱す
る加熱体である。
いては、第1図aに示すようにキヤピラリ1に挿
通したワイヤ2の先端にボール3を形成し、第1
図bのようにボール3を半導体基板4に設けたタ
ブ5に溶着されたペレツト6にキヤピラリ1を押
圧して接続し、次にキヤピラリ1を移動して第1
図cのように外部リード7へワイヤ2を接続す
る。8は半導体基板4及び外部リード7を加熱す
る加熱体である。
しかるに従来のワイヤボンデイング装置におい
ては、キヤピラリ1が第1ボンデイング点である
ペレツト6より第2ボンデイング点である外部リ
ード7へワイヤ2を一定長さ繰り出してボンデイ
ングされるが、第1ボンデイング点Aと第2ボン
デイング点Bの長さがその都度多少異なつてお
り、ワイヤ長が長い場合はワイヤの繰出される量
が長いためワイヤループは高いが、ワイヤ長が短
いと外部リード7にボンデイングする時にワイヤ
が引張られるために接続されたワイヤループが全
体的に低く、点線の如くワイヤの垂れ下がりによ
りペレツト6の角に接触したり、タブ5の角に接
触してシヨートを発生することがあつた。この現
象は、特にペレツト6の高さが高くなり、外部リ
ード7との落差が大きい場合は著しい。
ては、キヤピラリ1が第1ボンデイング点である
ペレツト6より第2ボンデイング点である外部リ
ード7へワイヤ2を一定長さ繰り出してボンデイ
ングされるが、第1ボンデイング点Aと第2ボン
デイング点Bの長さがその都度多少異なつてお
り、ワイヤ長が長い場合はワイヤの繰出される量
が長いためワイヤループは高いが、ワイヤ長が短
いと外部リード7にボンデイングする時にワイヤ
が引張られるために接続されたワイヤループが全
体的に低く、点線の如くワイヤの垂れ下がりによ
りペレツト6の角に接触したり、タブ5の角に接
触してシヨートを発生することがあつた。この現
象は、特にペレツト6の高さが高くなり、外部リ
ード7との落差が大きい場合は著しい。
これらのシヨートは顕微鏡でのぞきながら一本
づつ修正しなければならなく、非常に大変な作業
である。又、ワイヤループの形状が低いと次工程
でモールド(樹脂封止)した時にもシヨートが発
生し、これらはモールド後の検査工程で発見され
るためにその間の作業ロスは大きな欠点であつ
た。
づつ修正しなければならなく、非常に大変な作業
である。又、ワイヤループの形状が低いと次工程
でモールド(樹脂封止)した時にもシヨートが発
生し、これらはモールド後の検査工程で発見され
るためにその間の作業ロスは大きな欠点であつ
た。
本発明は上記従来の欠点に鑑みてなされたもの
で、ワイヤループの形状を高くしてシヨートの発
生を防止するワイヤボンデイング方法を提供する
ことを目的とする。
で、ワイヤループの形状を高くしてシヨートの発
生を防止するワイヤボンデイング方法を提供する
ことを目的とする。
以下本発明を図示の実施例に基づいて説明す
る。第2図は本発明になるワイヤボンデイング方
法の一実施例を示す説明図である。なお、第1図
と同一部材には同一符号を付しその説明を省略す
る。第2図aに示すように、第1のボンデイング
点Aのペレツト6にボール3をキヤピラリ1で押
圧して接続した後、キヤピラリ1を第2のボンデ
イング点Bの外部リード7側へ移動させる。この
時キヤピラリ1を第2ボンデイング点Bより僅か
に量だけ余分に移動させた後に第2ボンデイン
グ点Bの位置まで戻して外部リード7へボンデイ
ングさせる。このキヤピラリ1の余分の移動量
は予め計算して指定した距離(長さ)を図示しな
いマイクロコンピユータに記憶させる。
る。第2図は本発明になるワイヤボンデイング方
法の一実施例を示す説明図である。なお、第1図
と同一部材には同一符号を付しその説明を省略す
る。第2図aに示すように、第1のボンデイング
点Aのペレツト6にボール3をキヤピラリ1で押
圧して接続した後、キヤピラリ1を第2のボンデ
イング点Bの外部リード7側へ移動させる。この
時キヤピラリ1を第2ボンデイング点Bより僅か
に量だけ余分に移動させた後に第2ボンデイン
グ点Bの位置まで戻して外部リード7へボンデイ
ングさせる。このキヤピラリ1の余分の移動量
は予め計算して指定した距離(長さ)を図示しな
いマイクロコンピユータに記憶させる。
キヤピラリ1の移動軌跡は第2図b図の2点鎖
線Cで示すような状態から2点鎖線Dの如く第2
ボンデイング点Bにキヤピラリ1が戻つてボンデ
イングする。この時キヤピラリ1が第2ボンデイ
ング点B位置へ戻る時にワイヤとキヤピラリ1の
先端との摩擦によつて一旦繰り出されたワイヤは
図示しないスプールへ上昇することはない。
線Cで示すような状態から2点鎖線Dの如く第2
ボンデイング点Bにキヤピラリ1が戻つてボンデ
イングする。この時キヤピラリ1が第2ボンデイ
ング点B位置へ戻る時にワイヤとキヤピラリ1の
先端との摩擦によつて一旦繰り出されたワイヤは
図示しないスプールへ上昇することはない。
