JPS6189844A - セラミツク積層体の製造方法 - Google Patents
セラミツク積層体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6189844A JPS6189844A JP21232784A JP21232784A JPS6189844A JP S6189844 A JPS6189844 A JP S6189844A JP 21232784 A JP21232784 A JP 21232784A JP 21232784 A JP21232784 A JP 21232784A JP S6189844 A JPS6189844 A JP S6189844A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laminate
- ceramic
- pressure
- green sheets
- green
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はセラミックシートが積み重ねられたセラミック
積層体の製造方法に関する。
積層体の製造方法に関する。
(従来技術) ・
セラミック積層体とは、グリーンシート、つまりセラミ
ックと樹脂との混練物をシート状にしたもの、を積み重
ねた積層体を加圧してグリーンシート相互全圧着し、こ
れを焼成したものである。
ックと樹脂との混練物をシート状にしたもの、を積み重
ねた積層体を加圧してグリーンシート相互全圧着し、こ
れを焼成したものである。
ところで従来、かかるグリーンシートの積層体は、次の
ようにして作製されていた。即ち、グリ−・ンシートの
積層体を、グリーンシートに含まれている樹脂の軟化温
度まで加熱し、次いでプレス機により、当該加熱後の積
層体全加圧することによってグリーンシート相互を接着
させる、というものである(雑誌セラミック184 t
Q 、 p846〜854参照)。
ようにして作製されていた。即ち、グリ−・ンシートの
積層体を、グリーンシートに含まれている樹脂の軟化温
度まで加熱し、次いでプレス機により、当該加熱後の積
層体全加圧することによってグリーンシート相互を接着
させる、というものである(雑誌セラミック184 t
Q 、 p846〜854参照)。
(発明が解決しようとする問題点)
前述したように、上記従来例では、加熱後、プレス機に
よって加圧することにより、グIJ −ンシート相互を
接着させているが、グリーンシートの積層数が多層にな
ると、圧力が各層に、充分に伝達されなくなるため、各
層間の接着が不充分になシ、はがれ等の原因になってい
た。
よって加圧することにより、グIJ −ンシート相互を
接着させているが、グリーンシートの積層数が多層にな
ると、圧力が各層に、充分に伝達されなくなるため、各
層間の接着が不充分になシ、はがれ等の原因になってい
た。
また、充分なる圧力の伝達が得られるように、圧力を高
くすると、各層のグリーンシートは圧縮されて変形する
ことになるが、伸びが変形に追随し得ないため亀裂が生
じ易くなる、という問題が生ずることになる。
くすると、各層のグリーンシートは圧縮されて変形する
ことになるが、伸びが変形に追随し得ないため亀裂が生
じ易くなる、という問題が生ずることになる。
本発明は、かかる問題点に鑑み、加熱媒体中で加圧を行
うことにより、グリーンシート相互を充分に接着させよ
うとするものである。
うことにより、グリーンシート相互を充分に接着させよ
うとするものである。
(問題点を解決するだめの手段〉
本発明は、上記問題点を解決するため、セラミックグリ
ーンシートを積み重ねてグリーンシート積層体を形成し
、該グリーンシート積層体をゴム等の弾性材で密封状に
被覆した後、セラミックグリーンシートに含有されてい
る樹脂の軟化温度よりも高い温度に加熱した圧力媒体中
に設置した後、該圧力媒体を増圧させることにより、グ
リーンシート相互を圧着させる、というものである。
ーンシートを積み重ねてグリーンシート積層体を形成し
、該グリーンシート積層体をゴム等の弾性材で密封状に
被覆した後、セラミックグリーンシートに含有されてい
る樹脂の軟化温度よりも高い温度に加熱した圧力媒体中
に設置した後、該圧力媒体を増圧させることにより、グ
リーンシート相互を圧着させる、というものである。
(実 施 例)
以下図面に示す実施例を参照しながら本発明を説明する
と、グリーンシートを所望の数だけ量み重ねてグリーン
シートの積層体を形成し、この積層体を液状のシリコン
ゴム中に浸漬してシリコンゴムをコーティングした後、
該コーティング層を乾燥固化させ、次いで、グリーンシ
