JPS6148748A - 光学測定装置 - Google Patents
光学測定装置Info
- Publication number
- JPS6148748A JPS6148748A JP17020084A JP17020084A JPS6148748A JP S6148748 A JPS6148748 A JP S6148748A JP 17020084 A JP17020084 A JP 17020084A JP 17020084 A JP17020084 A JP 17020084A JP S6148748 A JPS6148748 A JP S6148748A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- light
- optical transmission
- optical
- transmission line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/268—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light using optical fibres
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、光を応用して被測定物理量を検出する光学
測定装置に関する。
測定装置に関する。
光伝送路に光ファイバを用いた種々の光学測定装置が提
案されている。これらの光学測定装置にとって重要な課
題は、光ファイバ等の伝送系の損失変化や光源の出力変
動が検出素子からの検出信号に影響を与えないようにす
ることである。このような課題を達成するために従来の
光学測定装置では、トランスデユーサ部に被測定物理量
の影響を受ける検出パスと影響を受けない基準パスとの
２つの経路を設ける方法（以下、［阜ｊｌｌｊバス方式
］という）や、波長の異なる２つの光を同一経路を通過
させ、トランスデユーサ部において両光／３（被測定物
理口の兄なる影響を受けることを利用して異なる検出信
号を（η、その比をもって被測定物理口を測定する方式
（以下２波長検出方式という）等が広く用いられていた
。
案されている。これらの光学測定装置にとって重要な課
題は、光ファイバ等の伝送系の損失変化や光源の出力変
動が検出素子からの検出信号に影響を与えないようにす
ることである。このような課題を達成するために従来の
光学測定装置では、トランスデユーサ部に被測定物理量
の影響を受ける検出パスと影響を受けない基準パスとの
２つの経路を設ける方法（以下、［阜ｊｌｌｊバス方式
］という）や、波長の異なる２つの光を同一経路を通過
させ、トランスデユーサ部において両光／３（被測定物
理口の兄なる影響を受けることを利用して異なる検出信
号を（η、その比をもって被測定物理口を測定する方式
（以下２波長検出方式という）等が広く用いられていた
。
しかしこれらの従来技術には次に示づ−ような問題点が
あった。
あった。
阜準バス方式ではトランスデユーサ部にＪ３いて検出光
と基準光とがべつべつのバスを通過づ“るため、異なる
外乱を受１プる可能性が大ぎく、外乱の影響を補にしき
れない。また２波長検出力式では波長の異なる２種類の
光源を設ける必要があり、しかもトランスデユーサ部で
も両光の被測定物理ｒ７１による影響のちがいが大きく
出るように波長を決定する必要があるため、２つの波長
の差を大きくする必要がある。
と基準光とがべつべつのバスを通過づ“るため、異なる
外乱を受１プる可能性が大ぎく、外乱の影響を補にしき
れない。また２波長検出力式では波長の異なる２種類の
光源を設ける必要があり、しかもトランスデユーサ部で
も両光の被測定物理ｒ７１による影響のちがいが大きく
出るように波長を決定する必要があるため、２つの波長
の差を大きくする必要がある。
周知のように、光伝送路に用いられる光ファイバの損失
特性は波長依存性が大きいため、一方の光源に対する損
失を小さく押えても他方の光源に対しては１（１失が大
きくなってしまうため長距離伝送が不可能となったり、
受光素子も両光源に対して異なる感度を持つように選択
しなければならない等の制約があった。
特性は波長依存性が大きいため、一方の光源に対する損
失を小さく押えても他方の光源に対しては１（１失が大
きくなってしまうため長距離伝送が不可能となったり、
