JPS6155335U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6155335U JPS6155335U JP14076584U JP14076584U JPS6155335U JP S6155335 U JPS6155335 U JP S6155335U JP 14076584 U JP14076584 U JP 14076584U JP 14076584 U JP14076584 U JP 14076584U JP S6155335 U JPS6155335 U JP S6155335U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- semiconductor substrates
- treatment boat
- position detection
- handle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は、本考案の実施例を示す一部断面平面
図、第２図は、第１図の要部の斜視図、第３図は
、本考案の使用状態を示す図である。 １…ウエハ溝、２…半導体基板用熱処理ボート
、３，４…端部、５…搬送用取手、７，８…位置
検出用反射板。
図、第２図は、第１図の要部の斜視図、第３図は
、本考案の使用状態を示す図である。 １…ウエハ溝、２…半導体基板用熱処理ボート
、３，４…端部、５…搬送用取手、７，８…位置
検出用反射板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 半導体基板用熱処理ボートの両端に搬送用取
手を設け、該取手の側部に位置検出用反射板を設
けたことを特徴とする半導体基板用熱処理ボート
。 (2) 位置検出用反射板が、搬送用取手の両側部
に設けられていることを特徴とする実用新案登録
請求の範囲第１項記載の半導体基板用熱処理ボー
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14076584U JPH0636575Y2 (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14076584U JPH0636575Y2 (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | 熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6155335U true JPS6155335U (ja) | 1986-04-14 |
| JPH0636575Y2 JPH0636575Y2 (ja) | 1994-09-21 |
Family
ID=30699114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14076584U Expired - Lifetime JPH0636575Y2 (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636575Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01230246A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-09-13 | Tel Sagami Ltd | 半導体ウェハの移し換え方法及び半導体ウェハの移し換え装置並びに半導体ウェハの熱処理ボート |
| JPH03159233A (ja) * | 1989-11-17 | 1991-07-09 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理炉装置 |
-
1984
- 1984-09-17 JP JP14076584U patent/JPH0636575Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01230246A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-09-13 | Tel Sagami Ltd | 半導体ウェハの移し換え方法及び半導体ウェハの移し換え装置並びに半導体ウェハの熱処理ボート |
| JPH03159233A (ja) * | 1989-11-17 | 1991-07-09 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理炉装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0636575Y2 (ja) | 1994-09-21 |