JPS6155339U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案の一実施例を示し
第１図は平面図、第２図は側面図、第３図ないし
第５図はウエハが位置決めピンに接触して移動が
停止され次いで回転して位置決めをするときの異
なる状態の説明図である。 １３…ベルト、１４…半導体基板、１５ないし
１７…位置決めピン、１８…テーブル、２２…セ
ンサ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエハを搬送するベルトと、上昇すること
   により前記ベルト上にあるウエハを前記ベルトか
   ら離脱して回転させるテーブルと、先端が前記ベ
   ルトの上面より上方へ突出すべく設けられると共
   に同テーブル上に同心的に位置するウエハの前記
   ベルトによる搬入側に対し逆側の外周に治う位置
   に設けられた少くとも２本の位置決めピンと、前
   記ベルトの上面に対し上下方向へ出入可能に設け
   られると共に前記ウエハの前記搬入側の外周に沿
   う位置に設けられた少なくとも１本の位置決めピ
   ンと、前記ウエハが前記テーブルにより回転され
   て一定位置にきたことを検出して前記テーブルの
   回転を停止させるセンサとからなる半導体基板の
   位置決め装置。 (2) ３本の位置決めピンを正３角形頂点の位置
   に設けると共に前記３角形の中心とテーブルの中
   心とを一致させた実用新案登録請求の範囲第１項
   記載の半導体基板の位置決め装置。