受光素子も両光源に対して異なる感度を持つように選択
しなければならない等の制約があった。
この発明は上述した従来の欠点を解消するためになされ
たもので、その目的は単一波長の光源のみを用いること
ができ、しかも光伝送路の損失変化や光源の出力変動が
検出素子の検出信号に影響を与えることのない光学測定
装置を提供するにある。
たもので、その目的は単一波長の光源のみを用いること
ができ、しかも光伝送路の損失変化や光源の出力変動が
検出素子の検出信号に影響を与えることのない光学測定
装置を提供するにある。
上記目的を達成するため、本発明は、第１および第２の
九蛛と、第１および第２の光検出器と、第１および第２
の光伝送路と、第１および第２の光分岐器と、検出素子
と、演粋処理部とを（ｌｉｉｉえてなる。そして、第１
Ｊ′３よび第２の光分岐器は、入側の２端子がそれぞれ
前記光源と前記光検出器とに結合し、出側の１端子が前
記光伝送路の−・喘に結合し、前記光源からの光信号を
前記光伝送路１こ）りびくと共に前記光伝送路から光信
号を前記光検出器に導びく。検出素子は、前記第１およ
び第２の光伝送路の他端に両光伝送路端面から所定の距
離だ（づ離間して結合し、両光伝送路からの出射光を反
射し、かつ被測定物理口の変化に応答して１１ｑ記所定
の距離を変化させる。さらに、演算処理部は、第１の光
源からの光信号に応答づ”る前記第１および第２の光検
出器の出力の比と前記第２の光源からの光信号に応答す
る前記第１おにび第２の光検出器の出力の比との積算結
果に基づき前記検出素子での被測定物理口を演算する。
九蛛と、第１および第２の光検出器と、第１および第２
の光伝送路と、第１および第２の光分岐器と、検出素子
と、演粋処理部とを（ｌｉｉｉえてなる。そして、第１
Ｊ′３よび第２の光分岐器は、入側の２端子がそれぞれ
前記光源と前記光検出器とに結合し、出側の１端子が前
記光伝送路の−・喘に結合し、前記光源からの光信号を
前記光伝送路１こ）りびくと共に前記光伝送路から光信
号を前記光検出器に導びく。検出素子は、前記第１およ
び第２の光伝送路の他端に両光伝送路端面から所定の距
離だ（づ離間して結合し、両光伝送路からの出射光を反
射し、かつ被測定物理口の変化に応答して１１ｑ記所定
の距離を変化させる。さらに、演算処理部は、第１の光
源からの光信号に応答づ”る前記第１および第２の光検
出器の出力の比と前記第２の光源からの光信号に応答す
る前記第１おにび第２の光検出器の出力の比との積算結
果に基づき前記検出素子での被測定物理口を演算する。
第１図はこの発明の一実施例を示す光学測定装置の構成
ブロック図を示したものである。
ブロック図を示したものである。
光伝送路１．２として、通常、光ファイバが用いられる
。光源３．４および光検出器５，６と、光伝送路１．２
との間には光源からの光信号を光伝送路に導びくととら
に光伝送路からの光信号を光検出器に導びくだめの光分
岐器が接続される。
。光源３．４および光検出器５，６と、光伝送路１．２
との間には光源からの光信号を光伝送路に導びくととら
に光伝送路からの光信号を光検出器に導びくだめの光分
岐器が接続される。
本実施例においては光分岐器どして２×１光カブラ７．
８がそれぞれ用いられている。光カブラ７の入側端子に
は光源３と光検出器５とがそれぞれ接続され、出側端子
側には光伝送路１の一端が接続されている。
８がそれぞれ用いられている。光カブラ７の入側端子に
は光源３と光検出器５とがそれぞれ接続され、出側端子
側には光伝送路１の一端が接続されている。
同様に光カブラ８の入側端子には光ｉｌｒ！４と光検出
器６とがそれぞれ接続され、出側端子側には光伝送路２
の一端が接続されている。光伝送路１゜２の他端は光検
出素子を内蔵する検出部１３にそれぞれ接続されている
。
器６とがそれぞれ接続され、出側端子側には光伝送路２
の一端が接続されている。光伝送路１゜２の他端は光検
出素子を内蔵する検出部１３にそれぞれ接続されている
。
また光源３，４はそれぞれ光源駆動回路９に接続され、
この光源駆動回路９からの制御により時分割的に駆動さ
れる。光検出器５．６はそれぞれ受信回路１０．１１に
接続され、光検出器５．６で光信号から電気信号に変換
された信号を受信するように（１”Ｓ成されている。
この光源駆動回路９からの制御により時分割的に駆動さ
れる。光検出器５．６はそれぞれ受信回路１０．１１に
