JPS6189265A - クリ−ンル−ム用防蝕保護材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はクリーンルーム用防蝕保護材に関する。さらに
詳しくは、防汚性、透明性、耐蝕性にすぐれた保護層が
設けられてなるクリーンルーム用防蝕保護材に関する。

［従来の技術］ 従来より、半導体産業などの製造工場において、ゴミ、
ホコリの害を少なくするためにクリーンルームが使用さ
れている。

ところで半導体の製造工程においては、フッ化水素酸、
酢酸、硝酸、リン酸、ハロゲン化ガスなどのエツチング
剤、ハロゲン化シラン、ハロゲン化ボロン、ハロゲン化
リン化合物、水素化シラン、水素化ボロン、水素化リン
、水素化ヒ素などの絶縁被膜形成剤およびドーパント剤
などのガス類が多く用いられる。それらのガス類あるい
はそれらが分解して発生する腐蝕性ガスによってクリー
ンルーム内の内装材が腐蝕されるとゴミが発生するので
、腐蝕を防止するためクリーンルーム内にはフェノール
樹脂系などの防蝕保護材が多く用いられている。

［発明が解決しようとする問題点］ フェノール樹脂系などの防蝕保護材は表面が汚染されや
すい性質があり、そのため２〜３力月毎にその補修を要
している。

一方、クリーンルームは密室であるため、内部と外部の
間が見通せる必要があり、そこに用いられる防蝕保護材
はすぐれた透明性が要求される。しかし従来使用されて
いるポリメタクリレート材、ポリカーボネート材は耐食
性に問題がある。

本発明は耐蝕性、防汚性および透明性にすぐれたクリー
ンルーム用防蝕保護材を提供することを目的とする。

Ｅ問題点を解決するための手段］ 本発明は、 （ωクロ０トリフルオロエチレン（以下、ＣＴＦＥとい
う）またはテトラフルオロエチレン（以下、ＴＦＥとい
う）、 （ｂ）フルオロ低級アルキルビニルエーテルおよびＴＣ
）ヒドロキシアルキルビニルエーテルを主成分とする共
重合体の架橋物を含む保護層が設けられてなるクリーン
ルーム用防蝕保護材に関する。

［作用および実施例］ 本発明における保護層は、（ω成分と（ｔｏ酸成分（Ｃ
）成分とを主成分とする共重合体（以下、含フツ素共重
合体という）および架橋剤からなるフッ素樹脂塗料を塗
布し、常温で架橋硬化させることによってえられる、膜
厚５〜１０〇−程度のものである。

前記含フツ素共重合体は、従来のフッ素樹脂にない特性
、すなわち常温で硬化して硬い膜を形成し、しかも形成
された塗膜はフッ素系重合゛　体のもつ耐蝕性、透明性
、防汚性などの特性をそのまま保持している。また、木
やプラスチックスあるいは金属への接着性も良好なもの
である。かかる含フツ素共重合体の各成分、組成などに
ついては、特願昭５８−６３３９９号明細書および特願
昭５８−１７５１２３号明細書に詳細に説明されている
。それらのうち（ｂ＋酸成分しては、アルキル基の炭素
数が１〜１０個のアルキルビニエーテルであって、アル
キル基の水素原子が一部または全部フッ素原子で置換さ
れているものがとくに好ましい。具体例としては、たと
えば２，２．２−トリフルオロエチルビニルエーテル、
２，２，３．３−テトラフルオロプロピルビニルエーテ
ル、２，２，３゜３．３−ペンタフルオロプロピルビニ
ルエーテル、２．２，３，３，４，４，５．５−オクタ
フルオロペンチルビニルエーテル、２，２，３，３，４
，４，５，５，６，６，７，７，８，８，９゜９−へキ
サデカフルオロノニルビニルエーテルなどがあげられる
。

また（Ｃ）成分としてはアルキル基の炭素数が２〜１０
個のものがとくに好ましい。具体例としては、たとえば
ヒドロキシブチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビ
ニルエーテル、ヒドロキシプロピルビニルエーテル、１
−メチル−３−ヒドロキシプロピルビニルエーテルなど
があげられる。

本発明における含フツ素共重合体は、（ω成分単位４０
〜６０モル％、＜ｂ）成分単位５〜５０モル％、（Ｃ）
成分単位０．５〜４０モル％含むものが好ましく、とく
に（ω成分単位４０〜６０モル％、市）成分単位２０〜
４５モル％、（Ｃ）成分単位１〜３０モル％含むものが
好ましい。なお、目的とする特性を損なわない限り、他
のエチレン性不飽和単量体を共重合してもよい。

