JPS6173499A - スピ−カ用振動板 - Google Patents
スピ−カ用振動板Info
- Publication number
- JPS6173499A JPS6173499A JP19606084A JP19606084A JPS6173499A JP S6173499 A JPS6173499 A JP S6173499A JP 19606084 A JP19606084 A JP 19606084A JP 19606084 A JP19606084 A JP 19606084A JP S6173499 A JPS6173499 A JP S6173499A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbide
- diaphragm
- molecular formula
- titanium
- speaker
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的：
（産菜上の＋ｌ」用分野）
乙の発明はスピーカに用いる振動板の組成に関するもの
である。
である。
（従来の技術）
スピーカ（こおいて、畠、忠実彼な再生音を得るＩこは
、なるべく高い周波数範囲に皮って分割振動をせすにピ
ストン振動を行う振動板が必要である。
、なるべく高い周波数範囲に皮って分割振動をせすにピ
ストン振動を行う振動板が必要である。
分割振動か始まる周波数は振動板のヤング率Ｅと沿度ρ
との比（＝Ｅ／ρ）、即ち比５重性率に依存することか
知られている。この比弾性率を高めるために、次のよう
な振動板の組成物の提案がある輪金＠箔の片面または両
面に、真空蒸着法やスパッタリング法を用いて、成る柚
の金属を蒸着して二１−Ｔｉ４造または三１−溝造にし
た振動阪組成吻の提案かある。この提案は比弾性率が大
きくなってピストン振！ｆｉｌｌ域の拡大を計り得るか
、機械振動による応力や同曲の熱的変化による応力に対
して弱く、蒸着金Ｍ膜に剥離やひび割れを生じ易い欠点
があった。このような現象は、振動板基材としての輪金
属消と蒸着金属膜との結晶構造か異なること、また、熱
膨張係数か異なること、また、これらの（仙違点に起因
して蒸右金１萬；戻形成時に界面に内部上が残留するこ
と、等々か原因となって、礪峨振動による１芯力歪や周
囲の慈「う変化による応力歪が加わると疲労限界に校ん
て蒸着金属膜面にひひ割れや剥離を発生するものと推定
できる。
との比（＝Ｅ／ρ）、即ち比５重性率に依存することか
知られている。この比弾性率を高めるために、次のよう
な振動板の組成物の提案がある輪金＠箔の片面または両
面に、真空蒸着法やスパッタリング法を用いて、成る柚
の金属を蒸着して二１−Ｔｉ４造または三１−溝造にし
た振動阪組成吻の提案かある。この提案は比弾性率が大
きくなってピストン振！ｆｉｌｌ域の拡大を計り得るか
、機械振動による応力や同曲の熱的変化による応力に対
して弱く、蒸着金Ｍ膜に剥離やひび割れを生じ易い欠点
があった。このような現象は、振動板基材としての輪金
属消と蒸着金属膜との結晶構造か異なること、また、熱
膨張係数か異なること、また、これらの（仙違点に起因
して蒸右金１萬；戻形成時に界面に内部上が残留するこ
と、等々か原因となって、礪峨振動による１芯力歪や周
囲の慈「う変化による応力歪が加わると疲労限界に校ん
て蒸着金属膜面にひひ割れや剥離を発生するものと推定
できる。
（発明が解決しようとしている問題点）この発明は、積
！−（み造をした振動板の軽重化及び高弾性率１七の為
の振動板基材を適切に選定し、選定された振動板基はの
片面または両面に形成する膜のＩ軽重化及び高・伸性化
のための１模はを適切に選′道し、これら選定されたＪ
Ｍ５萌仮裁オと１１（材との結合を強化するために、後
に詳しく説明する中間相を界ｌ１１１部に形成して、軽
くて高弾性で疲労限界の高いスピーカ用振動を提供する
にある。
！−（み造をした振動板の軽重化及び高弾性率１七の為
の振動板基材を適切に選定し、選定された振動板基はの
片面または両面に形成する膜のＩ軽重化及び高・伸性化
のための１模はを適切に選′道し、これら選定されたＪ
Ｍ５萌仮裁オと１１（材との結合を強化するために、後
に詳しく説明する中間相を界ｌ１１１部に形成して、軽
くて高弾性で疲労限界の高いスピーカ用振動を提供する
にある。
発明の構成：
（問題を解決するための手段）
スピーカ用振動板の仕上り重重の軽重化及び高・理性率
化を計るため（こ、（１）（辰動板基材としてアルミニ
