JPS6161333A - 薄膜の形成方法 - Google Patents
薄膜の形成方法Info
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- JPS6161333A JPS6161333A JP18303284A JP18303284A JPS6161333A JP S6161333 A JPS6161333 A JP S6161333A JP 18303284 A JP18303284 A JP 18303284A JP 18303284 A JP18303284 A JP 18303284A JP S6161333 A JPS6161333 A JP S6161333A
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- photosensitive adhesive
- adhesive layer
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上二肌里立！
本発明は陰極線管の製造に使用されるバルブフェース部
等の基板上に螢光膜を形成するために基板上に感光成粘
着剤の薄膜を形成する方法に関するものである。
等の基板上に螢光膜を形成するために基板上に感光成粘
着剤の薄膜を形成する方法に関するものである。
並来夏肢血
陰極？＋ｊＡ管のバルブフェース部上に螢光膜を形成す
る゛方法の一例として、ドライプロセス法が提案されて
いる。このドライプロセス法による螢光膜形成方法を第
３図から具体的に説明、すると、まず第３図（ａ）に示
すように露光により粘着性を発現する感光成粘着剤を基
板（２）上に塗布して感光性粘着Ｎ（１）を形成する工
程、第３図（ｂ）に示すように感光性粘着層（１）をマ
スク等を利用して所定のパターンに窓明けして選択的に
露光することにより空気中の水分を吸収させて露光した
部分に粘着性を発現させる部分（ｌ゛）を形成する工程
、第３図（ｃ）に示すように感光性粘着層（１）上に螢
光体粉末を吹付けることにより粘着性を発現した部分の
みに上記螢光体粉末（３）を被着させ、余分な螢光体粉
末を吹き飛ばして除去する工程、上記螢光体粉末を定着
する工程を順次経て前記基板（２）−ヒに螢光膜を形成
する。
る゛方法の一例として、ドライプロセス法が提案されて
いる。このドライプロセス法による螢光膜形成方法を第
３図から具体的に説明、すると、まず第３図（ａ）に示
すように露光により粘着性を発現する感光成粘着剤を基
板（２）上に塗布して感光性粘着Ｎ（１）を形成する工
程、第３図（ｂ）に示すように感光性粘着層（１）をマ
スク等を利用して所定のパターンに窓明けして選択的に
露光することにより空気中の水分を吸収させて露光した
部分に粘着性を発現させる部分（ｌ゛）を形成する工程
、第３図（ｃ）に示すように感光性粘着層（１）上に螢
光体粉末を吹付けることにより粘着性を発現した部分の
みに上記螢光体粉末（３）を被着させ、余分な螢光体粉
末を吹き飛ばして除去する工程、上記螢光体粉末を定着
する工程を順次経て前記基板（２）−ヒに螢光膜を形成
する。
上記感光性粘着層（１）を基板（２）上に形成する工程
は、従来以下に示すような要領にて行われている。
は、従来以下に示すような要領にて行われている。
即ち、ジアゾニウム塩、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール
）や水等を網台することにより感光成粘着剤を組成し、
該感光成粘着剤を基板（２）上に所定量供給する。上記
感光成粘着剤（１′）が供給された基ｉ （２）を、例
えば第４図に示すように回転自在に支承した吸着パッド
（４）上に真空吸着した状態で回転させ、基板（２）上
に供給された感光成粘着剤（１゛）を回転遠心力により
基板外周部に拡げて感光性粘着Ｎ（１）の厚みを均一に
する。尚、上記基板（２）の回転に伴い、基板（２）上
から飛散する感光成粘着剤（１゛）は、基板（２）及び
吸着パッド（４）を四項する枠体（５）によって回収さ
れる。その後上記基板（２）を吸着パッド（４）から取
り外し、加熱炉等の加熱手段に搬送して基板（２）を加
熱し、基板（２）上の感光成粘着剤（１゛）を乾燥させ
て最終的に感光性粘着層（１）を基板（２）上に形成し
ている。
）や水等を網台することにより感光成粘着剤を組成し、
該感光成粘着剤を基板（２）上に所定量供給する。上記
感光成粘着剤（１′）が供給された基ｉ （２）を、例
えば第４図に示すように回転自在に支承した吸着パッド
（４）上に真空吸着した状態で回転させ、基板（２）上
に供給された感光成粘着剤（１゛）を回転遠心力により
