JPS6155167B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6155167B2 JPS6155167B2 JP53083826A JP8382678A JPS6155167B2 JP S6155167 B2 JPS6155167 B2 JP S6155167B2 JP 53083826 A JP53083826 A JP 53083826A JP 8382678 A JP8382678 A JP 8382678A JP S6155167 B2 JPS6155167 B2 JP S6155167B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- jig
- block
- grooves
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気ヘツドの製造方法に関するもの
で、磁気ヘツドのテープ当接面上に各コアチツプ
についてトラツク幅を規定する為のサイドギヤツ
プを設けるようにした磁気ヘツドを精度よく製造
しようとするものである。
で、磁気ヘツドのテープ当接面上に各コアチツプ
についてトラツク幅を規定する為のサイドギヤツ
プを設けるようにした磁気ヘツドを精度よく製造
しようとするものである。
テープ上にビデオ情報のような高周波信号を稠
密記録するための磁気ヘツドとしてそのトラツク
幅の極めて狭いもの（たとえば36μｍ）が要請さ
れるに至つている。かようにトラツク幅の狭い磁
気ヘツドを、初期の磁気ヘツドの様にテープ当接
面の全幅とトラツク幅とが等しい構成のものにし
た場合、主に耐摩耗性に基づく寿命の点で問題が
ある。そこで、この耐摩耗性を向上させる構成の
磁気ヘツドとして第１図に示した形状のものが利
用されるようになつている。これは、一方のコア
１にトラツク幅（ｔ）を規定する為のサイドギヤ
ツプ２，３を設け、該コアと他方のコア４の接合
時にこのギヤツプ内にガラスを充填するようにし
たものである。けれどもこの磁気ヘツドを使つて
隣接トラツクの１部が重なり合うような記録、再
生を行なつた場合、前記サイドギヤツプ２，３を
挾む部分において記録したテープから不要な信号
（とくに低域カラー信号）を拾つて画質を害なう
ことが認められた。これを防ぐために、第２図に
示すように対をなす各コア５，６にそれぞれトラ
ツク幅（ｔ）を規定するサイドギヤツプ７，８，
９，１０を設けるようにしたものが考案されてい
るが、これは各コアのトラツク幅を構成する面同
士を精度よく合わせることが、その幅が極めて狭
いだけに相当に難しく製造上の難点とされてい
た。以下この点について第３図を参考にして詳し
く説明する。
密記録するための磁気ヘツドとしてそのトラツク
幅の極めて狭いもの（たとえば36μｍ）が要請さ
れるに至つている。かようにトラツク幅の狭い磁
気ヘツドを、初期の磁気ヘツドの様にテープ当接
面の全幅とトラツク幅とが等しい構成のものにし
た場合、主に耐摩耗性に基づく寿命の点で問題が
ある。そこで、この耐摩耗性を向上させる構成の
磁気ヘツドとして第１図に示した形状のものが利
用されるようになつている。これは、一方のコア
１にトラツク幅（ｔ）を規定する為のサイドギヤ
ツプ２，３を設け、該コアと他方のコア４の接合
時にこのギヤツプ内にガラスを充填するようにし
たものである。けれどもこの磁気ヘツドを使つて
隣接トラツクの１部が重なり合うような記録、再
生を行なつた場合、前記サイドギヤツプ２，３を
挾む部分において記録したテープから不要な信号
（とくに低域カラー信号）を拾つて画質を害なう
ことが認められた。これを防ぐために、第２図に
示すように対をなす各コア５，６にそれぞれトラ
ツク幅（ｔ）を規定するサイドギヤツプ７，８，
９，１０を設けるようにしたものが考案されてい
るが、これは各コアのトラツク幅を構成する面同
士を精度よく合わせることが、その幅が極めて狭
いだけに相当に難しく製造上の難点とされてい
た。以下この点について第３図を参考にして詳し
く説明する。
第３図は出発材料であるフエライトウエハから
これを結合してコアブロツクを構成するまでの工
程を示したものである。第３図イ，ロに示した各
フエライトウエハ１１，１２は少なくともその２
平面１３，１４，１５，１６が鏡面研磨されてい
る。かかる各ウエハには第３図ハ，ニに示す様
に、平面１４，１６上に該平面に直交する平面
（基準面）１３，１５に対して平行でかつピツチ
（Ｐ）、溝巾（Ｐ−ｔ）の溝１７ａ，１７ｂ……，
