JPS6318329B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6318329B2 JPS6318329B2 JP60172301A JP17230185A JPS6318329B2 JP S6318329 B2 JPS6318329 B2 JP S6318329B2 JP 60172301 A JP60172301 A JP 60172301A JP 17230185 A JP17230185 A JP 17230185A JP S6318329 B2 JPS6318329 B2 JP S6318329B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cartridge
- semiconductor wafer
- wafer
- rotating station
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はカートリツジからウエハを引出すウエ
ハ自動引出装置に関するものである。
ハ自動引出装置に関するものである。
半導体装置の主体となる半導体素子は半導体ウ
エハに不純物拡散処理、ホトエツチング処理等種
種の処理を施して製造するが、これらの処理を行
うときには半導体ウエハを一旦等間隔で多重に収
納したカートリツジから一枚毎に引出して各種の
処理を行う。
エハに不純物拡散処理、ホトエツチング処理等種
種の処理を施して製造するが、これらの処理を行
うときには半導体ウエハを一旦等間隔で多重に収
納したカートリツジから一枚毎に引出して各種の
処理を行う。
カートリツジから半導体ウエハを引出すウエハ
自動引出装置の在来の構造は、低速回転するカー
トリツジ搬送回転板の外周部の一部にカートリツ
ジ受けを設け、その下部にネジの回転により上下
するカートリツジ上下板を設け、カートリツジ受
けに保持された最上のウエハの位置と同じ高さの
位置にウエハ搬送用エアベアリングを配設し、そ
して上記カートリツジ搬送回転板により半導体ウ
エハを多数収納したカートリツジを搬送し、カー
トリツジ受けでそれを保持し、カートリツジ上下
板によりカートリツジを上昇させながらエアベア
リングの高さの位置に達した半導体ウエハをカー
トリツジから一枚毎に引き出しエアベアリングに
より半導体ウエハを所定の場所に搬送するように
している。
自動引出装置の在来の構造は、低速回転するカー
トリツジ搬送回転板の外周部の一部にカートリツ
ジ受けを設け、その下部にネジの回転により上下
するカートリツジ上下板を設け、カートリツジ受
けに保持された最上のウエハの位置と同じ高さの
位置にウエハ搬送用エアベアリングを配設し、そ
して上記カートリツジ搬送回転板により半導体ウ
エハを多数収納したカートリツジを搬送し、カー
トリツジ受けでそれを保持し、カートリツジ上下
板によりカートリツジを上昇させながらエアベア
リングの高さの位置に達した半導体ウエハをカー
トリツジから一枚毎に引き出しエアベアリングに
より半導体ウエハを所定の場所に搬送するように
している。
しかし、上記構造のウエハ自動引出装置におい
ては、半導体ウエハ引出しのときにカートリツジ
を上昇させてカートリツジ受けから外した状態で
半導体ウエハが引出されるので、カートリツジは
側面に支えがなくなり、そのために倒れることが
あり、これによつてウエハ破損が生じるという問
題がある。また、ウエハ引出完了後、カートリツ
ジを降下させてカートリツジをカートリツジ受け
に再び保持させるときに、カートリツジの位置ず
れが生じた場合には、カートリツジが斜きカート
リツジ受けに保持されないことになり、次の作業
ができなくなる。そのために、引出し作業が中断
され円滑なウエハ引出し作業が行えなかつた。
ては、半導体ウエハ引出しのときにカートリツジ
を上昇させてカートリツジ受けから外した状態で
半導体ウエハが引出されるので、カートリツジは
側面に支えがなくなり、そのために倒れることが
あり、これによつてウエハ破損が生じるという問
題がある。また、ウエハ引出完了後、カートリツ
ジを降下させてカートリツジをカートリツジ受け
に再び保持させるときに、カートリツジの位置ず
れが生じた場合には、カートリツジが斜きカート
リツジ受けに保持されないことになり、次の作業