ウム、マグネノウム、チタニウム、等々の単体軽金属ま
たはその合金からなる軽重ｆ４？Ｍを選定し、（２）楔
材として炭化珪素、炭化軸素、炭化アルミニウム、炭比
べＩＪ ＩＪウム、の炭素化合物群を選定した。また、
振動板基はと；挽材との績合強化のために、（３）反応
性蒸着法とイオン注入紙とを併用することにより、振動
板承句と膜の界面部に炭素化合物群の彼炭素化原子、炭
素原子、および薇期吸基材としての輪金属消の議成元素
の三番の混合した中間相を形成させる手段を採用したつ
中間相、および成製化合物１漠の形成方法は、第２図に
示すごとき装置μを用い、振動板拭材としてチタニウム
消の箔厚２０μｍのらのを用い、痕８として分子式８４
Ｃの炭化硼素を用いた場合を汐１」に説明する。
化を計るため（こ、（１）（辰動板基材としてアルミニ
ウム、マグネノウム、チタニウム、等々の単体軽金属ま
たはその合金からなる軽重ｆ４？Ｍを選定し、（２）楔
材として炭化珪素、炭化軸素、炭化アルミニウム、炭比
べＩＪ ＩＪウム、の炭素化合物群を選定した。また、
振動板基はと；挽材との績合強化のために、（３）反応
性蒸着法とイオン注入紙とを併用することにより、振動
板承句と膜の界面部に炭素化合物群の彼炭素化原子、炭
素原子、および薇期吸基材としての輪金属消の議成元素
の三番の混合した中間相を形成させる手段を採用したつ
中間相、および成製化合物１漠の形成方法は、第２図に
示すごとき装置μを用い、振動板拭材としてチタニウム
消の箔厚２０μｍのらのを用い、痕８として分子式８４
Ｃの炭化硼素を用いた場合を汐１」に説明する。
真空容器１内に設置したルツボ８に純度９９．９９％の
硼素を約４ ｇｒ投入する。箔厚２０μｍのチタニウム
箔をスピーカ用駁動板としてのＴｙｔ望の形状（この例
はドーム形状）に成形したもの（これを以供、成形チタ
ニウム箔と呼ぶ）を真空容器ｌ内に設置ばした試料取付
冶具７に取り付けるっ真空容器１内を真空ポンプ装置を
用いて１０−６〜１Ｏ−７Ｔｏｒｒに減圧する。ルツボ
８のと部に設は−たツヤツタ９を閉じた状態で約２３０
０℃に加熱して硼素を蒸発状態にする。イオン発生装置
よりＣイオンを真空容器１内に導きＦＪ４０ＫｅＶに加
速して成形チタニウム箔面に照射を開始する。この照射
開畑と同時にシャッタ９を開く。すると、蒸発している
硼素原子は真望容：１δ１内に充満して成形チタニウム
箔面に蒸着し、Ｃイオンは運動エネルキーにより成形チ
タニウム箔面に照射する。この初期の段階では、Ｃイオ
ンはその運動エネルギーにより成形チタニウムど６而に
照射して侵入するものと、蒸着している硼素原子に衝突
して連・助エネルギーを与えるものとが在る。運動エネ
ルギーをもらった硼素原子は蒸着状態より更に接近して
入り込むことＩこなる。このような動作がしはらく続い
てＣイオンかもはや成形チタニウム油表面に侵入できな
くなるまでの初期の段階では、成形チタニウム消去ｍ１
部でチタニウム原子、侵入したＣイオン、入り込んだ硼
素原子の三者の混合した状態の中＋ｔｈｌ泪を形成する
ことになる。硼素１９子の蒸着、Ｃイオンの１ｊ４ｉ
ＪＪ３を仙稔すると、Ｃイオンは化学的に活性であるた
め中間相の上に蒸耐した硼素ｊ早子と化合した分子式８
４Ｃの炭化硼素の膜を形成するようになる。この膜の厚
さか所望の値になるまで祁続する。必要（こより、成形
チタニウムを邑の裏面にもこのような＝ｐを行う。この
実施例ではに面および裏面にそれぞれ中１ｍｌ祖および
Ｂ４Ｃ挨が、膜厚が２ｐｍ、４μｍ、６μｍ、８μｍ、
１０μｍの５種類に形成しである。
硼素を約４ ｇｒ投入する。箔厚２０μｍのチタニウム
箔をスピーカ用駁動板としてのＴｙｔ望の形状（この例
はドーム形状）に成形したもの（これを以供、成形チタ
ニウム箔と呼ぶ）を真空容器ｌ内に設置ばした試料取付
冶具７に取り付けるっ真空容器１内を真空ポンプ装置を
用いて１０−６〜１Ｏ−７Ｔｏｒｒに減圧する。ルツボ
８のと部に設は−たツヤツタ９を閉じた状態で約２３０
０℃に加熱して硼素を蒸発状態にする。イオン発生装置
よりＣイオンを真空容器１内に導きＦＪ４０ＫｅＶに加
速して成形チタニウム箔面に照射を開始する。この照射
開畑と同時にシャッタ９を開く。すると、蒸発している
硼素原子は真望容：１δ１内に充満して成形チタニウム
箔面に蒸着し、Ｃイオンは運動エネルキーにより成形チ
タニウム箔面に照射する。この初期の段階では、Ｃイオ
ンはその運動エネルギーにより成形チタニウムど６而に
照射して侵入するものと、蒸着している硼素原子に衝突
