JPH01217723A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH01217723A JPH01217723A JP4108388A JP4108388A JPH01217723A JP H01217723 A JPH01217723 A JP H01217723A JP 4108388 A JP4108388 A JP 4108388A JP 4108388 A JP4108388 A JP 4108388A JP H01217723 A JPH01217723 A JP H01217723A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- layer
- recording medium
- alloy
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、特に高記録密度、高出力の磁気記録媒体に
関する。
関する。
近年、磁気記録媒体の高密度記録化に伴って、磁気記録
媒体の高保磁力化が要求されて来ている。
媒体の高保磁力化が要求されて来ている。
この要求を涌足させるために磁性媒体も従来の酸化鉄か
ら、薄膜媒体が使用されようとしている。
ら、薄膜媒体が使用されようとしている。
しかし、薄膜媒体において、磁気特性の向上、特に高い
保磁力を得ようとすれば、必然的により一層の薄膜化を
促進しなければならない。高い保磁力を得るために薄膜
化を更に進めると、残留磁束密度と膜厚の積が小さくな
る。残留磁束密度と膜厚の積は、再生出力に関係してお
り、この値が大きいほど出力も大きい。従って高出力を
得ようとすると膜厚を厚くしなければならず、その分だ
け保磁力が小さくなり、記録密度が低下する。反対に記
録密度を上げようとすると、出力が小さくなる。出力と
記録密度とをある程度両立させたもの七して、単層のＣ
ｏ合金系磁性層を備えた磁気記録媒体がある。
保磁力を得ようとすれば、必然的により一層の薄膜化を
促進しなければならない。高い保磁力を得るために薄膜
化を更に進めると、残留磁束密度と膜厚の積が小さくな
る。残留磁束密度と膜厚の積は、再生出力に関係してお
り、この値が大きいほど出力も大きい。従って高出力を
得ようとすると膜厚を厚くしなければならず、その分だ
け保磁力が小さくなり、記録密度が低下する。反対に記
録密度を上げようとすると、出力が小さくなる。出力と
記録密度とをある程度両立させたもの七して、単層のＣ
ｏ合金系磁性層を備えた磁気記録媒体がある。
また、例えば特公昭５２−１８３９６号公報や刊行物（
ＩＥＥＥ Ｔｒａｎ＠ｓ Ｍａｇ、 ＭＡＧ−１５ｓ
Ｎｏ−３＊ Ｊｕｌｙ １９７９ｅＰ１１３５〜１１３
７）に純Ｃｏ磁性層および非磁性層を交互に積層する磁
気記録媒体が示されている。
ＩＥＥＥ Ｔｒａｎ＠ｓ Ｍａｇ、 ＭＡＧ−１５ｓ
Ｎｏ−３＊ Ｊｕｌｙ １９７９ｅＰ１１３５〜１１３
７）に純Ｃｏ磁性層および非磁性層を交互に積層する磁
気記録媒体が示されている。
しかし、上記単層のＣｏ合金系磁性層を備えた磁気記録
媒体は記録密度と出力が現在では、はソその限界に達し
ている°。
媒体は記録密度と出力が現在では、はソその限界に達し
ている°。
まえ、純Ｃｏ磁性層と非磁性層とを交互に積層したもの
（特公昭５２−１８３９６号公報）は、純Ｃｏを磁性層
に使用したものであり、基体温度を２５０’Ｃ以上に加
熱する必要があり、蒸着による成膜で成膜速度も１んへ
と非常に遅い。
（特公昭５２−１８３９６号公報）は、純Ｃｏを磁性層
に使用したものであり、基体温度を２５０’Ｃ以上に加
熱する必要があり、蒸着による成膜で成膜速度も１んへ
と非常に遅い。
また、別のもの（ＩＥＥＥ Ｔｒａｎ＠、 Ｍａｇ＋
ＭＡＧ−１５Ｎｏ。
ＭＡＧ−１５Ｎｏ。
３、 Ｊｕｌｙ １９７９． Ｐ１１３５〜１１３７）
は、スパッタリング法により成膜を行っているが、純Ｃ
ｏ （ｉ７使用しているので保磁力は低く、非磁性層（
Ｃｒ）の膜厚もかなり厚くする必要があり、高記録密度
が得られないなどの問題点があった。
は、スパッタリング法により成膜を行っているが、純Ｃ
ｏ （ｉ７使用しているので保磁力は低く、非磁性層（
Ｃｒ）の膜厚もかなり厚くする必要があり、高記録密度
が得られないなどの問題点があった。
この発明は、かかる課題を解決するためになされたもの
で、高保磁力（高記録密度）および高残留磁束密度×膜
Ｌ’ｌ （高再生出力）の磁気記録媒体を得ること全目
的とする。
で、高保磁力（高記録密度）および高残留磁束密度×膜
