JPS6223445U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6223445U JPS6223445U JP11370485U JP11370485U JPS6223445U JP S6223445 U JPS6223445 U JP S6223445U JP 11370485 U JP11370485 U JP 11370485U JP 11370485 U JP11370485 U JP 11370485U JP S6223445 U JPS6223445 U JP S6223445U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carrier
- wafers
- hot plate
- baking
- Prior art date
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- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案に係るウエハベーキング装置の
側面図、第２図は第１図の装置のベーカー部の詳
細図、第３図は同装置の温度調節器の説明図、第
４図は同装置のロータリーレバーの動作状態を説
明するための図、第５図は従来のウエハベーキン
グ装置の側面図、第６図は第５図の装置のベーカ
ー部の詳細図、第７図は同装置の温度調節器の説
明図である。 １……ウエハ、２……キヤリア、３……ホルダ
ー、４……ベーカー部、５……熱板、６……ヒー
ター、７……ヒーターブロツク、８……温度調節
器、１０……熱電対、１１，２２ａ，２２ｂ……
モータ、２１ａ，２１ｂ……ロータリーレバー、
２３……支持板、２４……穴。
側面図、第２図は第１図の装置のベーカー部の詳
細図、第３図は同装置の温度調節器の説明図、第
４図は同装置のロータリーレバーの動作状態を説
明するための図、第５図は従来のウエハベーキン
グ装置の側面図、第６図は第５図の装置のベーカ
ー部の詳細図、第７図は同装置の温度調節器の説
明図である。 １……ウエハ、２……キヤリア、３……ホルダ
ー、４……ベーカー部、５……熱板、６……ヒー
ター、７……ヒーターブロツク、８……温度調節
器、１０……熱電対、１１，２２ａ，２２ｂ……
モータ、２１ａ，２１ｂ……ロータリーレバー、
２３……支持板、２４……穴。
Claims (1)
- 複数枚のウエハを収納したキヤリアを設置する
ホルダーと、前記キヤリアから送られるウエハを
ベーキングするベーカー部と、前記キヤリア及び
ベーカー部を傾斜させてウエハの移動を行う駆動
部とを具備し、前記ベーカー部がベーキングを行
うウエハを載置する熱板と、この熱板を加熱する
ヒータを内蔵したヒーターブロツクと、熱板にウ
エハを挿入した時のストツパー機能とウエハをキ
ヤリアに戻す時の押し出し機能を有したロータリ
ーレバーとからなることを特徴とするウエハベー
キング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11370485U JPS6223445U (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11370485U JPS6223445U (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6223445U true JPS6223445U (ja) | 1987-02-13 |
Family
ID=30995761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11370485U Pending JPS6223445U (ja) | 1985-07-26 | 1985-07-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6223445U (ja) |
-
1985
- 1985-07-26 JP JP11370485U patent/JPS6223445U/ja active Pending