基板外周部に拡げて感光性粘着Ｎ（１）の厚みを均一に
する。尚、上記基板（２）の回転に伴い、基板（２）上
から飛散する感光成粘着剤（１゛）は、基板（２）及び
吸着パッド（４）を四項する枠体（５）によって回収さ
れる。その後上記基板（２）を吸着パッド（４）から取
り外し、加熱炉等の加熱手段に搬送して基板（２）を加
熱し、基板（２）上の感光成粘着剤（１゛）を乾燥させ
て最終的に感光性粘着層（１）を基板（２）上に形成し
ている。
１皿か阻汲り一よｊｍ点
上記従来方法では感光性粘着Ｍ（１）を基板（２）上に
形成する工程において、基板（２）を回転させて該基板
（２）上の感光成粘着剤（１゛）を外周部に拡げた後、
基板（２）を加熱して感光成粘着剤（１゛）を乾燥させ
て感光性粘着層（１）を形成している。なお、基板とし
ては平板状の基板以外にも第５図に示すような枠状の基
板（２°）についても通用され、また第６図及び第７図
に示すような略矩形状の基板（２”）（以下バルブフェ
ースと称す）の内面（２ａ”）に感光性粘着層（１）に
も通用される。 ・ところで、第６図バルブ内面に、
平板状基板と同様にして感光性粘着層を形成するために
バルブをその軸を中心に回転させると、バルブフェース
部（２”）のコーナ一部（２ｂ’） （２ｂ″）・−
にまで達する感光成粘着剤（ｌ”）の量が少なく、この
状態でバルブフェース部（２”）を加熱して感光成粘着
剤（１”）を乾燥させると上記コーナ一部（２ｂ”）（
２ｂ”）−・に形成される感光性粘着Ｍ（１）が薄くな
る。このコーナ一部（２ｂ’） （２ｂ″）での感光
成粘着剤（１）が薄くなると、乾燥時でのコーナ一部（
２ｂ″）（２ｂ”）の収縮量が大きいために変形が生じ
易い。またこのコーナ一部（２ｂ”） （２ｂ’）−
・・の感光性粘着Ｎ（１）は均等に薄く形成されず針穴
状のピンホールが形成される場合もあり、その結果上記
感光性粘着層（１）をバルブフェース部（２”）の内面
（２ａ ” ）に形成した後、感光性粘１ｌｉＪｉｆ（
１）上に螢光膜（３）を形成しても該螢光膜（３）の膜
厚が不均一になったり或いは上記ピンホールにより螢光
膜（３）が形成されない箇所が発生したりして、バルブ
使用時に輝度むらや輝点不良が生じる。またカラー用陰
極線管の場合、赤、緑、青等の異なる発光色に対応して
ストライプ状に異なる螢光膜を形成するが、上述したよ
うにバルブフェース部（２”）のコーナ一部（２ｂ”）
（２ｂ”）・−・における感光性粘着ｒｒＩ（１）の厚
みが薄いと、その部分での露光感度が大きくなってその
後に形成される螢光膜のストライプ幅が局部的に大きく
なるという問題点があった。この問題点を解決するため
に第７図鎖線で示すバルブフェース部（２”）の最大有
効画面（ａ）を画面サイズより若干小さく設定し、この
画面領域（ｂ）の感光性粘着層（１）を露光し、画面領
域（ｂ）にのみ螢光膜（３）を形成する。この場合通常
螢光Ｍ （３）上にメタルバックＮ（図示せず）を積層
形成するが、螢光膜（３）が形成されていない外周縁部
、即ち無効画面領域にはバルブフェース部（２”）の内
面（２ａ”）に直接的にメタルバック層が被着形成され
るため、バルブ使用時に画面が見すらいと共に小インナ
径のバルブフェース部の場合、極端に有効画面が小さく
なるため、商品価値が大幅に低下するという問題点が依
然として残る。
形成する工程において、基板（２）を回転させて該基板
（２）上の感光成粘着剤（１゛）を外周部に拡げた後、
基板（２）を加熱して感光成粘着剤（１゛）を乾燥させ
て感光性粘着層（１）を形成している。なお、基板とし
ては平板状の基板以外にも第５図に示すような枠状の基
板（２°）についても通用され、また第６図及び第７図
に示すような略矩形状の基板（２”）（以下バルブフェ
ースと称す）の内面（２ａ”）に感光性粘着層（１）に
も通用される。 ・ところで、第６図バルブ内面に、
平板状基板と同様にして感光性粘着層を形成するために
バルブをその軸を中心に回転させると、バルブフェース
部（２”）のコーナ一部（２ｂ’） （２ｂ″）・−
にまで達する感光成粘着剤（ｌ”）の量が少なく、この
状態でバルブフェース部（２”）を加熱して感光成粘着
剤（１”）を乾燥させると上記コーナ一部（２ｂ”）（
２ｂ”）−・に形成される感光性粘着Ｍ（１）が薄くな
る。このコーナ一部（２ｂ’） （２ｂ″）での感光
成粘着剤（１）が薄くなると、乾燥時でのコーナ一部（
２ｂ″）（２ｂ”）の収縮量が大きいために変形が生じ
易い。またこのコーナ一部（２ｂ”） （２ｂ’）−
・・の感光性粘着Ｎ（１）は均等に薄く形成されず針穴
状のピンホールが形成される場合もあり、その結果上記
感光性粘着層（１）をバルブフェース部（２”）の内面
