JPS6144441A

JPS6144441A - ウエハ引出し装置

Info

Publication number: JPS6144441A
Application number: JP17230185A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Maejima; 前島　央; Masato Ishioka; 石岡　政人
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1985-08-07
Filing date: 1985-08-07
Publication date: 1986-03-04
Also published as: JPS6318329B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明はカートリッジからウェハを引出すウェハ自動引
出装置に関するものである。

半導体装置の主体となる半導体素子は半導体つ・エバに
不純物拡散処理、ホトエツチング処理等種種の処理を施
して製造するが、これらの処理を行うとき釦は半導体ウ
ェハを一旦等間隔で多重に収納したカートリッジから一
枚毎に引出して各穏の処理を行う。

カートリッジから半導体ウニノ・を引出すウニノ・自動
引出装置の在来の構造は、低速回転するカートリッジ搬
送回転板の外周部の一部にカートリッジ受けを設け、そ
の下部にネジの回転により上下するカートリッジ上下板
を粉ケ、カートリッジ受１−ｊＫ保持された最上のウニ
ノ・の位置と同じ高さの位置にウェハ搬送用エアベアリ
ングを配設し、そして上記カートリッジ搬送回転板によ
り半導体ウェハな多数収納したカートリッジを搬送し、
カートリッジ受けでそれを保持し、カートリッジ上下板
によりカートリッジを上昇させながらエアベアリングの
高さの位置に達した半導体ウニノ・をカートリッジから
一枚毎に引き出しエアベアリングにより半導体ウニノ・
を所定の場所に搬送するようにしている。

しかし、上記構造のウニノ・自動引出装置においては、
半導体ウェハ引出しのときにカートリッジを上昇させて
カートリッジ受けから外した状態で半導体ウェハが引出
されるので、カートリッジは側面に支えがなくなり、そ
のために倒れることがあり、これＫよってウェハ破損が
生じるという問題がある。また、ウェハ引出完了後、カ
ートリッジを降下させてカートリッジをカートリッジ受
ゆく再び保持させるときに、カートリッジの位置ずれが
生じた場合には、カートリッジが斜きカートリッジ受け
に保持されないことになり、次の作業ができなくなる。

そのために、引出し作業が中断され円滑なウェハ引出し
作業が行えなかった。

本発明は上記問題を解消するためになされたもので、そ
の目的は、ウェハ引出しのときのカートリッジの倒れを
なくし、それに起因するウェハ破損を防止すること、及
びカートリッジをカートリッジ受の所定位置にもどすと
きのカートリッジの位置ずれをなくしてカートリッジ受
けに確実に保持されるようにし、円滑なウェハ引出し作
業を行い得るよう圧することにある。

以下本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明カートリッジからのウェハ自動引出装置
の一実施例で、その概略図を示すものである。

同図にお（・て、１は回転板からなるカートリッジ搬送
装置で、その周囲にはこの回転に伴って回転移動するカ
ートリッジ受け２が多数配設されている。このカートリ
ッジ受け２は対応する２つの揺動する板からなり内側に
ツメ３が内側に突出して、図に示すような内壁面に多数
平行に形成された等間隔の溝４で、半導体ウェハ５を多
数収納したカートリッジ６を保持してカートリッジ搬送
装置（回転板）１の間欠回転によって一定方向に搬送す
るようになっている。移動するカートリッジ受け２０下
部にあたる所定の位置に第２図に示すようなカートリッ
ジ受け２を必要に応じて開閉する開閉装置７が配置され
ている。この開閉装置７は中央歯車８と同軸上にあるラ
チェットホイル９゜ツメレバー】Ｏとこれに付設された
ラチェットツメ１１及びラチェットホイル９に付設され
た廻り止ツメ１２と、一方中央歯車８に歯合う左アイド
ルギヤー１３ａとさらにこれに歯合う右アイト″ルギャ
ー１３ｂと、それぞれのアイドルギヤに歯合う小アイド
ルギヤ１４ａ、１４ｂとそれぞれ小アイドルギヤ１４ａ
、１４ｂの同軸上にある曲線カム１５ａ、１５ｂとから
構成され、ツメレバー１０を矢印の方向に上下させたと
きに中央歯車８が一定方向に回転しアイドルギヤな介し
て左右の曲線カム１５ａ、１５ｂが、それぞれ外側（異
なる方向）忙回転させてカートリッジ受け２の下側を開
くようになっている。

また、開閉装置７に並設してカートリッジ受２の直下に
は第３図に示すようなカートリンシロを上下移動する上
下装置１６が配置されている。

この上下動装置は支持棒１７に支持された上下板１８、
支持棒他端に取付けられた送りナツト】９、送りナンド
１９を支持し案内し移動させる平行に垂直配設された案
内棒２０と送りネジ棒２１とネジ棒２ＮＣ取付けられた
歯車２２とこれに歯合いモータ２４１Ｃ直接取付けられ
た歯車２３とモータ２４から構成され、カートリッジ受
２が開いたとき、モータ２４を回転させて上下板】８に
よりカートリッジ６を上下動するよう釦なっている。

また、開閉装置７及び上下動装置】６が配置された位置
には、カートリッジ受げ２に保持された最下の半導体ウ
ェハ５の高さの位置と同じ高さの位置に近接してエアベ
アリングからなるウェハ搬送装置２５が配置されている
。