して連・助エネルギーを与えるものとが在る。運動エネ
ルギーをもらった硼素原子は蒸着状態より更に接近して
入り込むことＩこなる。このような動作がしはらく続い
てＣイオンかもはや成形チタニウム油表面に侵入できな
くなるまでの初期の段階では、成形チタニウム消去ｍ１
部でチタニウム原子、侵入したＣイオン、入り込んだ硼
素原子の三者の混合した状態の中＋ｔｈｌ泪を形成する
ことになる。硼素１９子の蒸着、Ｃイオンの１ｊ４ｉ
ＪＪ３を仙稔すると、Ｃイオンは化学的に活性であるた
め中間相の上に蒸耐した硼素ｊ早子と化合した分子式８
４Ｃの炭化硼素の膜を形成するようになる。この膜の厚
さか所望の値になるまで祁続する。必要（こより、成形
チタニウムを邑の裏面にもこのような＝ｐを行う。この
実施例ではに面および裏面にそれぞれ中１ｍｌ祖および
Ｂ４Ｃ挨が、膜厚が２ｐｍ、４μｍ、６μｍ、８μｍ、
１０μｍの５種類に形成しである。
このような手段によって由られたこの発明の実施例にお
けるスピーカ用振動板の弾性率Ｅ、′田度ρ、比弾性率
（Ｅ／ρ）を、従来用いられていたスパッタリング法に
よるスピーカ用振動板のそれらと比較して第１表に示す
。同、１模材が炭化珪素の場合の弾性率Ｅ、比度ρ、比
知性率を第２表に、膜材が炭化チタニウムの場合の弾性
率Ｅ、密技ρ、比伸性率を第３表に、膜材が炭化べＩＪ
ＩＪウム第１表において、従来例の場合に表面および
差向にそれぞれ１吻系朕か膜厚４μｍ％度までは蒸着〇
」能であるのに刈し、実施！ソリの場合には表面および
裏面にそれ、それ炭化硼素膜か膜厚１０μｍ以上イＸ
１ ＆ ６２表 第４表 第５表 てもＤＪ尼である。また、を戻隼かｔ／ＩＪえは４μｍ
の場合ｉこおける冒伎ρか従米沙１」の場合４．５２ｇ
ｒ、／、、ｄであるン〕にズイし、芙池例の場ｇ ４
、１７ ｇｒ、 ／ ｃｄと小さくｔＳる。比−１単性
率か従来のｊ烏合０．３４６Ｘ１０＋２ｄ ’ｌ ｎｅ
、 ｃｍ ／’ ｇｒであるのに対し、芙ｌ池しリの
場合０６６２１ Ｘ ｌ ０１２ｄｙｎｅ 、 ｃｍ
／ ｇｒと大きくなり、このため、スピーカ用振動板は
軽微になり、しかもビストノ振動の１．゛、］ｌ皮奴３
比奴３田囲てきるものになる１、・党蝿妃鍔による疲労
限界の淫度は、従来り１ｊの場合実用に共する４度のパ
ワーの比較的大きい値）こなると股間にひひ１１すれか
発生したり、♀１１鼎を発生していたか、実り屯１列の
′見合実用に供する哩肢のパワーでは１１Ａ曲になんの
異１信ち生じない、実７血例における疲労限界の桂度は
未唯認であるか、振！、ｔＩＩ彼ねトイの疲労阪厚近く
まで上るのではないかと考える。
けるスピーカ用振動板の弾性率Ｅ、′田度ρ、比弾性率
（Ｅ／ρ）を、従来用いられていたスパッタリング法に
よるスピーカ用振動板のそれらと比較して第１表に示す
。同、１模材が炭化珪素の場合の弾性率Ｅ、比度ρ、比
知性率を第２表に、膜材が炭化チタニウムの場合の弾性
率Ｅ、密技ρ、比伸性率を第３表に、膜材が炭化べＩＪ
ＩＪウム第１表において、従来例の場合に表面および
差向にそれぞれ１吻系朕か膜厚４μｍ％度までは蒸着〇
」能であるのに刈し、実施！ソリの場合には表面および
裏面にそれ、それ炭化硼素膜か膜厚１０μｍ以上イＸ
１ ＆ ６２表 第４表 第５表 てもＤＪ尼である。また、を戻隼かｔ／ＩＪえは４μｍ
の場合ｉこおける冒伎ρか従米沙１」の場合４．５２ｇ
ｒ、／、、ｄであるン〕にズイし、芙池例の場ｇ ４
、１７ ｇｒ、 ／ ｃｄと小さくｔＳる。比−１単性
率か従来のｊ烏合０．３４６Ｘ１０＋２ｄ ’ｌ ｎｅ
、 ｃｍ ／’ ｇｒであるのに対し、芙ｌ池しリの
場合０６６２１ Ｘ ｌ ０１２ｄｙｎｅ 、 ｃｍ
／ ｇｒと大きくなり、このため、スピーカ用振動板は
軽微になり、しかもビストノ振動の１．゛、］ｌ皮奴３
比奴３田囲てきるものになる１、・党蝿妃鍔による疲労
限界の淫度は、従来り１ｊの場合実用に共する４度のパ
ワーの比較的大きい値）こなると股間にひひ１１すれか
発生したり、♀１１鼎を発生していたか、実り屯１列の
′見合実用に供する哩肢のパワーでは１１Ａ曲になんの
異１信ち生じない、実７血例における疲労限界の桂度は
未唯認であるか、振！、ｔＩＩ彼ねトイの疲労阪厚近く
まで上るのではないかと考える。
こりように、しＥ本例と比奴して落度ρか小さくなり、
比フ・ＩＩ性手、Ｊ・大きくなり、疲労限界か高いのは
、１戻Ｆｊに用いる炭化ｒルミニウム、炭化ｔｔｌ：
素。
比フ・ＩＩ性手、Ｊ・大きくなり、疲労限界か高いのは
、１戻Ｆｊに用いる炭化ｒルミニウム、炭化ｔｔｌ：
素。