１８ａ，１８ｂ……をそれぞれ削切する。隣接し
た各溝間の残余平面は将来作動ギヤツプ構成面を
構成する部分であり、幅（ｔ）はトラツク幅とな
る。すなわちこの溝１７ａ……，１８ａ……はト
ラツク幅を規定するためのものである。このよう
に溝加工をしたウエハの一方たとえばウエハ１１
には第３図ホに示すように前記溝１７ａ，１７ｂ
……に直交する方向にガラスのような結合材を挿
入する為の溝１９，１９，１９と、コイル巻線窓
となる溝２０，２０とをそれぞれ削切する。次い
で両ウエハ１１，１２を、それらの基準面が面一
となる様にまた各溝を形成した平面１４，１６が
対向するように、第３図ヘの如く突き合わせる。
この突き合わせ面間の距離はいわゆるギヤツプ長
を形成するものであり、したがつて所定のギヤツ
プ長を得るためには両者間にスペーサを介在させ
る必要があるが、その方法は種々公知でありその
内のいずれの方法を適用しても良い。
これを結合してコアブロツクを構成するまでの工
程を示したものである。第３図イ，ロに示した各
フエライトウエハ１１，１２は少なくともその２
平面１３，１４，１５，１６が鏡面研磨されてい
る。かかる各ウエハには第３図ハ，ニに示す様
に、平面１４，１６上に該平面に直交する平面
（基準面）１３，１５に対して平行でかつピツチ
（Ｐ）、溝巾（Ｐ−ｔ）の溝１７ａ，１７ｂ……，
１８ａ，１８ｂ……をそれぞれ削切する。隣接し
た各溝間の残余平面は将来作動ギヤツプ構成面を
構成する部分であり、幅（ｔ）はトラツク幅とな
る。すなわちこの溝１７ａ……，１８ａ……はト
ラツク幅を規定するためのものである。このよう
に溝加工をしたウエハの一方たとえばウエハ１１
には第３図ホに示すように前記溝１７ａ，１７ｂ
……に直交する方向にガラスのような結合材を挿
入する為の溝１９，１９，１９と、コイル巻線窓
となる溝２０，２０とをそれぞれ削切する。次い
で両ウエハ１１，１２を、それらの基準面が面一
となる様にまた各溝を形成した平面１４，１６が
対向するように、第３図ヘの如く突き合わせる。
この突き合わせ面間の距離はいわゆるギヤツプ長
を形成するものであり、したがつて所定のギヤツ
プ長を得るためには両者間にスペーサを介在させ
る必要があるが、その方法は種々公知でありその
内のいずれの方法を適用しても良い。
かように両ウエハを突き合わせることにより第
３図ヘに示した様なブロツク（BK）を構成でき
るわけであるが、上記各基準面１３，１４をそれ
ぞれ可及的正確に面一にすることは極めて困難で
ある。この突き合わせにおいて生ずる基準面間の
段差は各ウエハの対向する作動ギヤツプ構成面の
ずれとなつて現われ、精度の良いトラツク幅の規
定を不可能にする。
３図ヘに示した様なブロツク（BK）を構成でき
るわけであるが、上記各基準面１３，１４をそれ
ぞれ可及的正確に面一にすることは極めて困難で
ある。この突き合わせにおいて生ずる基準面間の
段差は各ウエハの対向する作動ギヤツプ構成面の
ずれとなつて現われ、精度の良いトラツク幅の規
定を不可能にする。
本発明はこの欠点を簡単に除去することができ
る方法すなわち、相互に磁化方向の相反する１組
の磁石をその側方において閉磁路を構成するよう
に貼合した永久磁石を、突き合わせた各ウエハの
基準面にあてがい、これらを永久磁石の側面に吸
着してこれらの位置精度を向上させようとするも
のであり、以下その実施例につき詳しく説明す
る。
る方法すなわち、相互に磁化方向の相反する１組
の磁石をその側方において閉磁路を構成するよう
に貼合した永久磁石を、突き合わせた各ウエハの
基準面にあてがい、これらを永久磁石の側面に吸
着してこれらの位置精度を向上させようとするも
のであり、以下その実施例につき詳しく説明す
る。
第４図はこの方法を適用する為の治具を示した
ものである。この治具２１はアルニコ磁石あるい
はBaフエライト焼結体等で構成した２枚の板状
磁石２２，２３をエポキシ系接着剤により貼合さ
せたものであるが、この貼合に当り、図示の如く
各磁石の磁化方向が治具の幅方向（Ｗ）に一致す
るように、しかもその側方に於いて閉磁路を構成
するように配慮されている。この治具２１の上記
基準面に対接する１面２４は上記貼合後に鏡面研
磨され、その研磨面の平担度は本実施例では0.1
μｍとしているが、１μｍ以内であれば許容でき
る。尚この治具の外形状は高さ(H)、幅（Ｗ）、長
さ(L)がそれぞれ５mm、３mm、40mmとされている。
とくに高さ(H)は上述の様に突き合わせたブロツク
（BK）の高さ(H)よりも後述の理由により少しく小
さくされている。