接続され、光検出器５．６で光信号から電気信号に変換
された信号を受信するように（１”Ｓ成されている。
受信回路１０，１１Ｊ５Ｊ：び光源駆動回路９は演ｆ５
処１！１！部１２に接続され、後述する方法により検出
部１３における被測定物理口を演算するようφ）３作す
る。
処１！１！部１２に接続され、後述する方法により検出
部１３における被測定物理口を演算するようφ）３作す
る。
第２図は検出部１３の一例を示づ”構成図で、検出索子
１４は光伝送路１，２の端面から所定の距離だけ離間し
て設置されており、この両光伝送路１．２からの出射光
を反則する機能を有している。
１４は光伝送路１，２の端面から所定の距離だけ離間し
て設置されており、この両光伝送路１．２からの出射光
を反則する機能を有している。
光伝送路１．２は保持具１５によりその端面が検出素子
１４に対向ザるように保持され、保持具１６によって保
持された検出索子１４と所定距離を保って結合されてい
る。
１４に対向ザるように保持され、保持具１６によって保
持された検出索子１４と所定距離を保って結合されてい
る。
光伝送路１から出射された光信号の一部は検出素子１４
により反射し、再び光伝送路１に導びかれるものと、光
伝送路２に導びかれるらのとに分かれる。
により反射し、再び光伝送路１に導びかれるものと、光
伝送路２に導びかれるらのとに分かれる。
同様に光伝送路２から出射された光信号の一部は検出索
子１４により反射され、再び光伝送路２に尊びかれるも
のと光伝送路１に導びかれるものとに分かれる。
子１４により反射され、再び光伝送路２に尊びかれるも
のと光伝送路１に導びかれるものとに分かれる。
なお光伝送路１，２の端面と検出素子１４の受光面との
距離は被ｉ１１！Ｉ定物Ｌ！ｌωの′り化に応答して変
化するようになっている。たとえば検出索子１４として
ダイヤフラムを用いた場合には被ヨ１１定物理量が圧力
であると、この圧力によりダイＸ７フラム１４の位置が
変化して光伝送路１．２の出力端面との距離が変化する
。
距離は被ｉ１１！Ｉ定物Ｌ！ｌωの′り化に応答して変
化するようになっている。たとえば検出索子１４として
ダイヤフラムを用いた場合には被ヨ１１定物理量が圧力
であると、この圧力によりダイＸ７フラム１４の位置が
変化して光伝送路１．２の出力端面との距離が変化する
。
次に第１図および第２図に示した装置の動作について説
明する。ここで光学測定装置を構成づ−る各要素に伝送
特性を次にように定める。
明する。ここで光学測定装置を構成づ−る各要素に伝送
特性を次にように定める。
Ｐｌ ：光源３の光出力
Ｐ２ ：光源４の光出力
Ａ１ ：光源３からの光出力が光カブラ７を通過し、光
伝送路１へ伝送される時の結合率△２ ；光源４からの
光出力が光カブラ８を通過し、光伝送路２へ伝送される
時の結合率Ｂ１ ：光伝送路１からの光信号が光カブラ
７を通過し、光検出器５へ伝送される時の結合率 Ｂ２ ：光伝送路２からの光出力が光カブラ８を通過し
、光検出器６へ伝送される時の結合率 に１ ：光カブラ７から検出部１３へ向う光が光伝送路
１で受ける損失 Ｍｌ ：検出部１３から光カブラ７へ向う光が光伝送路
１で受（りる損失 に２：光カブラ８から検出部１３へ向う光が光伝送路２
で受ける損失 Ｍ２：検出部１３から光カブラ８へ向う光が光伝送路２
で受ける損失 Ｘ ：被１１１１１定物理但 Ｌｌｌ（×）：検出部１３において光伝送路１から出射
した光が検出索子１４で反則されて再び光伝送路１に入
用する結合率 Ｌ１２（×）：検出部１３において光伝送路１から出射
した光が検出素子１４で反射されて光伝送路２に入射す
る結合率 Ｌ２１（Ｘ）：検出部１３において光伝送路２から出射
した光が検出索子１４で反射され光伝送路１に入射する
結合率 Ｌ２２（×）：検出部１３において光伝送路２から入Ｑ
（Ｌだ光が検出索子１４で反射されて再び光伝送路２に
入ＩＪ する結合率Ｃ１：光検出器５の゛心気信号への
変換効宇Ｃ２：光検出器６の電気信号への変換効率光源
駆動回路９は光［３，４をそれぞれ交互に異なるタイミ
ングで駆動する。光源３が駆動されて発光した時の光検
出器５，６での電気出力信号をそれぞれＸ 、Ｘ とす
ると前述した伝送特性パラメータから、 Ｘ ＝Ｐ −Ａ −に１ ｘＬ （Ｘ） ・Ｍ −Ｂ −Ｃ１・・・（
１）Ｘ ＝Ｐ −Ａ −に１ ｘＬ （Ｘ＞ ・ Ｍ −Ｂ ２
・ Ｃ２・・・ く ２ ）と表わずことかできる
