JPS6166350U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のマスクリペア装置用化合物吹
付け装置の全体装置を示す図である。第２図はイ
オンビーム、マスクおよび化合物蒸気吹付け装置
の位置関係を示す図、第３図は参考例としてのヒ
ーター線の巻き方を示す図である。第４図ａ，ｂ
，ｃ，ｄは本考案のマスクリペア装置用化合物吹
付け装置の実施例を示す図である。第５図は従来
のマスクリペア装置用化合物蒸気吹付け装置であ
る。 ６……化合物、７……容器、８……化合物蒸気
案内孔、９……プランジヤー、１０……ロツド、
１１……ヒータ、１２……ノズル、１５……保持
体。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) マスクおよびレチクルの白点欠陥位置にイ
   オンビーム照射および化合物蒸気吹付けによつて
   炭化膜等のパターン膜を形成されるマスクリペア
   装置に用いられる化合物蒸気吹付け装置において
   、化合物を収納するための簡状をなす容器と、前
   記容器内に設けられた化合物収納孔および化合物
   蒸気案内孔と、前記容器内に形成されると共に前
   記化合物蒸気案内孔に連結された細管状のノズル
   と、前記化合物収納孔と前記ノズルとの連絡を開
   状態または閉状態とするためのバルブ体と、前記
   容器を保持するための保持体と、前記バルブ体を
   作動させるために前記保持体に設けられた駆動体
   と、前記容器の外周に設けられた外部磁場無発生
   型ヒーターからなることを特徴とするマスクリペ
   ア装置用化合物蒸気吹付け装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項記載のマス
   クリペア装置用化合物蒸気吹付け装置において、
   前記外部磁界無発生型ヒータは無誘導巻のヒータ
   線であることを特徴とするマスクリペア装置用化
   合物蒸気吹付け装置。 (3) 実用新案登録請求の範囲第１項記載のマス
   クリペア装置用化合物蒸気吹付け装置において、
   前記外部磁界無発生型ヒータはヒータ線とその外
   周に装着された磁気遮蔽体よりなることを特徴と
   するマスクリペア装置用化合物蒸気吹付け装置。