（２ａ ” ）に形成した後、感光性粘１ｌｉＪｉｆ（
１）上に螢光膜（３）を形成しても該螢光膜（３）の膜
厚が不均一になったり或いは上記ピンホールにより螢光
膜（３）が形成されない箇所が発生したりして、バルブ
使用時に輝度むらや輝点不良が生じる。またカラー用陰
極線管の場合、赤、緑、青等の異なる発光色に対応して
ストライプ状に異なる螢光膜を形成するが、上述したよ
うにバルブフェース部（２”）のコーナ一部（２ｂ”）
（２ｂ”）・−・における感光性粘着ｒｒＩ（１）の厚
みが薄いと、その部分での露光感度が大きくなってその
後に形成される螢光膜のストライプ幅が局部的に大きく
なるという問題点があった。この問題点を解決するため
に第７図鎖線で示すバルブフェース部（２”）の最大有
効画面（ａ）を画面サイズより若干小さく設定し、この
画面領域（ｂ）の感光性粘着層（１）を露光し、画面領
域（ｂ）にのみ螢光膜（３）を形成する。この場合通常
螢光Ｍ （３）上にメタルバックＮ（図示せず）を積層
形成するが、螢光膜（３）が形成されていない外周縁部
、即ち無効画面領域にはバルブフェース部（２”）の内
面（２ａ”）に直接的にメタルバック層が被着形成され
るため、バルブ使用時に画面が見すらいと共に小インナ
径のバルブフェース部の場合、極端に有効画面が小さく
なるため、商品価値が大幅に低下するという問題点が依
然として残る。
口２占）１ ゛ るための−２
本発明は感光性粘着層を基板上に均一の厚みで形成する
ようになしたもので、基板上に感光成粘着剤を供給し基
板を回転させることにより感光性粘ＩＪのＶ＃膜を形成
するに当り、上記基板を加熱するようにしたことを特徴
とする。
ようになしたもので、基板上に感光成粘着剤を供給し基
板を回転させることにより感光性粘ＩＪのＶ＃膜を形成
するに当り、上記基板を加熱するようにしたことを特徴
とする。
１土■
以下に本発明に係る螢光膜形成方法の一実施例を第１図
及び第２図を参照しながら説明する、第４図と同一符号
は同一物を示し説明を省略する。本発明の特徴は感光性
粘着層（１）を基板（２）上に形成する工程にある。第
１図は本発明における感光性粘着層形成工程で使用する
装置の一例を示し、同図に示すように基板（２）を真空
吸着する回転自在の吸着バッド（７）は、上記基板（２
）が載置されるヒータプレート部（７ａ）と、該ヒータ
プレート部（７ａ）の下部に一体化した吸着ノズル部（
７ｂ）とから構成されている。上記ヒータプレート部（
７ａ）には複数のヒータ棒（８）（８）・・・−・等の
加熱手段を埋設し、該ヒータ棒（８）（８）・−・−・
は上記吸着パッド（７）の外部に設けられた電源（図示
せず）に適宜の手段により電気的に接続されている。
及び第２図を参照しながら説明する、第４図と同一符号
は同一物を示し説明を省略する。本発明の特徴は感光性
粘着層（１）を基板（２）上に形成する工程にある。第
１図は本発明における感光性粘着層形成工程で使用する
装置の一例を示し、同図に示すように基板（２）を真空
吸着する回転自在の吸着バッド（７）は、上記基板（２
）が載置されるヒータプレート部（７ａ）と、該ヒータ
プレート部（７ａ）の下部に一体化した吸着ノズル部（
７ｂ）とから構成されている。上記ヒータプレート部（
７ａ）には複数のヒータ棒（８）（８）・・・−・等の
加熱手段を埋設し、該ヒータ棒（８）（８）・−・−・
は上記吸着パッド（７）の外部に設けられた電源（図示
せず）に適宜の手段により電気的に接続されている。
またヒータプレート部（７ａ）には上面から下面に貫通
し、吸着ノズル部（７ｂ）と連通ずる吸着孔（９）（９
）−・が穿没されている。（１０）は上記吸着バッド（
７）を囲繞するように配置した枠体である。
し、吸着ノズル部（７ｂ）と連通ずる吸着孔（９）（９
）−・が穿没されている。（１０）は上記吸着バッド（
７）を囲繞するように配置した枠体である。
本発明に係る螢光膜形成方法において、感光性粘着層（
１）を基板（２）上に形成するに際しては、まず第１図
に示すように基板（２）を吸着パッド（７）のヒータプ
レート部（７ａ）上に載置し、各吸着孔（９）（９）・
−・より真空引きすることによって上記基板（２）を吸
着保持する。この状態で基板（２）上に感光成粘着剤（
１゛）を供給し、感光成粘着剤（１”）を回転遠心力に
より基板（２）上の回転中心から外周部に拡げると共に
基板下面より加熱し乾燥させて感光性粘着層（１）を基
板（２）上に形成する。上記基板（２）は下面からヒー
タプレート部（７ａ）により加熱されるため、熱伝導に
より第２図に示すような温度特性でもって加熱され所定
の時間経過後に上記設定条件の５０〜８０℃の温度に達
する。所定の時間が経過するまではすでに基板（２）を
