JPS6180637A - 光磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
光磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS6180637A JPS6180637A JP20166384A JP20166384A JPS6180637A JP S6180637 A JPS6180637 A JP S6180637A JP 20166384 A JP20166384 A JP 20166384A JP 20166384 A JP20166384 A JP 20166384A JP S6180637 A JPS6180637 A JP S6180637A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- film
- heat treatment
- magneto
- optical recording
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は光磁気記録媒体の製造方法に係り、特に、多数
回の繰り返し記録・再生・消去に対して安定な搬送波対
雑音比（Ｃ／Ｎ）を有し、その特性変化が小さい光磁気
記録媒体の製造に好適な光磁気記録媒体の製造方法に関
する。
回の繰り返し記録・再生・消去に対して安定な搬送波対
雑音比（Ｃ／Ｎ）を有し、その特性変化が小さい光磁気
記録媒体の製造に好適な光磁気記録媒体の製造方法に関
する。
一度記録した情報を消去し、繰り返し使用することがで
きる光記録として光磁気記録が注目を浴びている。ただ
し、記録・再生・消去を多数回繰り返した場合、Ｃ／Ｎ
が次第に低下したり、高温環境下では、その特性が次第
に劣化したりすることが知られている。この原因は主と
して、記録媒体に用いられる非晶質磁性薄膜（Ｔｂ−Ｆ
ｅ、Ｔｂ−Ｆｅ−Ｇｏなど）の垂直磁気異方性が、熱履
歴や熱活性化を受けて次第に低下するためである。しか
るに、従来の製造方法ではこの問題点を充分認識してお
らず１作製状態のままで記録媒体として使用されている
。非晶質薄膜の磁気異方性低下に関しては、例えば、Ｉ
ＥＥＥ Ｔｒａｎｓ、 Ｍａｇｎ、 ＭＡＧ−１３゜１
６０３ （１９７７）における片山らによる”ＤＩＦＦ
ＥＲＥＮＴＯＲＩＧＩＮ ＯＦ ＴＩＩＥ １）
ＥＲＰＥＮＤＩＣＵＬＡＲＡＮＩＳＯＴＲＯＰ’／
ＩＮＡＭＯＲＰＩＩＯυＳ Ｇｄ−Ｆｅ ＦＲＯＭ Ｇ
ｄ−Ｃｏ ＦＩＬＭＳ”において論じられている。
きる光記録として光磁気記録が注目を浴びている。ただ
し、記録・再生・消去を多数回繰り返した場合、Ｃ／Ｎ
が次第に低下したり、高温環境下では、その特性が次第
に劣化したりすることが知られている。この原因は主と
して、記録媒体に用いられる非晶質磁性薄膜（Ｔｂ−Ｆ
ｅ、Ｔｂ−Ｆｅ−Ｇｏなど）の垂直磁気異方性が、熱履
歴や熱活性化を受けて次第に低下するためである。しか
るに、従来の製造方法ではこの問題点を充分認識してお
らず１作製状態のままで記録媒体として使用されている
。非晶質薄膜の磁気異方性低下に関しては、例えば、Ｉ
ＥＥＥ Ｔｒａｎｓ、 Ｍａｇｎ、 ＭＡＧ−１３゜１
６０３ （１９７７）における片山らによる”ＤＩＦＦ
ＥＲＥＮＴＯＲＩＧＩＮ ＯＦ ＴＩＩＥ １）
ＥＲＰＥＮＤＩＣＵＬＡＲＡＮＩＳＯＴＲＯＰ’／
ＩＮＡＭＯＲＰＩＩＯυＳ Ｇｄ−Ｆｅ ＦＲＯＭ Ｇ
ｄ−Ｃｏ ＦＩＬＭＳ”において論じられている。
本発明の目的は、熱履歴や熱活性化に対してその垂直磁
気異方性が安定に保たれるような、光磁気記録媒体の製
造方法を提供することにある。
気異方性が安定に保たれるような、光磁気記録媒体の製
造方法を提供することにある。
上記目的を達成するために本発明では、光磁気記録媒体
の製造方法において、該記録媒体を熱処理することを特
徴としている。
の製造方法において、該記録媒体を熱処理することを特
徴としている。
すなわち、光磁気記録媒体として用いる希土類と遷移金
属からなる非晶質磁性薄膜（たとえば、Ｔｂ−Ｆｅ、