炭化煽系、灰化チタニウム、炭比べＩＪ ＩＪウム１等
の弾性率が詞く且つ比変が小さいものを選定したことに
よる１、また、個陰振ニーの疲労限界か筒いのは中間相
を倣劾仮鵡材の１負向と１反面との曲に形成して結合の
強化を計ったことによるものである。
の弾性率が詞く且つ比変が小さいものを選定したことに
よる１、また、個陰振ニーの疲労限界か筒いのは中間相
を倣劾仮鵡材の１負向と１反面との曲に形成して結合の
強化を計ったことによるものである。
・４１１図はこの発明のスピーカ用振動板の組成（、“
４造を１シシ明する図［１Ｍ、第２図は振動板製造表両
のル既１賂図、である。 Ａ・・成形セ金、１．壜１百、Ｂ・・中間相、Ｃ炭素化
合物膜。
４造を１シシ明する図［１Ｍ、第２図は振動板製造表両
のル既１賂図、である。 Ａ・・成形セ金、１．壜１百、Ｂ・・中間相、Ｃ炭素化
合物膜。
Claims (1)
- 軽金属箔の片面または両面に、炭化珪素（分子式：Ｓｉ
Ｃ）、炭化アルミニウム（分子式：Ａｌ＿４Ｃ＿３）、
炭化硼素（分子式：Ｂ＿４Ｃ）、炭化チタニウム（分子
式：ＴｉＣ＿２）、炭化ベリリウム（分子式：ＢｅＣ）
からなる群より選ばれる炭素化合物の膜を、炭素化合物
の被炭素化原子、炭素原子、および前記軽金属箔の構成
元素の三者の混合した中間相を形成せしめて結合した二
層構造または三層構造の組成を有するスピーカ用振動板
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19606084A JPS6173499A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | スピ−カ用振動板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19606084A JPS6173499A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | スピ−カ用振動板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6173499A true JPS6173499A (ja) | 1986-04-15 |
Family
ID=16351529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19606084A Pending JPS6173499A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | スピ−カ用振動板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6173499A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56165493A (en) * | 1980-05-23 | 1981-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Diaphragm for speaker |
| JPS5711598A (en) * | 1980-06-26 | 1982-01-21 | Sony Corp | Acoustic diaphragm |
| JPS5936498A (ja) * | 1982-08-23 | 1984-02-28 | Sansui Electric Co | スピ−カ用振動板およびその製造方法 |
-
1984
- 1984-09-19 JP JP19606084A patent/JPS6173499A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56165493A (en) * | 1980-05-23 | 1981-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Diaphragm for speaker |
| JPS5711598A (en) * | 1980-06-26 | 1982-01-21 | Sony Corp | Acoustic diaphragm |
| JPS5936498A (ja) * | 1982-08-23 | 1984-02-28 | Sansui Electric Co | スピ−カ用振動板およびその製造方法 |
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