JPS6141911A - 形状検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は被検体の形状を検査し、被検体の形状に規定
の比率以上の変形が検知されると不良の判定をする形状
検査装置に関するものでちる。

「従来の技術」 被検体の形状を連続的に検査し、被検体の形状の基準許
容範囲からのずれを検知すると不良の判定を行う形状検
査装置が従来から製造現場で使用されている。

従来この種の形状検査装置としては被検体を一定速度で
移送ざぜ、移送方向の両端における被検体の縁辺位置を
検出して時系列信号を得て、この時系列信号の変化によ
って被検体の形状を検査するものがある。

第８図はこの柚の形状検査装置の構成を示すもので、被
検体１１が例えばシリンダを使用した送り装置１２によ
って図で矢印Ｘで示す方向に定速度で移送される。例え
ばプレス加工で連鎖状部品として作成されるコンタクト
がこの種の形状検査装置での検査の対象として用いられ
る。この場合のコンタクトは第９図に示すように帯状の
キャリア１３に対してその同一方向に一体に複数のコン
タクト１４−１．１４−２・・・が突出して配設された
形状とされ、このような形状のコンタクトが被検体とさ
れる。

キャリア１３にはプレス加工の際に形成される等間隔の
パイロット孔１６−１．１６−２・・・が設けられてお
り、これらのパイロット孔によって位置決めされてキャ
リア１３に対して同一方向に直角にコンタクト１４−１
．１４−２・・・が互に平行に等間隔で配列形成されて
いる。

コンタクトとキャリアはコネクタを製造する際の中間工
程で切シ離して使用するために、そのつなぎ部分Ｅは強
度的には弱くなっている。従って各種の二次加工工程で
この部分において変形して曲ることがらシ、変形した状
態では固定絶縁体内に挿入できないことがある。このよ
うな変形状態を検出するためにこの種の形状検査装置が
使用される。

各コンタクトのキャリア１３の所定位置において、変形
の生じていないコンタクトの移送方向における両側縁上
の点１）ＩＦ５を挾んで投光器１７−１．１７−２と受
光器１８−１．１８−２とがそれぞれ配設される。受光
器１８−１．１８−２の出力端子は測定回路１９の入力
端子に接続される。キャリア１３の矢印Ｘ方向への定速
度移送に伴って受光器１８−１では点Ｐｌで投光器１７
−１からの投射光の受光状態から遮光状態への転換の時
点が検出され、例えば測定回路１９の光電スイッチがＯ
Ｎとされる。受光器１８−２では点Ｐ２で投光器１７−
２からの投射光の遮光状態から受光状態への転換の１１
０点が検出され、測定回路１９の光電スイッチが０ＦＩ
−とされる。点ｐ、ｐ２はコンタクトの形状と二次加工
の工程の内容に対応してコンタクトが最も変形の生じ易
い点が選定される。

このようにして測定回路１９で例えば光電スイッチのＯ
Ｎ　、　ＯＦＦ　Ｋよりコンタクトの所定位置の移送方
向の幅に対応した時系列信号が得られる。コンタクトが
変形すると光電スイッチのＯＮ　、　ＯＦＦの転換の時
点がＰ、Ｐ２よシずれ、時系列信号が変化するので、こ
の変化の状態をとらえてコンタクトの変形が検出される
。

又、被検体の所定の位置をカメラで撮影し、その映像信
号に基づいて被検体の変形を検出する方式の形状検査装
置も提案されている。

「発明の解決すべき問題点」 前述のように時系列信号を得て、これに基づいて被検体
の変形を検査する方式では、キャリア３の移送速度が一
定であ・ることか前提条件として必要とされ、キャリア
の移送速度が変化するとこれをコンタクトの変形と誤認
するため正確な測定結果が得られない。従って現場の製
造工程内に形状検査装置を組込む場合に一定移送条件が
要求されて条件が厳しくなるという欠点がある。

又、カメラ撮影に基づき被検体の変形を検査する方式に
おいては、移送されている被検体の静止像を得るためス
トロ・」？光を点灯させて撮影する必要がある。従って
ストロ１？光の遮光機構を設けたりして装置の構成が複
雑となり、製造費用も大幅に増大するという欠点がある
。

この発明の形状検査装置は前述の従来使用されている各
種のこの柚の検査装置での欠点を解決し、被検体の移送
速度に依存せず、高精度の変形検査を迅速に行うことの
できる形状検査装置を提供するものである。