ができなくなる。そのために、引出し作業が中断
され円滑なウエハ引出し作業が行えなかつた。
本発明は上記問題を解消するためになされたも
ので、その目的は、ウエハ引出しのときのカート
リツジの倒れをなくし、それに起因するウエハ破
損を防止すること、及びカートリツジをカートリ
ツジ受の所定位置にもどすときのカートリツジの
位置ずれをなくしてカートリツジ受けに確実に保
持されるようにし、円滑なウエハ引出し作業を行
うことができるウエハ引出し装置を得ることにあ
る。
ので、その目的は、ウエハ引出しのときのカート
リツジの倒れをなくし、それに起因するウエハ破
損を防止すること、及びカートリツジをカートリ
ツジ受の所定位置にもどすときのカートリツジの
位置ずれをなくしてカートリツジ受けに確実に保
持されるようにし、円滑なウエハ引出し作業を行
うことができるウエハ引出し装置を得ることにあ
る。
以下本発明を詳細に説明する。
第１図は本発明カートリツジからのウエハ自動
引出装置の一実施例で、その概略図を示すもので
ある。
引出装置の一実施例で、その概略図を示すもので
ある。
同図において、１は回転板からなるカートリツ
ジ搬送装置で、その周囲にはこの回転に伴つて回
転移動するカートリツジ受け２が多数配設されて
いる。このカートリツジ受け２は対応する２つの
揺動する板からなり内側にツメ３が内側に突出し
て、図に示すような内壁面に多数平行に形成され
た等間隔の溝４で、半導体ウエハ５を多数収納し
たカートリツジ６を保持してカートリツジ搬送装
置（回転板）１の間欠回転によつて一定方向に搬
送するようになつている。移動するカートリツジ
受け２の下部にあたる所定の位置に第２図に示す
ようなカートリツジ受け２を必要に応じて開閉す
る開閉装置７が配置されている。この開閉装置７
は中央歯車８と同軸上にあるラチエツトホイル
９、ツメレバー１０とこれに付設されたラチエツ
トツメ１１及びラチエツトホイル９に付設された
廻り止ツメ１２と、一方中央歯車８に歯合う左ア
イドルギヤー１３ａとさらにこれに歯合う右アイ
ドルギヤー１３ｂと、それぞれのアイドルギヤに
歯合う小アイドルギヤ１４ａ，１４ｂとそれぞれ
小アイドルギヤ１４ａ，１４ｂの同軸上にある曲
線カム１５ａ，１５ｂとから構成され、ツメレバ
ー１０を矢印の方向に上下させたときに中央歯車
８が一定方向に回転しアイドルギヤを介して左右
の曲線カム１５ａ，１５ｂが、それぞれ外側（異
なる方向）に回転させてカートリツジ受け２の下
側を開くようになつている。
ジ搬送装置で、その周囲にはこの回転に伴つて回
転移動するカートリツジ受け２が多数配設されて
いる。このカートリツジ受け２は対応する２つの
揺動する板からなり内側にツメ３が内側に突出し
て、図に示すような内壁面に多数平行に形成され
た等間隔の溝４で、半導体ウエハ５を多数収納し
たカートリツジ６を保持してカートリツジ搬送装
置（回転板）１の間欠回転によつて一定方向に搬
送するようになつている。移動するカートリツジ
受け２の下部にあたる所定の位置に第２図に示す
ようなカートリツジ受け２を必要に応じて開閉す
る開閉装置７が配置されている。この開閉装置７
は中央歯車８と同軸上にあるラチエツトホイル
９、ツメレバー１０とこれに付設されたラチエツ
トツメ１１及びラチエツトホイル９に付設された
廻り止ツメ１２と、一方中央歯車８に歯合う左ア
イドルギヤー１３ａとさらにこれに歯合う右アイ
ドルギヤー１３ｂと、それぞれのアイドルギヤに
歯合う小アイドルギヤ１４ａ，１４ｂとそれぞれ
小アイドルギヤ１４ａ，１４ｂの同軸上にある曲
線カム１５ａ，１５ｂとから構成され、ツメレバ
ー１０を矢印の方向に上下させたときに中央歯車
８が一定方向に回転しアイドルギヤを介して左右
の曲線カム１５ａ，１５ｂが、それぞれ外側（異
なる方向）に回転させてカートリツジ受け２の下
側を開くようになつている。
また、開閉装置７に並設してカートリツジ受２
の直下には第３図に示すようなカートリツジ６を
上下移動する上下装置１６が配置されている。
の直下には第３図に示すようなカートリツジ６を
上下移動する上下装置１６が配置されている。
この上下動装置は支持棒１７に支持された上下
板１８、支持棒他端に取付けられた送りナツト１
９、送りナツト１９を支持し案内し移動させる平
行に垂直配設された案内棒２０と送りネジ棒２１
とネジ棒２１に取付けられた歯車２２とこれに歯