なお、第2ボンデイング点Bよりオーバーラン
させたキヤピラリ1を第2ボンデイング点Bに戻
すには、第2図bに点線Eで示すように下降さ
せ、その後点線Fの如く第2ボンデイング点Bの
真上に移動させてもよい。
させたキヤピラリ1を第2ボンデイング点Bに戻
すには、第2図bに点線Eで示すように下降さ
せ、その後点線Fの如く第2ボンデイング点Bの
真上に移動させてもよい。
以上の説明から明らかなように、本発明になる
ワイヤボンデイング方法によれば、外部リードの
ボンデイング定位置よりキヤピラリをオーバーラ
ンさせるために、キヤピラリの先端に一旦繰り出
されたワイヤはスプールの方向に上昇することが
なく、従来の方法に比べて長く繰り出され、キヤ
ピラリがバツクする時にワイヤをペレツト側に押
し戻すために、ワイヤループの形状が高く形成さ
れ、ペレツトシヨート、タブシヨートの発生を防
止することができる。
ワイヤボンデイング方法によれば、外部リードの
ボンデイング定位置よりキヤピラリをオーバーラ
ンさせるために、キヤピラリの先端に一旦繰り出
されたワイヤはスプールの方向に上昇することが
なく、従来の方法に比べて長く繰り出され、キヤ
ピラリがバツクする時にワイヤをペレツト側に押
し戻すために、ワイヤループの形状が高く形成さ
れ、ペレツトシヨート、タブシヨートの発生を防
止することができる。
第1図a,b,cは従来のワイヤボンデイング
方法を示す説明図、第2図a,bは本発明になる
ワイヤボンデイング方法を示す説明図である。 1……キヤピラリ、2……ワイヤ、3……ボー
ル、4……半導体基板、6……ペレツト、7……
外部リード。
方法を示す説明図、第2図a,bは本発明になる
ワイヤボンデイング方法を示す説明図である。 1……キヤピラリ、2……ワイヤ、3……ボー
ル、4……半導体基板、6……ペレツト、7……
外部リード。
Claims (1)
- 1 半導体ペレツトと外部リードとの間をワイヤ
で接続するワイヤボンデイング方法において、半
導体ペレツトにワイヤ接続後、キヤピラリを外部
リードのボンデイング定位置より僅かに余分に移
動させ、その後前記定位置までキヤピラリを戻し
て外部リードにワイヤ接続することを特徴とする
ワイヤボンデイング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12447277A JPS5458352A (en) | 1977-10-19 | 1977-10-19 | Method of bonding wire |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12447277A JPS5458352A (en) | 1977-10-19 | 1977-10-19 | Method of bonding wire |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5458352A JPS5458352A (en) | 1979-05-11 |
| JPS6132814B2 true JPS6132814B2 (ja) | 1986-07-29 |
Family
ID=14886352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12447277A Granted JPS5458352A (en) | 1977-10-19 | 1977-10-19 | Method of bonding wire |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5458352A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58139435A (ja) * | 1982-02-15 | 1983-08-18 | Toshiba Corp | ボンディング方法 |
| JP5648916B2 (ja) * | 2011-02-09 | 2015-01-07 | 株式会社リコー | 電子装置及びその製造方法並びに画像形成装置 |
| JP6519599B2 (ja) | 2017-01-27 | 2019-05-29 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5041818U (ja) * | 1973-08-13 | 1975-04-28 |
-
1977
- 1977-10-19 JP JP12447277A patent/JPS5458352A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5458352A (en) | 1979-05-11 |
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