共重合しつるエチレン性不飽和単量体としては、たとえ
ばエチレン、プロピレン、イソブチレン、酢酸ビニル、
塩化ビニル、塩化ビニリデン、（メタ）アクリル酸、（
メタ）アクリル酸エステルなどがあげられる。

本発明に用いる含フツ素共重合体を製造する方法として
は、たとえば（ω成分、（ｂ＞成分および（Ｃ）成分を
溶媒の存在下、重合触媒を用い一２０〜１５０℃、好ま
しくは５〜９５℃の温度および０〜３０Ｋａ／ｃｉ２　
Ｇ　、好ましくは１０ＫＭＣ１１２Ｇ以下の圧力条件で
の水性媒体中における乳化重合、懸濁重合または溶液重
合などの方法が採用されうる。

本発明における保ＩＩ層は、通常前記のごとく含フツ素
共重合体に架橋剤を配合し、適当な溶媒に均一に混合、
溶解させてえられる塗料組成物を木製、プラスチックス
製あるいは金ｆｉｌｌなどのクリーンルーム用の内装材
や内装品に塗布し、常温で架橋、硬化させて形成される
。硬化は常温で速やかに進行し、通常１〜１０日間で硬
い塗膜がえられるが、基材に悪影胃を与えない程度まで
濃度を上げ乾燥すると、硬化に要する時間が短縮できる
。

架橋剤としては前記含フツ素共重合体に含有されている
ヒドロキシル基と反応することができる官能基を２以上
有する化合物があげられ、ヒドロキシル基と反応するこ
とにより共重合体を硬化させる。

架橋剤の具体例としては、たとえばヘキサメチレンジイ
ソシアネート、その３潰体などの誘導体、キシリレンジ
イソシアネート、トリレンジイソシアネート、水素添加
トリレンジイソシアネート、水素添加−４，４°−ジフ
ェニルメタンジイソシアネート、ブロック型イソシアネ
ートなどのイソシアネート類、酸無水物類、多価アミン
類、アミノ樹脂類、エポキシ基を有する化合物などがあ
げられる。架橋剤の配合量は、含フツ素共重合体中のヒ
ドロキシル基に対して０．５〜２当量となるように調整
するのが好ましい。

溶媒としては従来の含フツ素共重合体とは異なり、通常
の溶媒が広く使用できる。具体例としては、たとえば酢
酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸セロソル
ブなどのエステル類：アセトン、メチルエチルケトン、
メチルイソブチルケトンなどのケトン類；テトラヒドロ
フランなどの環状エーテル類ニドジメチルホルムアミド
、トジメチルアセトアミドなどのアミド類：メチルアル
コール、エチルアルコール、ブチルアルコールなどのア
ルコール類：トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素
類などの１種または２種以上があげられる。

含フツ素共重合体の濃度は、塗装方法および塗料製造方
法などにより異なるが、通常５〜７０重量％、好ましく
は２０〜６０重量％が採用される。

前記含フツ素共重合体塗料組成物に、必要に応じて他の
重合体、硬化促進剤、充填剤、粘度調整剤、レベリング
剤、ゲル化防止剤、紫外線吸収剤、耐光安定剤、皮パリ
防止剤、分散剤、消泡剤などを添加してもよい。着色の
必要があるばあいは、一般塗料に使用されている顔料、
染料などを添加するとよい。また物性を損なわない範囲
で帯電防止剤などを添加してもよい。

本発明のクリーンルーム用防蝕保護材は、木、プラスチ
ックス、ＦＲＰ　１金属な、どからなる内装材などに、
（ω成分、（ｔｎ成分、（ｃ）成分および架橋剤を含む
フッ素樹脂塗料を塗布し、常温〜加温下で架橋硬化させ
ることによってえられる。

塗装に際しては、直接内装材などに塗布してもよい。ま
た金属製内装材などのばあいには、要すれば内装材など
に他の層、たとえばウォッシュプライマー、ジンクリッ
チペイントなどの通常用いられる下塗り塗料を１１また
は２層以上設け、その上に本発明に用いる保護層を形成
してもよい。

内装材などへの塗布は、スプレー法、へヶ塗り法、ディ
ピング法、ロールコート法、ナイフコート法などの通常
の方法により行なわれうる。

そのようにしてクリーンルーム内の内装材などに直接塗
布してもよく、またあらかじめ塗布しておいたボードや
シートなどをクリーンルーム内に取りつけるようにして
もよい。さらに補修のばあいは補修箇所を重ね塗りして
もよい。

本発明のクリーンルーム用防蝕保護材はクリーンルーム
の壁材や窓ガラス材などの内装材、クリーンルーム内で
用いられるガラス部品や各種装置類などの内装品の保護
材として適用される。