「発明の構成」 この発明で形状が検査される被検体は、帯状のキーヤリ
アにその長手方向に・ぐイロソト孔が配列形成され、こ
のノクイロット孔によって位置決めされてキャリア３の
同一側に突出して被検体が形成配設されている。このギ
、−，リアが長手方向に移送され、その移送状態で被検
体の形状が検査される。

この発明では被検体検出信号発生手段が設けられ、この
被検体検出’ｆＴ号発生手段からは被検体の所定位１１
！の移送方向の幅に対応した・ンルス幅の被検体検出信
号が発生する。又パイロット信号発生手段が設けられ、
この・やイロソト信号発生手段からはキャリアの移送方
向くおける・ｆイロット孔の有無に対応したパイロット
信号が発せられる。この発明では被検体検出信号もしく
はパイロット信号の持続時間が第１のカウンタで計数さ
れ、又・ぐイロソト信号と被検体検出信号とのずれ部分
の持続時間が第２のカウンタで計数され、第２のカウン
タの計数値の第１のカウンタの計数値に対する比率が演
算手段によって演算される。

この演算手段で得られた比率が所定値を越えるとこれが
検出されて判定手段から不良判定信号が発せられる。

従って常に被検体検出信号もしくはパイロ、ト信号の持
続時間を基準にして変形が比率で判定されるので、被検
体の変形率が高精度で検出される。

「実施例」 以下この発明をその実施例に基づき図面を使用して詳細
に説明する。

実施例においては被検体として第５図に示すようなコン
タクトを取シ上げて説明する。即ち帯状のキャリア１３
の長手方向に７２イロット孔１６−１　。

１６−２・・・が等間ＫＡに配列形成され、これらの・
ぞイＩＪ２ト孔の存在しないキャリア領域の中央位置に
おいて、キャリア１３の同一側に被検体としてのコンタ
クト１ｌｌ−１，１４−２・・・が互に平行に突出配設
されている。第５図においてはコンタクト１４−２．１
４−４及び１４−６がそのつなぎ部分Ｅにおいてそれぞ
れ変形している。

キャリア１３がｉ＋手力方向移送され、これに伴って移
送するコンタク）１４−１．１４−２・・・の所定位置
忙おける移送方向の幅に対応した・ぐルス幅の被検体検
出信号を発する被検体検出信号発生手段が設けられる。

即ちコンタクトを挾んで投光器と受光センサが配設され
、変形のない正常形状のコンタクトの所定位置における
移送方向の側縁部分における受光から遮光への第１の変
化及び遮光から受光への第２の変化が受光セン？２１で
検出される。受光センサ２１の出力は増幅器２２に与え
られ、増幅器２２の出力信号が被検体検出信号Ａ、とさ
れる。この被検体検出信号Ａ、は受光センサ２１の遮光
状態で論理値が“１”となる信号で、その・ぐルス幅は
被検体の移送方向における所定位置の幅に対応した幅と
なる。

この場合所定位置は第５図の直線ＭＭ上に設定されてい
る。従って第５図に示すような被検体に対しては第６図
（Ｂ）に示すような被検体検出信号が得られる。

キャリアの移送方向における／ＩＰイロット孔の有無に
対応したパイロット信号を発するパイロット信号発生手
段が設けられる。

即ち第５図においてノやイロット孔１６−１　、１６−
２・・・の中心を結ぶ直線ＮＮ上に位置するようにキャ
リア１３を挾んで投光器と受光センサが配設され、この
受光セ／す２３の出力は増幅器２４に与えられる。増幅
器２４の出力信号が受光センサ２３の遮光状態で論理値
が′″　１″となるノクイロ、１・信号Ａ２とされる。

パイロット信号Ａ２のパルス幅は、第５図における直線
ＮＮ上のパイロット孔の存在しない部分の長きに対応す
る。

従って第５図に示す被検体に対しては第６図（Ａ）に示
すようなパイロット信号Ａ２が得られる。被検体検出信
号もしくは・ぐイロ、ト信号の持続時間を計数する第１
０カウンタが設けられる。

実施例は第１のカウンタで被検体検出信号の持続時間を
計数する構成とされている。第１図に示すように増幅器
２２の出力端子は第１のカウンタ２５のイネーブル？１
−子１．３に与えられ、この第１のカウンタ２５のクロ
、り端子ｔｃにはクロ、り発生器２６の出力端子が接続
される。第１のカウンタ２５の出力はＣＰＵ　２７に人
力信号として与えられる。