Ｔｂ−Ｃｏ、 Ｔｂ−Ｆｅ−Ｇｏ、 Ｇｄ−Ｇｏ。
属からなる非晶質磁性薄膜（たとえば、Ｔｂ−Ｆｅ、
Ｔｂ−Ｃｏ、 Ｔｂ−Ｆｅ−Ｇｏ、 Ｇｄ−Ｇｏ。
Ｇｄ −Ｆｅ、 Ｇｄ −Ｔｂ −Ｆｅ、 ・・・・・
）を１００〜５００℃の温度範囲で数分〜数時間程度熱
処理し。
）を１００〜５００℃の温度範囲で数分〜数時間程度熱
処理し。
熱履歴や熱活性化に対して垂直磁気異方性の安定を図る
ものである。熱処理は、酸化による特性劣化を防止する
ため不活性ガス（Ｎ ２．Ａｒ、Ｎｅ等）中か真空中で
行うことが望ましいが、磁性薄膜上に保護膜（Ｓｉｎ２
．ＳｉＯ等）を形成すれば大気中で行っても差支えない
。
ものである。熱処理は、酸化による特性劣化を防止する
ため不活性ガス（Ｎ ２．Ａｒ、Ｎｅ等）中か真空中で
行うことが望ましいが、磁性薄膜上に保護膜（Ｓｉｎ２
．ＳｉＯ等）を形成すれば大気中で行っても差支えない
。
以下本発明の（−）の実施例を図面を用いて説明する。
第１図は、５ｉｎ２膜で表面を覆ったＴｂ−Ｆｅ非晶質
薄膜（キュリ一温度：１４５℃）を、３Ｑ／ｍｉｎの大
気圧Ｎ２流雰囲気中で２００ ’Ｃの温度で熱処理した
ときの、−軸異方性定数Ｋｕ（初期値で規格化されてい
る）の時間変化を示したものである。尚、Ｔｂ−Ｆｅ非
晶質膜、ＳｉＯ２膜は高周波スパッタ法（Ａｒ：５Ｘ１
０−３Ｔｏｒｒ）により順次基板上にそれぞれ１０００
人積層に製造した。また、Ｔｂ−Ｆｅ非晶質膜の組成は
Ｔｂを２５８七％、Ｆｅを７５ａｔ％とした。
薄膜（キュリ一温度：１４５℃）を、３Ｑ／ｍｉｎの大
気圧Ｎ２流雰囲気中で２００ ’Ｃの温度で熱処理した
ときの、−軸異方性定数Ｋｕ（初期値で規格化されてい
る）の時間変化を示したものである。尚、Ｔｂ−Ｆｅ非
晶質膜、ＳｉＯ２膜は高周波スパッタ法（Ａｒ：５Ｘ１
０−３Ｔｏｒｒ）により順次基板上にそれぞれ１０００
人積層に製造した。また、Ｔｂ−Ｆｅ非晶質膜の組成は
Ｔｂを２５８七％、Ｆｅを７５ａｔ％とした。
Ｋｕは約１０分間の熱処理後一定となり安定することが
わかる。従来の製造方法では、蒸着法やスパッタ法でＴ
ｂ−Ｆｅ非晶質膜を作製した後、熱処理工程を終ること
がなかった。そのため、繰り返し記録・消去による温度
上昇や熱履歴により第１図に示した１０分間の熱処理と
同様な効果が現れ。
わかる。従来の製造方法では、蒸着法やスパッタ法でＴ
ｂ−Ｆｅ非晶質膜を作製した後、熱処理工程を終ること
がなかった。そのため、繰り返し記録・消去による温度
上昇や熱履歴により第１図に示した１０分間の熱処理と
同様な効果が現れ。
第３図に示すようにＣ／Ｎ （初期値で規格化されてい
る）の低下が１０４〜１０５回の繰り返し記録・消去回
数で認められる。第２図は第１図に示した実験で用いた
Ｔｂ−Ｆｅ薄膜（２００’Ｃ，１０分間の熱処理が施さ
れている）を再び２００℃で熱処理したときのＫｕの変
化を示したものである。
る）の低下が１０４〜１０５回の繰り返し記録・消去回
数で認められる。第２図は第１図に示した実験で用いた
Ｔｂ−Ｆｅ薄膜（２００’Ｃ，１０分間の熱処理が施さ
れている）を再び２００℃で熱処理したときのＫｕの変
化を示したものである。
すなわち、これによれば２００°Ｃ，ｔＯ分間の熱処理
をＴｂ−Ｆｅ薄膜に施したことにより、熱履歴。
をＴｂ−Ｆｅ薄膜に施したことにより、熱履歴。
熱活性化に対するＫｕの安定化が図られていることがわ
かる。この熱処理した薄膜を使用したときには第４図に
示すように１０’〜１ｏ８回の繰り返し記録・消去回数
までＣ／Ｎが一定になった。
かる。この熱処理した薄膜を使用したときには第４図に
示すように１０’〜１ｏ８回の繰り返し記録・消去回数
までＣ／Ｎが一定になった。
記録媒体の熱処理は、第５図に示したように磁性薄膜形
成後でもよいし、第６図に示すように保護膜（ＳｊＯ２
，Ｓｉ、Ｎ ４など）や反射膜（ＡＱ。
成後でもよいし、第６図に示すように保護膜（ＳｊＯ２
，Ｓｉ、Ｎ ４など）や反射膜（ＡＱ。
Ｃｕなど）などの積層膜を形成してからでもよい。
上述の試料は第６図に示すプロセスを経て熱処理されて
いる。もちろん大気中で熱処理を行ってもよいが、酸化