。また同様に光源４が駆動されて発光した時の光検出器
５．６の電気出力信号をそれぞれＸ × とすると、 ２１・ ２２ Ｘ ＝Ｐ −Ａ −に２ ＸＬ （Ｘ） ・Ｍ −Ｂ −Ｃ１・・・（
３）Ｘ ＝Ｐ −Ａ −に２ ＸＬ （Ｘ） ・Ｍ −Ｂ、、 ・Ｃ２・・
・（４）と表わづ“ことができる。演鈴処理部１２は、
上記の電気出力信号Ｘ１１．Ｘ１２．Ｘ２１．Ｘ２２を
それぞれ入力し、次に示す演算をおこなう。
伝送路１へ伝送される時の結合率△２ ；光源４からの
光出力が光カブラ８を通過し、光伝送路２へ伝送される
時の結合率Ｂ１ ：光伝送路１からの光信号が光カブラ
７を通過し、光検出器５へ伝送される時の結合率 Ｂ２ ：光伝送路２からの光出力が光カブラ８を通過し
、光検出器６へ伝送される時の結合率 に１ ：光カブラ７から検出部１３へ向う光が光伝送路
１で受ける損失 Ｍｌ ：検出部１３から光カブラ７へ向う光が光伝送路
１で受（りる損失 に２：光カブラ８から検出部１３へ向う光が光伝送路２
で受ける損失 Ｍ２：検出部１３から光カブラ８へ向う光が光伝送路２
で受ける損失 Ｘ ：被１１１１１定物理但 Ｌｌｌ（×）：検出部１３において光伝送路１から出射
した光が検出索子１４で反則されて再び光伝送路１に入
用する結合率 Ｌ１２（×）：検出部１３において光伝送路１から出射
した光が検出素子１４で反射されて光伝送路２に入射す
る結合率 Ｌ２１（Ｘ）：検出部１３において光伝送路２から出射
した光が検出索子１４で反射され光伝送路１に入射する
結合率 Ｌ２２（×）：検出部１３において光伝送路２から入Ｑ
（Ｌだ光が検出索子１４で反射されて再び光伝送路２に
入ＩＪ する結合率Ｃ１：光検出器５の゛心気信号への
変換効宇Ｃ２：光検出器６の電気信号への変換効率光源
駆動回路９は光［３，４をそれぞれ交互に異なるタイミ
ングで駆動する。光源３が駆動されて発光した時の光検
出器５，６での電気出力信号をそれぞれＸ 、Ｘ とす
ると前述した伝送特性パラメータから、 Ｘ ＝Ｐ −Ａ −に１ ｘＬ （Ｘ） ・Ｍ −Ｂ −Ｃ１・・・（
１）Ｘ ＝Ｐ −Ａ −に１ ｘＬ （Ｘ＞ ・ Ｍ −Ｂ ２
・ Ｃ２・・・ く ２ ）と表わずことかできる
。また同様に光源４が駆動されて発光した時の光検出器
５．６の電気出力信号をそれぞれＸ × とすると、 ２１・ ２２ Ｘ ＝Ｐ −Ａ −に２ ＸＬ （Ｘ） ・Ｍ −Ｂ −Ｃ１・・・（
３）Ｘ ＝Ｐ −Ａ −に２ ＸＬ （Ｘ） ・Ｍ −Ｂ、、 ・Ｃ２・・
・（４）と表わづ“ことができる。演鈴処理部１２は、
上記の電気出力信号Ｘ１１．Ｘ１２．Ｘ２１．Ｘ２２を
それぞれ入力し、次に示す演算をおこなう。
その結果、
Ｘ１２・Ｘ２１ １１２（×）・Ｌ２１（×）・・・
・・・・・・・・・・・・（６）となり、光源や伝送路
における損失はキ鬼？シセルされ、検出部１３における
被測定物理量に依存するファクタだけが残ることになる
。
・・・・・・・・・・・・（６）となり、光源や伝送路
における損失はキ鬼？シセルされ、検出部１３における
被測定物理量に依存するファクタだけが残ることになる
。
このように検出素子１４は被測定物理量の変化に応じて
光伝送路１．２の端面との間の距離を変化させ、これに
よりそれぞれの伝送路に入射する反射光の大きざを変化
させるが、この変化に依存するファクタだけが演算処理
部１２の出力として検出できる。
光伝送路１．２の端面との間の距離を変化させ、これに
よりそれぞれの伝送路に入射する反射光の大きざを変化
させるが、この変化に依存するファクタだけが演算処理
部１２の出力として検出できる。
したがって光源の光Ｒ１変動ヤ外乱により伝送路および
その接続点における損失変動等はターベて補償すること
が可能となる。
その接続点における損失変動等はターベて補償すること
が可能となる。
第３図は検出部１３の他の実施例を示した構成図で、検
出素子１４としてバイメタルを用い、温度変化による検
出素子１４と光伝送路１，２の出射端面との距離が変化
するようにした例である。
出素子１４としてバイメタルを用い、温度変化による検
出素子１４と光伝送路１，２の出射端面との距離が変化
するようにした例である。
第３図に示すような検出部を用いれば、温度変化により
検出素子１４と光伝送路１，２の出射端面との距離およ
び角度が変化するためにＬｌｌ（Ｘ）Ｌ （Ｘ）、Ｌ
２１（Ｘ）、’Ｌ２２（Ｘ）が変化し、被測定物＠量と
しての温度検出が可能どなる。