合いモータ２４に直接取付けられた歯車２３とモ
ータ２４から構成され、カートリツジ受２が開い
たとき、モータ２４を回転させて上下板１８によ
りカートリツジ６を上下動するようになつてい
る。
板１８、支持棒他端に取付けられた送りナツト１
９、送りナツト１９を支持し案内し移動させる平
行に垂直配設された案内棒２０と送りネジ棒２１
とネジ棒２１に取付けられた歯車２２とこれに歯
合いモータ２４に直接取付けられた歯車２３とモ
ータ２４から構成され、カートリツジ受２が開い
たとき、モータ２４を回転させて上下板１８によ
りカートリツジ６を上下動するようになつてい
る。
また、開閉装置７及び上下動装置１６が配置さ
れた位置には、カートリツジ受け２に保持された
最下の半導体ウエハ５の高さの位置と同じ高さの
位置に近接してエアベアリングからなるウエハ搬
送装置２５が配置されている。
れた位置には、カートリツジ受け２に保持された
最下の半導体ウエハ５の高さの位置と同じ高さの
位置に近接してエアベアリングからなるウエハ搬
送装置２５が配置されている。
そして、カートリツジ搬送装置１の周囲に配置
されたカートリツジ受け２に半導体ウエハ５を多
数収納したカートリツジ６をその側面開口部を外
側に向けた状態で保持させ、１回転約60分で回転
する遅い速度で回転させカートリツジ６を間欠搬
送し、開閉装置７及びカートリツジ上下動装置１
６に達したとき、第４図ａに示すように、カート
リツジ搬送装置（回転板）１を停止させて、上下
動装置１６を動作させて送りネジ棒２１の回転を
上下板１８を上昇させる。このときはカートリツ
ジ６を保持している。カートリツジ受け２はまだ
閉じている。次に第４図ｂに示すように開閉装置
７を動作させツメレバー１０の上下運動を回転運
動に変換して曲線カム１５ａ，１５ｂによりカー
トリツジ受け２を開放し、同時に上記上下板１８
をさらに上昇させてこれによつてカートリツジ６
を支持し、一旦上昇させる。そして、第４図ｃに
示すようにカートリツジ受け２を開放したまま上
下板１８を序々に降下させながらエアベアリング
からなるウエハ搬送装置２５の高さの位置に達し
た最下の半導体ウエハ５から順次引出してウエハ
搬送装置２５で半導体ウエハ５を一枚毎に所定の
場所、例えばホトレジスト塗布装置に搬送する。
このようにして、カートリツジ６から半導体ウエ
ハ５を全部引出す。
されたカートリツジ受け２に半導体ウエハ５を多
数収納したカートリツジ６をその側面開口部を外
側に向けた状態で保持させ、１回転約60分で回転
する遅い速度で回転させカートリツジ６を間欠搬
送し、開閉装置７及びカートリツジ上下動装置１
６に達したとき、第４図ａに示すように、カート
リツジ搬送装置（回転板）１を停止させて、上下
動装置１６を動作させて送りネジ棒２１の回転を
上下板１８を上昇させる。このときはカートリツ
ジ６を保持している。カートリツジ受け２はまだ
閉じている。次に第４図ｂに示すように開閉装置
７を動作させツメレバー１０の上下運動を回転運
動に変換して曲線カム１５ａ，１５ｂによりカー
トリツジ受け２を開放し、同時に上記上下板１８
をさらに上昇させてこれによつてカートリツジ６
を支持し、一旦上昇させる。そして、第４図ｃに
示すようにカートリツジ受け２を開放したまま上
下板１８を序々に降下させながらエアベアリング
からなるウエハ搬送装置２５の高さの位置に達し
た最下の半導体ウエハ５から順次引出してウエハ
搬送装置２５で半導体ウエハ５を一枚毎に所定の
場所、例えばホトレジスト塗布装置に搬送する。
このようにして、カートリツジ６から半導体ウエ
ハ５を全部引出す。
その後、第４図ｄに示すようにからになつたカ
ートリツジ６を上下板１８で上昇させてもとの高
さの位置よりも若干上に上昇させた位置でカート
リツジ受け２を閉鎖する。カートリツジ受け２を
閉鎖したまま、上下板１８を降下させてカートリ
ツジ６を元の位置にもどしカートリツジ受け２で
保持する。然る後、カートリツジ搬送装置１を動
作再開させて、からのカートリツジ６をその位置
から他の位置に回転搬送し、同時に半導体ウエハ
５を多数配置収納したカートリツジ６をこの位置
に回転搬送する。開閉装置７及びカートリツジ上
下動装置１６に搬送されたカートリツジ６はまた
同様に第４図ａ〜ｅに示すようにしてウエハ搬送
装置２５の高さの位置に達した最下の半導体ウエ