による特性劣化を最小限に押さえるためには不活性ガス
（前述のＮ２やＡｒ、Ｈｅなど）中か、真空中で行うこ
とが望ましい。尚、大気中で熱処理を行う場合には磁性
薄膜上に保護膜（ＳｉＯ２、ＳｉＯ，Ｓｉ、Ｎ４など）
を形成してから行うことが望ましい。
いる。もちろん大気中で熱処理を行ってもよいが、酸化
による特性劣化を最小限に押さえるためには不活性ガス
（前述のＮ２やＡｒ、Ｈｅなど）中か、真空中で行うこ
とが望ましい。尚、大気中で熱処理を行う場合には磁性
薄膜上に保護膜（ＳｉＯ２、ＳｉＯ，Ｓｉ、Ｎ４など）
を形成してから行うことが望ましい。
熱処理温度は磁性落脱の特性に依存する。たとえばキュ
リ一点記録材料（Ｄｙ −Ｆｅ、 Ｔｂ −Ｆｅ −Ｃ
ｏなど）ではキュリ一温度が８０〜２００℃の温度範囲
にあるので、低くともｔｏｏ’ｃ以上の温度で熱処理を
行う必要がある。一方、上述の材料では３５０〜４５０
°Ｃで非晶質から結晶質への相変化が生じるため、熱処
理温度はこれ以上でなければならない。ただし、Ｇｅや
Ｗなどの元素を添加することにより上述の材料の結晶化
温度は５００℃程度まで上昇するため、熱処理温度の上
限は５００℃が適当である。
リ一点記録材料（Ｄｙ −Ｆｅ、 Ｔｂ −Ｆｅ −Ｃ
ｏなど）ではキュリ一温度が８０〜２００℃の温度範囲
にあるので、低くともｔｏｏ’ｃ以上の温度で熱処理を
行う必要がある。一方、上述の材料では３５０〜４５０
°Ｃで非晶質から結晶質への相変化が生じるため、熱処
理温度はこれ以上でなければならない。ただし、Ｇｅや
Ｗなどの元素を添加することにより上述の材料の結晶化
温度は５００℃程度まで上昇するため、熱処理温度の上
限は５００℃が適当である。
熱処理時間は熱処理温度によって変える必要があり、お
おむね、数分〜数時間程度である。高温度で熱処理する
ほど短時間でよい。
おむね、数分〜数時間程度である。高温度で熱処理する
ほど短時間でよい。
次に第７図を用いて本発明の他の実施例を説明する。第
７図はガラス基板Ｉ上にＳｉ、Ｎ、膜２゜Ｔｂ−Ｆｅ膜
３（組成、（原子数パーセント）２５ニア０ ： ５）
、Ｓｉ、Ｎ４膜２をスパッタリングにより順次それぞれ
ｔｏｏｏ人積層して製造した光磁気記録媒体である。こ
の製造状態のままの媒体（Ａ）と、′！Ｍ造後真後真空
中２５０℃の温度で３０分保持し熱処理を旋した媒体（
Ｂ）とを１！！何し、温度２００℃、湿度９０％の環境
試験を行ったときのＫｕの変化を第８図に示す。媒体（
Ｂ）では熱処理効果により、垂直異方性が極めて安定化
していることがわかる。またこの環境試験により、媒体
（Ａ）では垂直異方性と同時にカー回転角が徐々に減少
したが、媒体（Ｂ）ではＫｕと同様にほぼ一定の値を保
持し続けた。
７図はガラス基板Ｉ上にＳｉ、Ｎ、膜２゜Ｔｂ−Ｆｅ膜
３（組成、（原子数パーセント）２５ニア０ ： ５）
、Ｓｉ、Ｎ４膜２をスパッタリングにより順次それぞれ
ｔｏｏｏ人積層して製造した光磁気記録媒体である。こ
の製造状態のままの媒体（Ａ）と、′！Ｍ造後真後真空
中２５０℃の温度で３０分保持し熱処理を旋した媒体（
Ｂ）とを１！！何し、温度２００℃、湿度９０％の環境
試験を行ったときのＫｕの変化を第８図に示す。媒体（
Ｂ）では熱処理効果により、垂直異方性が極めて安定化
していることがわかる。またこの環境試験により、媒体
（Ａ）では垂直異方性と同時にカー回転角が徐々に減少
したが、媒体（Ｂ）ではＫｕと同様にほぼ一定の値を保
持し続けた。
また、他の希土類と遷移金層からなる非晶質磁性薄膜（
Ｔｂ −Ｇｏ、 Ｇｄ −Ｆｅ、 Ｇｄ −Ｇｏ、 Ｃ
ｄ −Ｔｂ−Ｆｅ薄膜等）においても熱処理により上述
した効果が認められた。
Ｔｂ −Ｇｏ、 Ｇｄ −Ｆｅ、 Ｇｄ −Ｇｏ、 Ｃ
ｄ −Ｔｂ−Ｆｅ薄膜等）においても熱処理により上述
した効果が認められた。
以上詳細に説明したように本発明によれば、記録媒体を
熱処理することにより、垂直磁気異方性の安定化を大幅
に図ることができる。
熱処理することにより、垂直磁気異方性の安定化を大幅
に図ることができる。
第１図、第２図は熱処理によるＫｕの変化を示す図、第
３図、第４図は繰り返し記録・消去回数に対するＣ／Ｎ