ものである。この治具２１はアルニコ磁石あるい
はBaフエライト焼結体等で構成した２枚の板状
磁石２２，２３をエポキシ系接着剤により貼合さ
せたものであるが、この貼合に当り、図示の如く
各磁石の磁化方向が治具の幅方向（Ｗ）に一致す
るように、しかもその側方に於いて閉磁路を構成
するように配慮されている。この治具２１の上記
基準面に対接する１面２４は上記貼合後に鏡面研
磨され、その研磨面の平担度は本実施例では0.1
μｍとしているが、１μｍ以内であれば許容でき
る。尚この治具の外形状は高さ(H)、幅（Ｗ）、長
さ(L)がそれぞれ５mm、３mm、40mmとされている。
とくに高さ(H)は上述の様に突き合わせたブロツク
（BK）の高さ(H)よりも後述の理由により少しく小
さくされている。
ブロツク（BK）を構成する各ウエハ１１，１
２の基準面を面一とするために、この治具２１は
第５図に示す様にブロツクの基準面にあてがわれ
る。このときウエハ１１の溝１９，１９，１９内
には接合材であるガラス棒が既に挿入されてい
る。この当接により、治具２１にはその側方に強
力な閉磁路が形成されているために、各ウエハ１
１，１２はそれぞれ該治具の１面２４に吸着され
このウエハの各基準面は前記１面２４の表面精度
で一致するようにされる。このように治具２１に
よりブロツク（BK）を吸着した状態で、ブロツ
ク（BK）を図示矢印Ｆ，Ｆ方向に加圧する。次
いで治具２１をブロツク（BK）から取り外し、
ブロツクを550℃位に加温する。この加温に当り
治具を取り外す理由は加温により永久磁石が消磁
されたり、磁石の接合面の炭化を防ぐためであ
る。このようにブロツクの加圧後に治具をブロツ
クから外さなければならないため、この除去を容
易に行なうことができるように治具の高さ(H)がブ
ロツク(H)′の高さよりも低くされている。
２の基準面を面一とするために、この治具２１は
第５図に示す様にブロツクの基準面にあてがわれ
る。このときウエハ１１の溝１９，１９，１９内
には接合材であるガラス棒が既に挿入されてい
る。この当接により、治具２１にはその側方に強
力な閉磁路が形成されているために、各ウエハ１
１，１２はそれぞれ該治具の１面２４に吸着され
このウエハの各基準面は前記１面２４の表面精度
で一致するようにされる。このように治具２１に
よりブロツク（BK）を吸着した状態で、ブロツ
ク（BK）を図示矢印Ｆ，Ｆ方向に加圧する。次
いで治具２１をブロツク（BK）から取り外し、
ブロツクを550℃位に加温する。この加温に当り
治具を取り外す理由は加温により永久磁石が消磁
されたり、磁石の接合面の炭化を防ぐためであ
る。このようにブロツクの加圧後に治具をブロツ
クから外さなければならないため、この除去を容
易に行なうことができるように治具の高さ(H)がブ
ロツク(H)′の高さよりも低くされている。
上記加圧、加温によりブロツク内のガラスは溶
融して両ウエハ間に流入せしめられ、かつサイド
ギヤツプを構成する溝１７ａ……，１８ａ……内
に充填させられる。次いで降温してガラスを固化
して両ウエハを一体化し、ブロツク分断、Ｒ付け
加工、スライシング加工等所要の加工を行ない第
２図の如きチツプを製出することができる。この
工程については詳細な説明を省略する。尚ブロツ
クを吸着するためには実施例の様に側方において
閉磁路を形成する永久磁石を用いる代りに単極の
磁石を当てがうようにしても良いわけであるが、
それでは各ウエハの突き合せ面が同極とさせられ
それらが互に反発する傾向を示すので利用できな
い。
融して両ウエハ間に流入せしめられ、かつサイド
ギヤツプを構成する溝１７ａ……，１８ａ……内
に充填させられる。次いで降温してガラスを固化
して両ウエハを一体化し、ブロツク分断、Ｒ付け
加工、スライシング加工等所要の加工を行ない第
２図の如きチツプを製出することができる。この
工程については詳細な説明を省略する。尚ブロツ
クを吸着するためには実施例の様に側方において
閉磁路を形成する永久磁石を用いる代りに単極の
磁石を当てがうようにしても良いわけであるが、
それでは各ウエハの突き合せ面が同極とさせられ
それらが互に反発する傾向を示すので利用できな
い。
このように本発明は、側方において閉磁路を構
成するようにした永久磁石を２枚のウエハの基準
面にあてがい、この永久磁石に該ウエハを吸着さ
せるようにして各基準面を面一とするようにした
ので、各ウエハの位置精度はウエハの基準面と治
具の衝合面の各表面精度に略一致させることがで
き、各ウエハの作動ギヤツプ構成面のずれを最小