検出素子１４と光伝送路１，２の出射端面との距離およ
び角度が変化するためにＬｌｌ（Ｘ）Ｌ （Ｘ）、Ｌ
２１（Ｘ）、’Ｌ２２（Ｘ）が変化し、被測定物＠量と
しての温度検出が可能どなる。
以上実施例に基づいて詳細に説明したように、この発明
による光学測定装置を用いれば、基準パス方式で問題と
なっていた検出光と基準光どの異なるバス通過による外
乱の受は方のちがいといった問題が解消し、また２波長
検出方式で問題となっていた異なる波長の光源を使用す
ることにより光伝送路での依存性や長距離伝送等の問題
さらに受光素子の制約といった問題点が溶量される。し
たがってこの発明では同一の波長を有する光源を使用す
ることができ、しかも光源における光電変動や伝送路の
損失変す」等の影１マを受りることなく被測定物理■を
精度よく検出することができるという利点がある。
による光学測定装置を用いれば、基準パス方式で問題と
なっていた検出光と基準光どの異なるバス通過による外
乱の受は方のちがいといった問題が解消し、また２波長
検出方式で問題となっていた異なる波長の光源を使用す
ることにより光伝送路での依存性や長距離伝送等の問題
さらに受光素子の制約といった問題点が溶量される。し
たがってこの発明では同一の波長を有する光源を使用す
ることができ、しかも光源における光電変動や伝送路の
損失変す」等の影１マを受りることなく被測定物理■を
精度よく検出することができるという利点がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す４１１Ｓ成ブロック
図、第２図および第３図はこの発明に用いられる検出部
の一例をそれぞれ示した構成図である。 １．２・・・光伝送路、３．４・・・光源、５，６・・
・光検出器、７，８・・・光カブラ（光分岐器）、９・
・・光源駆動回路、１２・・・演Ｑ処理部、１３・・・
検出部、１４・・・検出素子。
図、第２図および第３図はこの発明に用いられる検出部
の一例をそれぞれ示した構成図である。 １．２・・・光伝送路、３．４・・・光源、５，６・・
・光検出器、７，８・・・光カブラ（光分岐器）、９・
・・光源駆動回路、１２・・・演Ｑ処理部、１３・・・
検出部、１４・・・検出素子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 第１の光伝送路に接続される第１の光源及び第１の光検
出器と、 第２の光伝送路に接続される第２の光源及び第２の光検
出器と、 入側の２端子がそれぞれ前記光源と前記光検出器とに結
合し、出側の１端子が前記光伝送路の一端に結合し、前
記光源からの光信号を前記光伝送路に導びくと共に前記
光伝送路から光信号を前記光検出器に導びく第１および
第２の光分岐器と、前記第１および第２の光伝送路の他
端に両光伝送路端面から所定の距離だけ離間して結合し
、両光伝送路からの出射光を反射し、かつ被測定物理量
の変化に応答して前記所定の距離を変化させる検出素子
と、 前記第１の光源からの光信号に応答する前記第１および
第２の光検出器の出力の比と前記第２の光源からの光信
号に応答する前記第１および第２の光検出器の出力の比
との積算結果に基づき前記検出素子での被測定物理量を
演算する演算処理部とを具備してなる光学測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17020084A JPS6148748A (ja) | 1984-08-15 | 1984-08-15 | 光学測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17020084A JPS6148748A (ja) | 1984-08-15 | 1984-08-15 | 光学測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6148748A true JPS6148748A (ja) | 1986-03-10 |
Family