ートに含有されている樹脂の軟化温度よりも高一温度に
加熱された加圧前の圧力媒体中に設置した後、そのま甘
の状態で所定時間保持し、次すで圧力媒体を所定の圧力
に増圧することによ#)、グリーンシート相互を圧着さ
せる。
と、グリーンシートを所望の数だけ量み重ねてグリーン
シートの積層体を形成し、この積層体を液状のシリコン
ゴム中に浸漬してシリコンゴムをコーティングした後、
該コーティング層を乾燥固化させ、次いで、グリーンシ
ートに含有されている樹脂の軟化温度よりも高一温度に
加熱された加圧前の圧力媒体中に設置した後、そのま甘
の状態で所定時間保持し、次すで圧力媒体を所定の圧力
に増圧することによ#)、グリーンシート相互を圧着さ
せる。
第1図は、本発明に使用される加圧装置Xを示すもので
、圧力容器本体1には、管路2を介して圧力媒体タンク
3が接続されており、該管路2には、増圧ポンプ4が介
装されておシ、圧力容器本体1及び圧力媒体タンク3の
夫々には、加熱用のヒータ5 B t 5bが内装され
ている。尚、同図中、6はバルブ7によって開閉自在な
排出用の管路、8,9はシール材、10は蓋体である。
、圧力容器本体1には、管路2を介して圧力媒体タンク
3が接続されており、該管路2には、増圧ポンプ4が介
装されておシ、圧力容器本体1及び圧力媒体タンク3の
夫々には、加熱用のヒータ5 B t 5bが内装され
ている。尚、同図中、6はバルブ7によって開閉自在な
排出用の管路、8,9はシール材、10は蓋体である。
この加圧装RXは、グリーンシート積層体11を加熱し
かつ加圧するために使用されるもので、コーティングさ
れたシリコンゴム12が乾燥固化した後、圧力媒体15
の入った容器1内に設置する。圧力媒体13の加熱は、
ヒータ5aによって行なわれるが、この加熱は、グリー
ンシート積層体11の設置前でも設置後でもよく、何れ
にしてもグリーンシート積層体11は所定の時1;fl
、グリーンシー)11aに含有された樹脂の軟化温度以
上に加熱された圧力媒体13中に保持されればよい。次
いで所定時間経過後、増圧ポンプ4を作動させ、圧力媒
体タンク3内の圧力媒体を圧力容器本体1内に圧送し、
該容器1内の圧力媒体13を所定の圧力にまで増圧する
。
かつ加圧するために使用されるもので、コーティングさ
れたシリコンゴム12が乾燥固化した後、圧力媒体15
の入った容器1内に設置する。圧力媒体13の加熱は、
ヒータ5aによって行なわれるが、この加熱は、グリー
ンシート積層体11の設置前でも設置後でもよく、何れ
にしてもグリーンシート積層体11は所定の時1;fl
、グリーンシー)11aに含有された樹脂の軟化温度以
上に加熱された圧力媒体13中に保持されればよい。次
いで所定時間経過後、増圧ポンプ4を作動させ、圧力媒
体タンク3内の圧力媒体を圧力容器本体1内に圧送し、
該容器1内の圧力媒体13を所定の圧力にまで増圧する
。
ここで上記従来例と本発明とのより具体的な例について
述べる。
述べる。
従来例(1)
PYB (ポリビニルブチラール)を主バインダとする
厚さα1HのPZTセラミックのグリーンシートを20
藺角に切断した後、これらを200枚積み重ねてグリー
ンシート積層体を形成し、これをf 2 D T; K
加熱した後、プレス機によシ1゜暫の圧力で加圧し、グ
リーンシート相互を接着した。こうして得られた位層体
を試料Aとする。
厚さα1HのPZTセラミックのグリーンシートを20
藺角に切断した後、これらを200枚積み重ねてグリー
ンシート積層体を形成し、これをf 2 D T; K
加熱した後、プレス機によシ1゜暫の圧力で加圧し、グ
リーンシート相互を接着した。こうして得られた位層体
を試料Aとする。
具体例(1)
上記従来例(1)と同様のグリーンシー) i 200
枚績み重ねてグリーンシート積層体を形成し、これを液
体のシリコンゴム中に浸して、厚さα05〜α1寛凰の
シリコンゴムの被覆層を形成した後、該被覆層を乾燥固
化し、次いでこれを120℃に加熱された加圧前の圧力
媒体中に設置し、この状態で5分間保持した後、圧力媒
体を10贅まで増圧してグリーンシート相互を圧着した
。こうして得られた積層体を試料Bとする。
枚績み重ねてグリーンシート積層体を形成し、これを液
体のシリコンゴム中に浸して、厚さα05〜α1寛凰の
シリコンゴムの被覆層を形成した後、該被覆層を乾燥固
化し、次いでこれを120℃に加熱された加圧前の圧力
媒体中に設置し、この状態で5分間保持した後、圧力媒
体を10贅まで増圧してグリーンシート相互を圧着した
。こうして得られた積層体を試料Bとする。
これらの試料A、Bを夫々脱脂し、1100℃の温度で
1時間焼成してPZTのセラミック積層体を作製し、各