ハ５から順次引出してウエハ搬送装置２５により
１枚毎に所定の場所に搬送する。
ートリツジ６を上下板１８で上昇させてもとの高
さの位置よりも若干上に上昇させた位置でカート
リツジ受け２を閉鎖する。カートリツジ受け２を
閉鎖したまま、上下板１８を降下させてカートリ
ツジ６を元の位置にもどしカートリツジ受け２で
保持する。然る後、カートリツジ搬送装置１を動
作再開させて、からのカートリツジ６をその位置
から他の位置に回転搬送し、同時に半導体ウエハ
５を多数配置収納したカートリツジ６をこの位置
に回転搬送する。開閉装置７及びカートリツジ上
下動装置１６に搬送されたカートリツジ６はまた
同様に第４図ａ〜ｅに示すようにしてウエハ搬送
装置２５の高さの位置に達した最下の半導体ウエ
ハ５から順次引出してウエハ搬送装置２５により
１枚毎に所定の場所に搬送する。
このようにして半導体ウエハ５が収納されたカ
ートリツジ６を搬送してカートリツジ６から半導
体ウエハ５を引出す。殻になつたカートリツジ６
は搬送中にカートリツジ搬送装置１から引上げて
新たに半導体ウエハ５が多数配置収納したカート
リツジ６と交換してカートリツジ搬送装置１によ
り間欠搬送して続けてカートリツジ６から半導体
ウエハ５を順次引出すのである。
ートリツジ６を搬送してカートリツジ６から半導
体ウエハ５を引出す。殻になつたカートリツジ６
は搬送中にカートリツジ搬送装置１から引上げて
新たに半導体ウエハ５が多数配置収納したカート
リツジ６と交換してカートリツジ搬送装置１によ
り間欠搬送して続けてカートリツジ６から半導体
ウエハ５を順次引出すのである。
以上説明したような本発明によれば、下記の理
由から初期の目的が達成される。
由から初期の目的が達成される。
すなわち、半導体ウエハ引出しのときにカート
リツジを降下させながら引出すようにし、このと
きカートリツジ受けを開放するがカートリツジ受
け上部でカートリツジを常に支持して倒れないよ
うにするため、カートリツジ倒れに起因するウエ
ハ破損を充分に防止できるものである。また、半
導体ウエハ引出完了後、カートリツジを上昇させ
てカートリツジをカートリツジ受けの一部（上
部）で支持されながらもどるため、所定位置にも
どすときのカートリツジの位置ずれはなくカート
リツジ受けに確実にもどり、位置ずれによる作業
中断がなくなり、円滑な半導体ウエハ引出し作業
を行い得るようになる。
リツジを降下させながら引出すようにし、このと
きカートリツジ受けを開放するがカートリツジ受
け上部でカートリツジを常に支持して倒れないよ
うにするため、カートリツジ倒れに起因するウエ
ハ破損を充分に防止できるものである。また、半
導体ウエハ引出完了後、カートリツジを上昇させ
てカートリツジをカートリツジ受けの一部（上
部）で支持されながらもどるため、所定位置にも
どすときのカートリツジの位置ずれはなくカート
リツジ受けに確実にもどり、位置ずれによる作業
中断がなくなり、円滑な半導体ウエハ引出し作業
を行い得るようになる。
さらに、本発明によればすべて機械的駆動によ
つて動作させるために、動作が確実でウエハ自動
引出装置の信頼上が高い等の顕著な効果を奏する
ものである。
つて動作させるために、動作が確実でウエハ自動
引出装置の信頼上が高い等の顕著な効果を奏する
ものである。
第１図は本発明の一実施例の概略図を示すもの
でａは正面図、ｂはその平面図、第２図は本発明
の一実施例の要部開閉装置及びウエハ搬送装置の
斜視図、第３図は本発明の一実施例の要部上下動
装置の正面図、第４図は本発明のウエハ自動引出
装置の動作モデル図である。 １……カートリツジ搬送装置、２……カートリ
ツジ受け、３……ツメ、４……溝、５……半導体
ウエハ、６……カートリツジ、７……開閉装置、
８……中央歯車、９……ラチエツトホイル、１０
……ツメレバー、１１……ラチエツトツメ、１２
……廻り止ツメ、１３ａ……左アイドルギヤ、１
３ｂ……右アイドルギヤ、１４ａ，１４ｂ……小
アイドルギヤ、１５ａ，１５ｂ……曲線カム、１
６……上下動装置、１７……支持棒、１８……上
下板、１９……送りナツト、２０……案内棒、２
１……送りネジ棒、２２，２３……歯車、２４…
…モータ、２５……ウエハ搬送装置。
でａは正面図、ｂはその平面図、第２図は本発明
の一実施例の要部開閉装置及びウエハ搬送装置の