ID=15900520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17020084A Pending JPS6148748A (ja) | 1984-08-15 | 1984-08-15 | 光学測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6148748A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS578890A (en) * | 1980-06-19 | 1982-01-18 | Omron Tateisi Electronics Co | Circulation type money input and output device |
| JPS63169537U (ja) * | 1987-04-23 | 1988-11-04 | ||
| US5657405A (en) * | 1995-04-17 | 1997-08-12 | Research Institute Of Advanced Material Gas-Generator | Optical fiber sensor for measuring pressure or displacement |
-
1984
- 1984-08-15 JP JP17020084A patent/JPS6148748A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS578890A (en) * | 1980-06-19 | 1982-01-18 | Omron Tateisi Electronics Co | Circulation type money input and output device |
| JPS63169537U (ja) * | 1987-04-23 | 1988-11-04 | ||
| US5657405A (en) * | 1995-04-17 | 1997-08-12 | Research Institute Of Advanced Material Gas-Generator | Optical fiber sensor for measuring pressure or displacement |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4356396A (en) | Fiber optical measuring device with compensating properties | |
| EP0184721B1 (en) | Pressure measuring system | |
| WO2020098577A1 (zh) | 一种平面光波导器件及温度测量系统 | |
| US6329648B1 (en) | Phase locked loop fiber optic sensor system | |
| CN112050976A (zh) | 调频连续波激光干涉压力传感器及其检测方法 | |
| JPS6148748A (ja) | 光学測定装置 | |
| US4607162A (en) | Sensing apparatus for measuring a physical quantity | |
| JPS61145403A (ja) | 光学的検出装置 | |
| JPH02118416A (ja) | 光センサー装置 | |
| JPS6134403A (ja) | 光干渉計 | |
| JPH0550710B2 (ja) | ||
| JPS6147514A (ja) | 反射型光フアイバセンサ | |
| JPH0435997Y2 (ja) | ||
| JPH03243822A (ja) | 変位測定装置 | |
| JPS59226832A (ja) | 光ｉｃセンサ | |
| JPS6148749A (ja) | 光学測定装置 | |
| JPS60146112A (ja) | 光反射型検出装置 | |
| JPS582602A (ja) | 光学式変位検出器 | |
| JPH03249502A (ja) | 光センサ | |
| JP2861208B2 (ja) | 発光装置 | |
| JP2918761B2 (ja) | 光位置検出装置 | |
| KR100568345B1 (ko) | 단일 광섬유를 이용한 스트립 속도 측정장치 | |
| JPS61259115A (ja) | 光フアイバセンサ | |
| JPH03273138A (ja) | 光学式液質測定装置 | |
| JPH04310850A (ja) | 透過測定装置 |