fiI層体から縦横各5 MN、高さ15nの試験片を
切り出し、各試験片の面の粗さをα88.稜の面取をr
l、2ffl’lとした後、第2図に示すように、該加
工後のセラばツク、積層体14を1対の支持部材15a
・15b上にa置するとともに該部材1 sa 、 1
5b間であってかつセラミック積層体上に他の支持部材
15cを載せ、各部材15a、15c115bのスパン
’!i=12xgK設定した後、各シー)143の接着
面と平行方向に荷重Fa−加え、3点支持曲げ試験を行
った。その結果を表1に示す。
1時間焼成してPZTのセラミック積層体を作製し、各
fiI層体から縦横各5 MN、高さ15nの試験片を
切り出し、各試験片の面の粗さをα88.稜の面取をr
l、2ffl’lとした後、第2図に示すように、該加
工後のセラばツク、積層体14を1対の支持部材15a
・15b上にa置するとともに該部材1 sa 、 1
5b間であってかつセラミック積層体上に他の支持部材
15cを載せ、各部材15a、15c115bのスパン
’!i=12xgK設定した後、各シー)143の接着
面と平行方向に荷重Fa−加え、3点支持曲げ試験を行
った。その結果を表1に示す。
表 1
表1から明らかなように、本発明によって得られたセラ
ミック積層体は、従来例によって得られたものよりも強
度が高く(接着性のよいことを示す)、しかも強度のば
らつきが少ないことがわかる。
ミック積層体は、従来例によって得られたものよりも強
度が高く(接着性のよいことを示す)、しかも強度のば
らつきが少ないことがわかる。
従来例(2)
プレス機による加圧圧力を10贅から20℃に変えた以
外は、すべて上記従来例と同一材料、同一条件の下でグ
リーンシート積層体を作製した。これを試料Cとする。
外は、すべて上記従来例と同一材料、同一条件の下でグ
リーンシート積層体を作製した。これを試料Cとする。
具体例(2)
圧力媒体の圧力を10髪から20驚に変えた以外は、す
べて上記具体例(1)と同一材料、同−伯仲の下でグリ
ーンシートM層体を作製した。
べて上記具体例(1)と同一材料、同−伯仲の下でグリ
ーンシートM層体を作製した。
ξれを試料りとする。
これら試料C,Dを、上記と同様にして焼成してPZT
セラミック績層体を作製した。
セラミック績層体を作製した。
これら積層体を観察したところ、試料Cによるセラミッ
ク積層体には、10個の中9個までがその側面に亀裂が
発生していた。これに対し、試料りによるセラミック積
層体には亀裂の発生が見られなかった。
ク積層体には、10個の中9個までがその側面に亀裂が
発生していた。これに対し、試料りによるセラミック積
層体には亀裂の発生が見られなかった。
これらセラミック積層体から、上記と同一形状、同一寸
法、同−粗さの試験片を切り出し、上記と同一条件の下
で3点支持曲げ試験を行ったところ、表2のような結果
が得られた。
法、同−粗さの試験片を切り出し、上記と同一条件の下
で3点支持曲げ試験を行ったところ、表2のような結果
が得られた。
表 2
表2から明らかなように、本発明によって得られたセラ
ばツク積層体は、従来例によって得られたものよりも強
度が高く、しかも強度のばらつきが少ないことがわかる
。
ばツク積層体は、従来例によって得られたものよりも強
度が高く、しかも強度のばらつきが少ないことがわかる
。
さらに表1及び表2から、本発明によって得られた七う
εツク恭層体は、強度においてばらつきが少なく、かつ
強度は、グリーンシート相互を圧着させる際に力aえら
れる加圧圧力の変動の影響をそれ程受けない、ことがわ
かる。
εツク恭層体は、強度においてばらつきが少なく、かつ
強度は、グリーンシート相互を圧着させる際に力aえら
れる加圧圧力の変動の影響をそれ程受けない、ことがわ
かる。
具体例(3)
PVB (ポリビニルブチラール)を主バインダとする
厚さα1龍のAlzChセラiツクのグリーンシートを
用いて、具体例(11及び(2)と同一条件の下でグリ
ーンシー) yt層体を作成し、これを温度1650℃
で1時間焼成してセラはツク積層体を得た。その結果、
具体例(IIと同一条件で作製したセラミック積層体か
らは表1と同様のデータが得られ、また具体例(2)と
同一条件で作製したセラミックft層体からは表2と同
様のデータが得られた。
厚さα1龍のAlzChセラiツクのグリーンシートを
用いて、具体例(11及び(2)と同一条件の下でグリ
ーンシー) yt層体を作成し、これを温度1650℃
で1時間焼成してセラはツク積層体を得た。その結果、
具体例(IIと同一条件で作製したセラミック積層体か
らは表1と同様のデータが得られ、また具体例(2)と