つぎに実施例をあげて本発明を説明するが、本発明はか
かる実施例にのみに限定されるものではない。

実施例１ ＣＴＦＥ　５部モル％、２，２，３．３−テトラフルオ
ロプロピルビニルエーテル４０モル％およびヒトＯキシ
ブチルビニルエーテル１０モル％よりなる含フツ素共重
合体５０部（重量部、以下同様）を酢酸ｎ−ブチル３５
部％、キシレン１０部％およびメチルイソブチルケトン
５部％との混合溶剤５０部に加えて均一に混合し、さら
に架橋剤としてコロネ−トＥｌ　（日本ポリウレタン工
業＠Ｊ￥Ｊの無黄変型塗料用ポリイソシアネート系架橋
剤）を９部加えて均一に混合し、塗料組成物を調製した
。

一方、長さ１００繻、幅５０履、厚さ２ｍのガラス基板
の表面をフロン系溶剤（ダイキン工業■製のダイフロン
１１３）で脱脂洗浄したガラス基板を作製した。

このガラス基板に前記塗料組成物をへヶにて塗布して膜
厚３２摩の塗膜を形成し、２５℃で７日間硬化させて保
護層を形成した。

実施例２ 実施例１に示した塗料組成物を日本テストパネル工業■
製の化成処理したアルミニウム板（ＢＴ　７１２）に塗
布したほかは実施例１と同様にして保護層を形成した。

実施例３ 実施例１に示した塗料組成物をポリメタクリレート基板
（三菱レイヨン■製アクリライト［）に塗布したほかは
実施例１と同様にして保護層を形成した。

実施例４ 実施例１に示した塗料組成物をポリカーボネート基板（
余人化成■製パンライト）に塗布したほかは実施例１と
同様にして保護層を形成した。

実施例５〜７ 第１表に示した塗料組成物を実施例１と同様な方法にし
てガラス板に塗布し保護層を形成した。

比較例１〜３ 実施例、実施例３および実施例４で用いたガラス基板、
ポリメタクリレート基板およびポリカーボネート基板を
それぞれ比較例１〜３の試料とした。

比較例４ 実゛施例１と同様な方法にて基材ガラス板に関西ペイン
ト■製ニューアクノンを３７虜の膜厚に塗布し、２５℃
で７日間硬化させ保護層を形成した。

なお第１表中の各略号はつぎの化合物を示す。

４ＦＶＥ　：　２，２，３．３−テトラフルオロプロプ
ルビニルエーテル ５ＦＶＥ　：　２，２，３，３．３−ペンタフルオ［］
’７０ヒ／Ｌｚビニルエーテル ８ＦＶＥ　：　２，２，３，３，４，４，５．５−オク
タ７　ＪＬ／　オロヘンチルビニルエーテル ＨＢＶＥ　：ヒドロキシブチルビニルエーテル実施例１
〜４および比較例１〜２でそれぞれえられた試料につき
、つぎの試験を行なった。

［接触角］ 試料に水およびｎ−セタンをそれぞれ１滴滴下し、エル
マ光学■製のゴニオメータ−を使用して接触角を測定。

結果を第２表に示す。接触角が大きければ防汚性にすぐ
れる目安となる。

［透明性］ 試料の光線透過率を■東洋精機製作所製のダイレクトリ
ーディングフェイズメーター（標準光源Ｃ）で測定した
。結果を第２表に示す。

［耐蝕性］ 試料面をフッ化水素酸ガス２０％、酢酸ガス２０％およ
び塩素ガス２０％をそれぞれ含む湿潤空気中に１０日間
さらして異常の有無を判定。結果を第３表に示す。

Ｅ以下余白］ ［発明の効果］ 以上のごとく、前記（ａ）、（ｔｏ、（Ｃ）成分を主成
分とする含フツ素共重合体は常温で硬化させることがで
き、しかも、透明性、防汚性、耐蝕性にすぐれた塗膜を
クリーンルームの内装材や内装品の種類を問わず形成せ
することができるので、その塗膜が保ＩＩとして設けら
れている本発明のクリーンルーム用防蝕保護材はきわめ
てすぐれた、透明性、防汚性、耐蝕性を有し、耐久性に
もすぐれている。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １（ａ）クロロトリフルオロエチレンまたはテトラフル
   オロエチレン、 （ｂ）フルオロ低級アルキルビニルエーテルおよび （ｃ）ヒドロキシアルキルビニルエーテルを主成分とす
   る共重合体の架橋物を含む保護層が設けられてなるクリ
   ーンルーム用防蝕保護材。