回転させているので、温度が低い状態では低粘性でもっ
て感光成粘着剤（１°）が比較的ゆるやかに拡がってい
き、所望の厚さの均一な層となった時、基板温度が上昇
するために感光成粘着剤（１°）に含有する水分が急激
に蒸発し感光成粘着剤（１′）が均一な層となりたまま
固定され乾燥し、良好な感光性粘ｆＮ（１）ができ上が
る。このように基板（２）を回転させると共に加熱して
感光成粘着剤（１゛）を拡げると共に乾燥させることに
より基板（２）上に均一な厚みを有する感光性粘着層（
１）を形成する。
１）を基板（２）上に形成するに際しては、まず第１図
に示すように基板（２）を吸着パッド（７）のヒータプ
レート部（７ａ）上に載置し、各吸着孔（９）（９）・
−・より真空引きすることによって上記基板（２）を吸
着保持する。この状態で基板（２）上に感光成粘着剤（
１゛）を供給し、感光成粘着剤（１”）を回転遠心力に
より基板（２）上の回転中心から外周部に拡げると共に
基板下面より加熱し乾燥させて感光性粘着層（１）を基
板（２）上に形成する。上記基板（２）は下面からヒー
タプレート部（７ａ）により加熱されるため、熱伝導に
より第２図に示すような温度特性でもって加熱され所定
の時間経過後に上記設定条件の５０〜８０℃の温度に達
する。所定の時間が経過するまではすでに基板（２）を
回転させているので、温度が低い状態では低粘性でもっ
て感光成粘着剤（１°）が比較的ゆるやかに拡がってい
き、所望の厚さの均一な層となった時、基板温度が上昇
するために感光成粘着剤（１°）に含有する水分が急激
に蒸発し感光成粘着剤（１′）が均一な層となりたまま
固定され乾燥し、良好な感光性粘ｆＮ（１）ができ上が
る。このように基板（２）を回転させると共に加熱して
感光成粘着剤（１゛）を拡げると共に乾燥させることに
より基板（２）上に均一な厚みを有する感光性粘着層（
１）を形成する。
上述のようにして基板（２）上に感光性粘着層（１）を
形成した後は、従来要領にて、感光成粘着剤層（１）を
所定のパターンに窓明けして露光することによりその露
光した部分に粘着性を発現させる工程、感光性粘着Ｎ（
１）上に螢光体粉末を吹付けて被着させ、余分な螢光体
粉末を吹き飛ばして除去する工程、上記螢光体粉末を定
着及び焼付けする工程を順次径て最終的に基板（２）上
に螢光膜を形成する。
形成した後は、従来要領にて、感光成粘着剤層（１）を
所定のパターンに窓明けして露光することによりその露
光した部分に粘着性を発現させる工程、感光性粘着Ｎ（
１）上に螢光体粉末を吹付けて被着させ、余分な螢光体
粉末を吹き飛ばして除去する工程、上記螢光体粉末を定
着及び焼付けする工程を順次径て最終的に基板（２）上
に螢光膜を形成する。
尚、上記実施例では平板状の基板（２）について説明し
たが、本発明はこれに限定されることなく、第５図及び
築６図に示す枠状の基板（２°）やバルブ状の基板（２
”）（バルブフェース部）についても適用可能であるの
は勿論である。
たが、本発明はこれに限定されることなく、第５図及び
築６図に示す枠状の基板（２°）やバルブ状の基板（２
”）（バルブフェース部）についても適用可能であるの
は勿論である。
また説明を単純化する為、感光成粘着剤を基板上部に供
給し、基板上部に感光性粘着層を形成する方法について
のみ述べたが、感光成粘着剤を基板下部より吹きつける
、あるいは上面より供給し基板を回転しつつ上下反転す
る等の手段により基板下部にて感光性粘着層を形成する
方法も可能である。
給し、基板上部に感光性粘着層を形成する方法について
のみ述べたが、感光成粘着剤を基板下部より吹きつける
、あるいは上面より供給し基板を回転しつつ上下反転す
る等の手段により基板下部にて感光性粘着層を形成する
方法も可能である。
発１Ω班玉
本発明によれば、感光性粘着層を基板上に形成するに際
し、基板上に感光成粘着剤を供給した上で基板を回転さ
せると共に基板を加熱して感光成粘着剤を拡げると共に
乾燥させるようにしたことにより、感光性粘着層を均一
な厚さに形成することができる。特に枠状で矩形状の基
板であるバルブフェース部に感光性粘着層を形成する必
要のある陰極線管の製造の場合、バルブフェース部のコ
ーナ一部外周縁部付近まで感光性粘着層の厚みが均一と
することができ、良好な螢光膜を形成することが容易と
なって上記陰極線管の使用時に輝度むらや輝度不良等が
生じないと共に従来と比較して大きな有効画面を設定す
ることができるので画面の見易い陰極線管を提供するこ
とが可能となって商品価値も大幅に向上する。
し、基板上に感光成粘着剤を供給した上で基板を回転さ
せると共に基板を加熱して感光成粘着剤を拡げると共に
乾燥させるようにしたことにより、感光性粘着層を均一