従って受光センサ２１によりコンタクトの所定位置、即
ち第５図の直ｉＭＭ上における被検体の移送方向の幅が
検出されて被検体検出信号Ａ１が発せられると、その信
号の論理値が１″の間でクロック発生器２６のクロック
が第１のカウンタ２５で計数され、その計数値はＣＰＵ
　２７に入力される。

・ゼイロット信号と被検体検出信号とのずれ部分の持続
時間を計数する第２のカウンタが設けられる。

増幅器２４の出力端子はインバータ２８を介してＡＮＤ
回路２９の一方の入力端子に接続され、ＡＮＤ回路２９
の他方の入力端子には増幅器２２の出力端子が接続され
る。ＡＮＤ回路２９の出力端子は第２のカウンタ３０の
イネーブル端子ｔｅに接続され、この第２０カウンタ３
０のクロック端子ｔ０にはクロック発生器２６の出力端
子が接続される。

従って第２のカウンタ３０は被検体検出信号Ａ１の論理
値が“１″でパイロット信号Ａ２の論理値が°′０”の
状態でクロック発生器２６のクロックを計数し、その計
数値がＣＰＵ　２７に入力され、・２イロノト信号Ａ２
と被検体検出信号ＡＩ　とのずれ部分の持続時間が計数
される。

第５図に示すような被検体に対しては、第６図（Ｃ）に
示す信号が第２のカウンタ３０の入力端子に与えられ、
この持続時間の間クロック発生器２６のタロツクが第２
のカラ／り３０で計数される。

又増幅器２２及び２４の出力端子がそれぞれＡＮＤ回路
３１の入力端子に接続され、ＡＮＤ回路３１の出力端子
がフリ、ゾフロッデ３２の入力端子に接わ１．され、フ
リ、ｆノロ、ｆ３２の出力はＣＰＵ　２７に入力される
。

従ってフリ、７０フロ、ｆ３２からは被検体検出イハ号
Ａ、及びがイロット信号Ａ２の論理値が°゛１′。

の場合に論理値“′１″の信号が発せられてＣＰＵ　２
７に入力される。

増幅器２２の出力端子がインバータ３３を介してフリ、
プフロ、、ゾ３４の入力端子に接続され、フリノクフロ
ッゾ３４の出力はＣＰＵ　２７に入力でれる。従ってフ
リ、、ｆフロッ７’３４は被検体検出４２１号Ａｌの立
下りに対応して出力信号の論理値が′１”となり、この
信号がＣＰＵ　２７に入力される。

増幅器２４の出力端子がインバータ３５を介してフリッ
ｆ７０，７″３６の入力端子に接続され、フリラグフロ
、７″３６の出力はＣＰＵ　２７に入力される。従って
フリ、ｆ７０ツブ３６は・ぞイロノト信号Ａ２の立下り
に対応して出力信号の論理値が°′１″となり、この信
号がＣＰＵ　２７に入力される。

クロック発生器２６の第１のカウンタ２５、第２のカウ
ンタ３０及びフリッデフロッ７°３４の各リセット端子
ｔＲには、ＣＰＵ　２７からのリセット信号が供給され
るように共通のリセット信号線が接続さえている。又フ
リ、デフロップ３４及び３６のリセット端子１にはＣＰ
Ｕ　２７からのリセット信号が供給されるように共通の
リセット信号線が接続されている。

この発明で相互位置関係が判定されるべき・２イロ、ト
信号Ａ２と被検体検出信号Ａ１との各場合における相対
位置関係を第４図囚〜（Ｉ）に示す。実施例においては
第４図（４）に示すパイロット信号Ａ２に対して被検体
検出信号Ａ、が（Ｂ）（匂（Ｆ）の状態にある場合は被
検体は変形がないものとする。（Ａ）に示す・Ｐイロ、
ト信号Ａ２に対して被検体検出信号Ａ１が（Ｃ）（ロ）
及び（Ｉ）の相対位置関係にある場合は被検体の変形は
明らかに許容範囲外にある。

（４）に示す・やイロット信号Ａ２に対して被検体検出
信号Ａ１が■）及び（Ｇ）の相対位置関係にある場合は
、被検体検出信号Ａ、の持続時間Ｔに対するＬ２イロ、
ト信号Ａ２と被検体検出信号Ａ、とのずれ部分の持続時
間ｔＩ＋ｔ２の比率によって被検体の変形が許容範囲内
にあるか否かが判定される。