そして、カートリッジ搬送装置】の周囲に配置されたカ
ートリッジ受け２に半導体ウェハ５を多数収納し、たカ
ートリッジ６をその側面開口部を外側に向けた状態で保
持させ、１回転約６０分で回転する遅い速度で回転させ
カートリンシロを間欠搬送し、開閉装置７及びカートリ
ッジ上下動装置１６に達したとき、第４図（ａ）に示す
ように、カートリッジ搬送装置（回転板）１を停止させ
て、上下動装置】６を動作させて送りネジ棒２１の回転
を上下板１８を上昇させる。このときはカートリッジ６
を保持している。カートリッジ受け２はまだ閉じている
。次に第４図５）に示すように開閉装置７を動作させツ
メレバー１０の上下運動を回転運動に変換して曲線カム
］　５ａ　、］　５ｂによりカートリッジ受け２を開放
し、同時に上記上下板１８をさらに上昇させてこれによ
ってカートリッジ６を支持し、一旦上昇させる。そして
、第４図（ｃｌに示すようにカートリッジ受け２を開放
したまま上下板１８を序々に降下させながらエアベアリ
ングからなるウェハ搬送装置２５の高さの位置に達した
最下の半導体ウェハ５から順次引出してウェハ搬送装置
２５で半導体ウェハ５を一枚毎に所定の場所、例えばホ
トレジスト塗布装置に搬送する。

このようにして、カートリッジ６がら半導体ウェハ５を
全部引出す。

その後、第４図（ｄ）に示すようにからになったカート
リッジ６を上下板１８で上昇させてもとの高さの位置よ
りも若干上に上昇させた位置でカートリッジ受け２を閉
鎖する。カートリッジ受け２を閉鎖したまま、上下板１
８を降下させてカートリッジ６を元の位置にもどしカー
トリッジ受け２で保持する。然る後、カートリッジ搬送
装置１を動作再開させて、からのカートリッジ６をその
位置から他の位１ｔＶＣ回転搬送し、同時に半導体ウェ
ハ５を多数配置収納したカートリッジ６をこの位置に回
転搬送する。開閉装置７及びカートリッジ上下動装置】
６に搬送されたカートリッジ６はまた同様に第４図（ａ
）〜（ｅ）に示すようにしてウェハ搬送装置２５の高さ
の位置に達した最下の半導体ウェハ５から順次引出して
ウェハ搬送装置２５により１枚毎に所定の場所に搬送す
る。

このようにして半導体ウェハ５が収納されたカートリッ
ジ６を搬送してカートリッジ６から半導体ウェハ５を引
出す。殻になったカートリッジ６は搬送中にカートリッ
ジ搬送装置１から引上げて新たに半導体ウェハ５が多数
配置収納したカートリッジ６と交換してカートリッジ搬
送装置１により間欠搬送して続けてカートリッジ６から
半導体ウェハ５を順次引出すのである。

以上説明したような本発明によれば、下記の理由から初
期の目的が達成される。

すなわち、半導体ウェハ引出しのときにカートリッジを
降下させながら引出すようにし、このときカートリッジ
受けを開放するがカートリッジ受は上部でカートリッジ
を常に支持して倒れないようにするため、カートリッジ
倒れに起因するウェハ破損を充分に防止できるものであ
る。また、半導体ウェハ引出完了後、カートリッジを上
昇させてカートリッジをカートリッジ受けの一部（上部
）で支持されながらもどるため、所定位置にもどすとき
のカートリッジの位置ずれはなくカートリッジ受けに確
実にもどり、位置ずれＫよる作業中断がなくなり、円滑
な半導体ウニノ・引出し作業を行い得るようになる。

さらに、本発明によればすべて機械的駆動によって動作
させるためＫ、動作が確実でウニ／・自動引出装置の信
顆上が高い等の顕著な効果を奏するものである。

本発明は上記実施例に限定されるものでなく、カートリ
ッジ搬送装置は回転搬送方式を採らずにインライン（直
線送り）方式を用いることかできる。また、本発明カー
トリッジからのウェハ自動引出装置は半導体ウェハの引
出しに限らず、金属ウェハ、その他のウェハ引出しに利
用できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の概略図を示すもので（ａ）
は正面図、［有］）はその平面図、第２図は本発明の一
実施例の要部開閉装置及びウニ・・搬送装置の斜視図、
第３図は本発明の一実施例の要部上下動装置の正面図、
第４図榊Ｓ如は本発明のウニノ・自動引出装置の動作モ
デル図である。１・・・カートリッジ搬送装置、２・・・カートリッジ
受け、３・・・ツメ、４・・・溝、５・・・半導体ウェ
ハ、６・・・カートリッジ、７・・・開閉装置、８・・
・中央歯車、９・・・２チエツトホイル、】Ｏ・・・ツ
メレバー、】１・・・ラチェットツメ、１２・・・廻り
止ツメ、１３ａ・・・左アイドルギヤ、１３ｂ・・・右
アイドルギヤ、１４ａ。１４ｂ・・・小アイドルギヤ、１５ａ、１５ｂ・・・曲
線カム、１６・・・上下動装置、１７・・・支持棒、１
８・・・上下板、】９・・・送りナツト、２０・・・案
内棒、２】・・・送りネジ棒、２２．２３・・・歯車、
２４・・・モータ、２５・・・ウェハ搬送装置。代理人　弁理士　　小　川　勝　男：し＼、−一第　　Ｉ　　図（ａ）第　　２　　図第　　３　　図

Claims

【特許請求の範囲】

１、複数のカートリッジを取り付け可能なステーション
と、前記ステーションに設けられたカートリッジ受けと
、前記ステーションとは別個にウェハ引出部に設けられ
カートリッジ上下動機構とを有し、前記ステーションは
前記カートリッジ受けによって複数のカートリッジを移
動しかつ前記ウェハ引出し部に導くことができることを
特徴とするウェハ引出し装置。