の変化を示す図、第５図、第６図は熱処理時間を示す図
、第７図は光磁気記録媒体の一例を示す断面図、第８図
は製造法の異なる２つの記録媒体のＫｕの変化を示す図
である。 １・・・ガラス基板、 ２・・・５ｉ−ＪＮ４膜。 ３−Ｔｂ−Ｆｅ−Ｇｏ膜。 大地膚ヒｃ／ＡＩ（Ａモス、序Ａ立） 第夕図 第 Ｉ 笛 ７図 第 ２図 片間（分）
３図、第４図は繰り返し記録・消去回数に対するＣ／Ｎ
の変化を示す図、第５図、第６図は熱処理時間を示す図
、第７図は光磁気記録媒体の一例を示す断面図、第８図
は製造法の異なる２つの記録媒体のＫｕの変化を示す図
である。 １・・・ガラス基板、 ２・・・５ｉ−ＪＮ４膜。 ３−Ｔｂ−Ｆｅ−Ｇｏ膜。 大地膚ヒｃ／ＡＩ（Ａモス、序Ａ立） 第夕図 第 Ｉ 笛 ７図 第 ２図 片間（分）
Claims (1)
- 希土類と遷移金属とからなる非晶質磁性薄膜を記録媒体
に用いた光磁気記録媒体の製造方法において、光磁気記
録媒体層を所定基板上に形成する工程、該記録媒体を１
００〜５００℃の温度範囲で熱処理する工程を有するこ
とを特徴とする光磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20166384A JPS6180637A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20166384A JPS6180637A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6180637A true JPS6180637A (ja) | 1986-04-24 |
Family
ID=16444833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20166384A Pending JPS6180637A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6180637A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62298046A (ja) * | 1986-06-17 | 1987-12-25 | Nec Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS63317946A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-26 | Seiko Epson Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| WO2000074044A1 (en) * | 1999-05-28 | 2000-12-07 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic disk |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP20166384A patent/JPS6180637A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62298046A (ja) * | 1986-06-17 | 1987-12-25 | Nec Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS63317946A (ja) * | 1987-06-19 | 1988-12-26 | Seiko Epson Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| WO2000074044A1 (en) * | 1999-05-28 | 2000-12-07 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic disk |
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