同一条件で作製したセラミックft層体からは表2と同
様のデータが得られた。
(効 果)
本発明は、以上から明らかなように、グリーンシート積
層体は、加熱された圧力媒体中で加圧されるので、グリ
ーンシート相互の接着性がJl好となり、強度の病いセ
ラミック積層体が得られることになる。
層体は、加熱された圧力媒体中で加圧されるので、グリ
ーンシート相互の接着性がJl好となり、強度の病いセ
ラミック積層体が得られることになる。
しかも加圧圧力が変動しても、それが接着強度に及ぼす
影響は小さく、しだがって安定した強度の製品が得られ
ることになる。
影響は小さく、しだがって安定した強度の製品が得られ
ることになる。
また、接着強度のばらつきが少ないので、強度がほぼ一
定した製品が得られることになる。
定した製品が得られることになる。
さらに、加圧圧力を太きくしても従来例の如く亀裂を生
じないため、欠陥の少ない製品が得られることになる。
じないため、欠陥の少ない製品が得られることになる。
第1図は本発明に使用される装置の断面図、兵2図は3
点支持曲げ試験の状襲を示す斜視図である。 11・・−グリーンシート積層体 tta・・・グリーンシート 12・・・シリコンゴム(91性材) 13・・・圧力媒体 特許出願人 トヨタ自動車株式会社 (外1名) 第11・′1 第2図
点支持曲げ試験の状襲を示す斜視図である。 11・・−グリーンシート積層体 tta・・・グリーンシート 12・・・シリコンゴム(91性材) 13・・・圧力媒体 特許出願人 トヨタ自動車株式会社 (外1名) 第11・′1 第2図
Claims (1)
- セラミックグリーンシートを積み重ねてグリーンシート
積層体を形成し、該グリーンシート積層体をゴム等の弾
性材で密封状に被覆した後、セラミックグリーンシート
に含有されている樹脂の軟化温度よりも高い温度に加熱
した圧力媒体中に設置した後、該圧力媒体を増圧させる
ことにより、グリーンシート相互を圧着させることを特
徴とするセラミック積層体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21232784A JPS6189844A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | セラミツク積層体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21232784A JPS6189844A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | セラミツク積層体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6189844A true JPS6189844A (ja) | 1986-05-08 |
Family
ID=16620700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21232784A Pending JPS6189844A (ja) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | セラミツク積層体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6189844A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2227713A (en) * | 1988-12-15 | 1990-08-08 | Murata Manufacturing Co | Manufacturing ceramic laminated compact |
-
1984
- 1984-10-09 JP JP21232784A patent/JPS6189844A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2227713A (en) * | 1988-12-15 | 1990-08-08 | Murata Manufacturing Co | Manufacturing ceramic laminated compact |
| GB2227713B (en) * | 1988-12-15 | 1993-01-27 | Murata Manufacturing Co | Method of manufacturing ceramic laminated compact |
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