被検体の移送速度を■とすると被検体検出信号Ａ１０幅
はＶＴで与えられ、パイロット信号Ａ２と被検体検出信
号Ａ、とのずれ部分の幅はその持続時間をｔとしてＶｔ
で与えられる。被検体の変形許容定数をｎとし−Ｃその
変形許容条件をＶＴ　＜　ｎとするとｔ（ｎＴが得られ
、変形許容条件は被検体の移送速度Ｖに依存しない。

第７図（５）〜（Ｃ）は被検体に加速度を与えて移送き
せた場合の・ぐイロ、１・信号Ａ２、被検体検出信号Ａ
１及び第２０ノＪウンタ３０の入力信号の波形をそれぞ
れ示すものである。この場合には被検体の変形に基づい
て得られる信号はその変形の程度にＶよ一義的に比例し
なくなる。しかしこのような場合でもこの発明ではＬ＜
ｎＴによって被検体の変形の許容範囲の判定を行うので
、被検体の移送速度に関係なく被検体の形状の検査を行
うことができる。

・ぐイロ、ト信号Ａ２と被検体検出信号Ａ１とが互に第
４図の（４）及び（Ｂ）のような相対位置関係にある場
合について説明する。

時刻τ３から第１のカウンタ２５が計数を開始し、τ４
までの時間Ｔの計数を行う。時刻τ４における被検体検
出信号Ａ、の立下りでフリップフロラｆ３４の出力信号
の論理値がパ１”となる。フリップフロップ３４の出力
信号の論理値パ１”をＣＰＵ　２７が取り込むと、ＣＰ
Ｕ　２７は第２図に示す割込み処理を実行する。

第１のステラ７°（１）においてＣＰＵ　２７は第２の
カウンタ３０の出力及び第１のカラ／り２５の出力を読
み込むが、第２０カウンタ３ｏの計数値はこの場合零で
あり、第１のカウンタ２５の出力はＴである。第２のス
テップ（２）でクロック発生器２６、第１のカウンタ２
５及びフリップフロッグ３４がリセットされる。第３の
ステップ（３）でずれ部分の持続時間ｔがｔ＝Ｑである
が否かの判定が行われる。この場合はｔ＝Ｑであるから
不良判定出力は得られない。

時刻τ２においてパイロット信号Ａ２が立下り、フリッ
プフロップ３６の出力信号の論理値力；”１′″となる
。フリップフロ、、、　ｆ　３６の出力信−号のε高理
値°゛１″をＣＰＵ　２７が取り込むと、ＣＰＵ　２７
は第３図に示す割込み処理を実行する。

第１のステップ（１）でＣＰＵ　２７はフリップフロッ
プ３２の出力信号を読み込む。次いで第２のステップ（
２）で読み込まれたフリップフロー／　ｆ　３４の出力
信号の論理値が°“１″であるかどうかの判定力；行わ
れる。この場合はパイロット信号の持続時間内の時刻τ
３〜τ４間の時間Ｔにおいてフリップフロッグ３２の出
力信号の論理値は１″となっており、第４のステップに
移行して不良判定出力は得られない。この場合は第４の
ステップで７リツプフロツグ３２及び３６がリセットさ
れる。

第４図の（ト））及び（乃で示す位置に被検体検出信号
Ａ１が得られた場合もこの実施例においては同様の判定
をして不良判定出力は得られない。

第４図（Ｃ）の位置に被検体検出信号Ａ１が得られた場
合の動作について説明する。

時刻τ５からτ６までの時間Ｔｌ：ｌ：Ｔの間第１のカ
ウンタ２５がクロック発生器２６のクロ、りを計数する
。この場合時刻τ６で第２図に示す割込み処理が実行さ
れるが、第３のステップでｔ＝Ｑとなるので不良判定出
力は得られない。又時刻τ２においてフリップフロッグ
３６の出力の論理値がＩＩ　Ｉ　１１となりこれがＣＰ
Ｕ　２７に取り込筐れると第３図の割込みが行われる。

第３図の割込み処理の第１のステップにおいてフリップ
フロップ３２の出力が読み込まれ、第２のステップでそ
の論理値が判定される。この場合には・２イロット信号
の持続時間内でフリップフロ、ｆ３２の出力信号の論理
値は０”であるので、第３のステップで不良判定出力が
得られる。

