JPS6170928U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6170928U JPS6170928U JP15677284U JP15677284U JPS6170928U JP S6170928 U JPS6170928 U JP S6170928U JP 15677284 U JP15677284 U JP 15677284U JP 15677284 U JP15677284 U JP 15677284U JP S6170928 U JPS6170928 U JP S6170928U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- heater
- room
- heating
- held
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
Description
第１図乃至第３図は本考案の半導体製造装置の
一実施例を示す各動作時での側断面図、第４図は
第２図の一部拡大断面図、第５図は本考案の他の
一実施例を示す部分側断面図である。第６図は従
来のプラズマＣＶＤ装置の側断面図、第７図は第
６図のＡ−Ａ線からの平面図、第８図及び第９図
は第６図の装置の動作時での側断面図及び一部拡
大断面図、第１０図は他の従来のプラズマＣＶＤ
装置の部分側断面図である。 ４…室（反応室）、１２…半導体ウエーハ、１
４…室（予熱室）、２２，２２′…ヒータ、２３
，２３′…ヒータ独立駆動機構。
一実施例を示す各動作時での側断面図、第４図は
第２図の一部拡大断面図、第５図は本考案の他の
一実施例を示す部分側断面図である。第６図は従
来のプラズマＣＶＤ装置の側断面図、第７図は第
６図のＡ−Ａ線からの平面図、第８図及び第９図
は第６図の装置の動作時での側断面図及び一部拡
大断面図、第１０図は他の従来のプラズマＣＶＤ
装置の部分側断面図である。 ４…室（反応室）、１２…半導体ウエーハ、１
４…室（予熱室）、２２，２２′…ヒータ、２３
，２３′…ヒータ独立駆動機構。
Claims (1)
- 減圧下の室内の定位置に収納保持された半導体
ウエーハを同じ室内に設置されたヒータで所定の
温度まで加熱する装置において、前記ヒータにこ
のヒータを前記室内定位置に保持された半導体ウ
エーハに接触又は一定間隔で近接して半導体ウエ
ーハを加熱する位置と、この加熱後半導体ウエー
ハから一定距離だけ離れて半導体ウエーハを加熱
する位置の間で適宜往復移動させるヒータ独立駆
動機構を付設したことを特徴とする半導体製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15677284U JPS6170928U (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15677284U JPS6170928U (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6170928U true JPS6170928U (ja) | 1986-05-15 |
Family
ID=30714778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15677284U Pending JPS6170928U (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6170928U (ja) |
-
1984
- 1984-10-16 JP JP15677284U patent/JPS6170928U/ja active Pending