斜視図、第３図は本発明の一実施例の要部上下動
装置の正面図、第４図は本発明のウエハ自動引出
装置の動作モデル図である。 １……カートリツジ搬送装置、２……カートリ
ツジ受け、３……ツメ、４……溝、５……半導体
ウエハ、６……カートリツジ、７……開閉装置、
８……中央歯車、９……ラチエツトホイル、１０
……ツメレバー、１１……ラチエツトツメ、１２
……廻り止ツメ、１３ａ……左アイドルギヤ、１
３ｂ……右アイドルギヤ、１４ａ，１４ｂ……小
アイドルギヤ、１５ａ，１５ｂ……曲線カム、１
６……上下動装置、１７……支持棒、１８……上
下板、１９……送りナツト、２０……案内棒、２
１……送りネジ棒、２２，２３……歯車、２４…
…モータ、２５……ウエハ搬送装置。
Claims (1)
- １ 半導体ウエハを多数収納する複数のカートリ
ツジを取り付け可能な回転ステーシヨンと、前記
回転ステーシヨンに設けられ、前記複数のカート
リツジそれぞれの下面の一部と側面を保持する複
数のカートリツジ受けと、前記カートリツジ受け
を必要に応じて開閉する開閉装置と、前記回転ス
テーシヨンとは別個の半導体ウエハ引出部と、前
記半導体ウエハ引出部に設けられ前記カートリツ
ジを保持しかつ上下動させるカートリツジ上下動
機構とを有し、前記回転ステーシヨンは前記複数
のカートリツジそれぞれを前記複数のカートリツ
ジ受けによつて保持した状態で前記回転ステーシ
ヨンの回転により前記複数のカートリツジを前記
半導体ウエハ引出部に間欠的に導くことができ、
かつ前記半導体ウエハ引出部は前記回転ステーシ
ヨンによつて導かれる前記カートリツジの下面を
前記上下動機構で保持して前記カートリツジを上
昇又は下降させながら前記カートリツジより半導
体ウエハを順次一枚ずつ取り出すことができるこ
とを特徴とする半導体ウエハ引出し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17230185A JPS6144441A (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | ウエハ引出し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17230185A JPS6144441A (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | ウエハ引出し装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11079176A Division JPS5943822B2 (ja) | 1976-09-17 | 1976-09-17 | カ−トリツジからのウエハ自動引出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6144441A JPS6144441A (ja) | 1986-03-04 |
| JPS6318329B2 true JPS6318329B2 (ja) | 1988-04-18 |
Family
ID=15939385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17230185A Granted JPS6144441A (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | ウエハ引出し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6144441A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5943822B2 (ja) * | 1976-09-17 | 1984-10-24 | 株式会社日立製作所 | カ−トリツジからのウエハ自動引出装置 |
-
1985
- 1985-08-07 JP JP17230185A patent/JPS6144441A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6144441A (ja) | 1986-03-04 |
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