な厚さに形成することができる。特に枠状で矩形状の基
板であるバルブフェース部に感光性粘着層を形成する必
要のある陰極線管の製造の場合、バルブフェース部のコ
ーナ一部外周縁部付近まで感光性粘着層の厚みが均一と
することができ、良好な螢光膜を形成することが容易と
なって上記陰極線管の使用時に輝度むらや輝度不良等が
生じないと共に従来と比較して大きな有効画面を設定す
ることができるので画面の見易い陰極線管を提供するこ
とが可能となって商品価値も大幅に向上する。
第１図は本発明に係る螢光膜形成方法の一実施例におけ
る感光性粘着層形成工程で使用する吸着パッドの一例を
示す断面図、第２図は本発明における基板上での温度特
性図である。第３図＜ａ＞乃至第３図（ｃ）は一般的な
螢光膜形成方法の各工程を説明するための断面図、第４
図は従来における感光性粘着層形成工程で使用する吸着
バンドの一例を示す断面図、第５図は棒状の基板を示す
断面図、第６図はパルプ状の基板（バルブフェース部）
を示す部分断面図、第７図はパルプ状の基板（バルブフ
ェース部）を前方から見た平面図である。 （１）・−・感光性粘着層、（１°）・・・−・感光成
粘着剤、（２）・−・基板。
る感光性粘着層形成工程で使用する吸着パッドの一例を
示す断面図、第２図は本発明における基板上での温度特
性図である。第３図＜ａ＞乃至第３図（ｃ）は一般的な
螢光膜形成方法の各工程を説明するための断面図、第４
図は従来における感光性粘着層形成工程で使用する吸着
バンドの一例を示す断面図、第５図は棒状の基板を示す
断面図、第６図はパルプ状の基板（バルブフェース部）
を示す部分断面図、第７図はパルプ状の基板（バルブフ
ェース部）を前方から見た平面図である。 （１）・−・感光性粘着層、（１°）・・・−・感光成
粘着剤、（２）・−・基板。
Claims (1)
- （１）基板上に感光性粘着剤を供給し基板を回転させる
ことにより感光成粘着剤の薄膜を形成するに当り、上記
基板を加熱することを特徴とする薄膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18303284A JPS6161333A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 薄膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18303284A JPS6161333A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 薄膜の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6161333A true JPS6161333A (ja) | 1986-03-29 |
Family
ID=16128542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18303284A Pending JPS6161333A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 薄膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6161333A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8037618B2 (en) * | 2006-09-20 | 2011-10-18 | Econ Maschinenbau Und Steuerungstechnik Gmbh | Device for draining and drying solids, in particular plastics granulated under water |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP18303284A patent/JPS6161333A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8037618B2 (en) * | 2006-09-20 | 2011-10-18 | Econ Maschinenbau Und Steuerungstechnik Gmbh | Device for draining and drying solids, in particular plastics granulated under water |
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