第４図の）の位置に被検体検出信号Ａｌが得られる場合
について説明する。

時刻τ８においてＣＰＵ　２７が被検体検出信号Ａ。

の立下りを検出すると第２図の割込み処理が実行され、
第１のステップ（１）でｔ及びＴ２キＴが読み込まれる
。第２のステラ７’　（２）においてクロック発生器２
６．第１のカウンタ２５及びフリップフロップ３４がリ
セットされる。

次いで第３のステップ（３）ではｔ＋笑０であることが
確認されるので、第４のステラｆ（４）に進み、第４の
ステラｆ（４）においてＴ＜ｎｔであるかどうかの判定
が行われる。この場合Ｔｅｎｔであると被検体の変形が
許容変形範囲内にあることを示すので、不良判定出力は
得られない。一方Ｔ〉ｎｔであることが確認され、被検
体の変形が許容範囲を越える場合には第５のステップ（
５）で不良判定出力が得られる。

時刻τ２において・ぞイロット信号Ａ２の立下りがフリ
、ｆフロ、デ３６の出力信号の論理値”　１　”として
確認されると、ＣＰＵ２７がこれを取り込んで第３図の
割込み処理が行われる。第１のステ。

プにおいてフリップフロッグ３２の出力信号が読み込ま
れ、第２のステップ（２）においてフリップフロラｆ３
２の出力信号の論理値が１″であるか否かの判定が行わ
れる。この場合フリ、、ｆフロ、７゜３２の出力信号の
論理値は・２イロ、ト信号の持続時間において°°１″
となっているので不良判定出力は得られない。

第４図（Ｇ）の位置に被検体検出信号Ａ、が得られた場
合について説明する。

時刻τ２においてパイロ、ト信号Ａ２の立下りがフリッ
グ７０ッ′ｆ３６の出力信号の論理値ＩＩ　Ｉ　ＩＩと
してＣＰＵ　２７が検知すると、ＣＰＵ　２７は第３図
の割込み処理を実行する。第１のステラｆ　（４）にお
いてフリップフロラｆ３２の出力信号が読み込まれる。

この場合フリ、プフロッｆ３２の出力信号の論理値は′
１”であり、不良判定信号は送出されない。

この場合時刻τ１１で７リツプ７０ツデ３４の出力信号
が°゛１＃となり、これがＣＰＵ　２７に取り込まれ、
第２図の割込み処理が実行される。以下は被検体検出信
号Ａ、が第４図の）の位置に得られる場合についてすで
に述べた場合と同様であり、Ｔ＜ｎｔの判定が行われ、
被検体の変形が許容変形範囲を越えている場合には不良
判定出力が得られる。

第４図（６）に示す位置に被検体検出信号Ａ１が得られ
る場合には、時刻τ２において第３図の割り込みが実行
され、第１のステラｆ（１）でフリ、７′フロツプ３２
の出力がＣＰＵ　２７に取り込まれ、第２のステラ７’
　（２）でその論理値が１１０１１であることが判定さ
れるので、第４のステップ（４）において不良判定出力
が発せられる。

時刻τ１３において肢検体検出信号Ａ１の立下りをフリ
、７″フロ、プ３４の出力信号で検知すると第２図の割
込みが実行されるが、第３のステ、プで１＝０となるの
で不良判定出力は得られない。

なおこの発明において第３図の割込みの実行を第２図の
割込みの実行に優先させるものとして、第３図の割込み
で不良判定出力が得られた場合には、第２図の割込みの
実行を省略するような構成とすることも可能である。

第４図（Ｉ）に示す場合は所定期間内に被検体検出信号
Ａ】が存在せず、・マイロ、ト信号Ａ２の立下りの時刻
τ２において第３図の割込み処理が行なわれ、フリッグ
フ【コウゾ３２の出力信号の論理値がパ０”なので不良
判定信号を発するように構成される。この場合は被検体
がキャリアから欠落しだ状態となっている。

「発明の効果」 この発明では被検体検出信号の持続時間と、・クイロッ
ト信号と被検体検出信号とのずれ部分の持続時間との計
数を行い、これらの計数値の比率が演算され、この演算
値が所定値を越えると被検体に対する不良判定が発せら
れる。従って被検体の移送速度が変化しても検査結果に
誤差を生ずることはない。

装置の構成も比較的簡単であり、その製造費用も大幅に
低減させることが可能であり、例えば第５図に示すよう
なコンタクトを被検体とした場合、その検査速度も毎秒
５０本と高速度検査を行うことができる。その不良判定
基準も高精度で所望の値に設定することが可能である。