限にとどめることができる。特に永久磁石の位置
は固定されておらず、自由位置を取れる状態で使
用するので、一対のウエハの端面が互いに多少ず
れていても、その端面に対し好適な態様で当接し
うる。
成するようにした永久磁石を２枚のウエハの基準
面にあてがい、この永久磁石に該ウエハを吸着さ
せるようにして各基準面を面一とするようにした
ので、各ウエハの位置精度はウエハの基準面と治
具の衝合面の各表面精度に略一致させることがで
き、各ウエハの作動ギヤツプ構成面のずれを最小
限にとどめることができる。特に永久磁石の位置
は固定されておらず、自由位置を取れる状態で使
用するので、一対のウエハの端面が互いに多少ず
れていても、その端面に対し好適な態様で当接し
うる。
第１図及び第２図はそれぞれ磁気ヘツドチツプ
の斜視図、第３図イ〜ヘは第２図のチツプを得る
ためのブロツクを製造する工程を示したものであ
る。第４図は本発明方法を適用する為の治具の斜
視図を示し、第５図はこの治具をブロツクに当接
した状態の斜視図である。 １１，１２……第１、第２ウエハ、１３，１４
……基準面、２１……１組の磁石２２，２３で構
成した治具。
の斜視図、第３図イ〜ヘは第２図のチツプを得る
ためのブロツクを製造する工程を示したものであ
る。第４図は本発明方法を適用する為の治具の斜
視図を示し、第５図はこの治具をブロツクに当接
した状態の斜視図である。 １１，１２……第１、第２ウエハ、１３，１４
……基準面、２１……１組の磁石２２，２３で構
成した治具。
Claims (1)
- １ １平面上に該平面に直交する基準面に対して
平行でかつピツチ（Ｐ）、溝巾（Ｐ−ｔ）の溝を
それぞれ設けた第１、第２ウエハを、前記各基準
面を面一とするようにまた前記各溝が実質的に対
面するように衝合せしめるに当り、相互に磁化方
向の相反する１組の磁石をその側方において閉磁
路を構成するように貼合した永久磁石を任意の自
由位置を取れる状態で前記各ウエハの基準面に当
接することによつて前記各ウエハの位置精度を割
出すようにした磁気ヘツドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8382678A JPS5512525A (en) | 1978-07-07 | 1978-07-07 | Manufacture for magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8382678A JPS5512525A (en) | 1978-07-07 | 1978-07-07 | Manufacture for magnetic head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5512525A JPS5512525A (en) | 1980-01-29 |
| JPS6155167B2 true JPS6155167B2 (ja) | 1986-11-26 |
Family
ID=13813484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8382678A Granted JPS5512525A (en) | 1978-07-07 | 1978-07-07 | Manufacture for magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5512525A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5626219A (en) * | 1979-08-11 | 1981-03-13 | Nippon Denso Co Ltd | Karman vortex flowmeter |
| JPH0413914U (ja) * | 1990-05-28 | 1992-02-04 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5545542Y2 (ja) * | 1975-09-18 | 1980-10-25 |
-
1978
- 1978-07-07 JP JP8382678A patent/JPS5512525A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5512525A (en) | 1980-01-29 |
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