例えばこの発明をディジタルカセットなどで多チャ／ネ
ルで信号を記憶している場合に対して適用する場合、そ
の１チヤンネルを用いて基準信号として一定幅の基準ク
ロック信号を録音しておき、他チャンネルでデータ信号
を録音し、基準クロ。

り信号とデータ信号の時間長の比較をしてデータの抽出
を行うことができる。このような比較法をとると、回転
系の立上り、立下り又は速度変動に依存せずにデータの
■目Ｂを行わせることができる。

第４図の説明においては被検体としてのコノタクトの変
形は所定限度以内でろって、ＴｌキＴ２キＴ３キＴとし
て被検体検出（ｉｉ号Ａ１の持続時間を第１のカウンタ
２５で計数して比率演算の基準とした。

しかし被検体の変形が大きな場合には、・マイロ。

ト信号Ａ２の持続時間を第１のカラ／り２５で計数して
比率演算の基Ｉ■とすることができる。

又第４図（匂及び０−）にそれぞれ示す被検体検出信号
に対しても、例えば被検体検出信号Ａ、の立下りと・ぞ
イロット信号Ａ２の立下り間の時間ｊ３　　＋ｔ４がそ
れぞれ基準範囲を越えたことを確認して不良判定を行わ
せることができる。即ち基準上限値及び下限値をＴｔ　
ｒ　Ｔｈとして’ｒｚ＜τｘ＜Ｔｈ、及びＴｔ＜τ４　
＜　Ｔｈが確認されない場合に不良判定信号を出力する
ように構成することができる。このように構成されたも
のではさらに高精度の不良判定か行われることになる。

以上詳細に説明したようにこの発明によると、構成が比
較的簡単で被検体の移送速度に依存せずに被検体の形状
を精度よく検査することができ、製造費用も大幅に低減
することが可能な形状検査装置を提供することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の形状検査装置の実施例の構成を示す
ブロック図、第２図及び第３図はこの発明の割込み処理
の各ステ、グを示すフローチャート、第４図はこの発明
の形状検査装置の動作を示す波形図、第５図はこの発明
の形状検査装置の被検体の形状を示す図、第６図（Ａ）
（Ｂ）　（Ｃ）はこの発明の形状検査装置の各部におい
て得られる波形図、第７図（Ａ）　（Ｂ）　（Ｃ）は加
速度をもって移送させた場合に得られる第６図（Ａ）　
（Ｂ）　（Ｃ）の各波形図、第８図は従来使用されてい
る形状検査装置の構成を示す図、第９図は被検体の一例
の要部の形状を示す図である。 １３：帯状キャリア、１６−１．１６−２・・・：パイ
ロット孔、１４−１．１４−２・　：コンタクト、２１
．２３：受尤十ノサ、２２．２４　　増幅器、２５：第
１のカラ／り、２６：クロック発生器、２７：ＣＰＵ、
２８．：３３．３５°インバータ、２９　、３１　：　
ＡＮＤ回路、３０　第２のカラ／り、３２．３４，３（
ｉ：フリ、ｆフロ、　ｆ０特許出願人　　日本航空電子
工業株式会社代　　理　　人　　　草　　　野　　　　
　　　卓オ　２図　　　　　　　第３図 才４図 工Ｉ　　　　　ｒ７ 沙　５０ オ６図 （Ｃ） オ　７　図 ＞８　　図 オ９図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）帯状のキャリアの長手方向にパイロット孔が配列
   形成され、これらのパイロット孔により位置決めされて
   前記キャリアの同一側に被検体が突出して配設され、前
   記キャリアがその長手方向に移送され、この移送状態で
   前記被検体の形状を検査する形状検査装置において、前
   記被検体の所定位置における前記移送方向の幅に対応し
   たパルス幅の被検体検出信号を発する被検体検出信号発
   生手段と、前記キャリアの前記移送方向における前記パ
   イロット孔の有無に対応したパイロット信号を発するパ
   イロット信号発生手段と、前記被検体検出信号もしくは
   前記パイロット信号の持続時間を計数する第１のカウン
   タと、前記パイロット信号と前記被検体検出信号とのず
   れ部分の持続時間を計数する第２のカウンタと、前記第
   ２のカウンタの計数値の前記第１のカウンタの計数値に
   対する比率を演算する演算手段と、この演算手段で得ら
   れた比率が所定値を越えることを検出して不良判定信号
   を発する判定手段とを有することを特徴とする形状検査
   装置。