Ｌ’ｌ （高再生出力）の磁気記録媒体を得ること全目
的とする。
この発明の磁気記録媒体は、非磁性基体、この非磁性基
体に設けたＣｒからなる下地層、およびこの下地層に第
１層としてＣｏ合金系磁性層を設け、上記Ｃｏ合金系磁
性層と非磁性層とを交互に積層した積層体を備えたもの
である。
体に設けたＣｒからなる下地層、およびこの下地層に第
１層としてＣｏ合金系磁性層を設け、上記Ｃｏ合金系磁
性層と非磁性層とを交互に積層した積層体を備えたもの
である。
単層の磁性層を用いた場合、膜厚により保磁力が変化す
るため同時に高記録密度および高出力のものは得難い。
るため同時に高記録密度および高出力のものは得難い。
しかし、この発明においては、磁性層を積層しているた
め各層の膜厚は単層の場合より薄くなり保磁力大（高記
録密度）となり、各層の膜厚を合計することにより高出
力が得られる。
め各層の膜厚は単層の場合より薄くなり保磁力大（高記
録密度）となり、各層の膜厚を合計することにより高出
力が得られる。
また、ＣＯ合金を用いることにより、純ＣＯを用いる場
合の課題を解決できる。
合の課題を解決できる。
実施例１
＠１１９はこの発明の一実施例の磁気記録媒体の断面図
であり、１１１は非磁性基体、（２）はＣｒからなる下
地層、（３１はＣｏ合金系磁性層、（４１は非磁性層、
（６）はＣｏ合金系磁性層（３１および非磁性層（４）
を交互に積層する積層体である。
であり、１１１は非磁性基体、（２）はＣｒからなる下
地層、（３１はＣｏ合金系磁性層、（４１は非磁性層、
（６）はＣｏ合金系磁性層（３１および非磁性層（４）
を交互に積層する積層体である。
即ち、２００℃に加熱したＡＬ、ガラス、セラミック等
の非磁性基体（１１上に下地層（２１としてＣｒ ｆ２
０００Ａスパッタリングした後、＠１Ｍとして直ちに続
けて１００１ｙ’ｎ ｌ ｎの速度で同一スパッタリン
グ槽内でＣｏ合金系非磁層（３）としてＣｏ−Ｎｕ合金
を２００Ａの厚さに形成した後、同一槽内で練けて非磁
性／１ｌｔ４１としてＣｒ ５０Ａをスパッタリングし
、更に続けて同一槽内で磁性層（３）としてＣｏ−Ｎｉ
をスパッタリングして、積層体（５）を設Ｈ１この発明
の一実施例の磁気記録媒体を得九〇 上記のようにして得られた磁気記録媒体の保磁力（、Ｈ
ｃ）は９０００ｅであり、上記磁性層の一層を用いた従
来の磁気記録媒体が約７００〜８０００ｅであるのと比
べて高い唾を示している。
の非磁性基体（１１上に下地層（２１としてＣｒ ｆ２
０００Ａスパッタリングした後、＠１Ｍとして直ちに続
けて１００１ｙ’ｎ ｌ ｎの速度で同一スパッタリン
グ槽内でＣｏ合金系非磁層（３）としてＣｏ−Ｎｕ合金
を２００Ａの厚さに形成した後、同一槽内で練けて非磁
性／１ｌｔ４１としてＣｒ ５０Ａをスパッタリングし
、更に続けて同一槽内で磁性層（３）としてＣｏ−Ｎｉ
をスパッタリングして、積層体（５）を設Ｈ１この発明
の一実施例の磁気記録媒体を得九〇 上記のようにして得られた磁気記録媒体の保磁力（、Ｈ
ｃ）は９０００ｅであり、上記磁性層の一層を用いた従
来の磁気記録媒体が約７００〜８０００ｅであるのと比
べて高い唾を示している。
また、従来Ｈｅ−９０００ｅのものなら、Ｂｒδが５０
０であるのに比べ、上記この発明の一実施例の磁気記録
媒体は９３０を示しているように、高い値を示している
。
０であるのに比べ、上記この発明の一実施例の磁気記録
媒体は９３０を示しているように、高い値を示している
。
実施例２
実施例１と同様にして下地層（２１まで成膜した後、直
ちに続けて同一槽内で第１層の磁性層（３）としてＣｏ
−Ｎ１−Ｃｒ合金を２００Ａの厚さに形成した後、同一
槽内で続けて非磁性層（４）としてＣｒ ５０Ａをスパ
ッタリングし、更に続けて同−槽内で磁性層（３）とし
てＣｏ −Ｎｌ−Ｃｒをスパッタリングして、この発明
の池の実施例の磁気記録媒体を得、これは実施例１と同
程度の特性を示した。
ちに続けて同一槽内で第１層の磁性層（３）としてＣｏ
−Ｎ１−Ｃｒ合金を２００Ａの厚さに形成した後、同一
槽内で続けて非磁性層（４）としてＣｒ ５０Ａをスパ
ッタリングし、更に続けて同−槽内で磁性層（３）とし
てＣｏ −Ｎｌ−Ｃｒをスパッタリングして、この発明
の池の実施例の磁気記録媒体を得、これは実施例１と同
程度の特性を示した。
実施例３
実施例１と同様にして下地層（２）まで成膜した後、直
ちに続けて同−僧門で第１層の磁性ＮＩ（３１としてＣ
ｏ−Ｎｉ合金を２０ＯＡの厚さに形成した後、同一槽内
で続けて非磁性ｍ（４＋としてＣｒ ５０Ａ Ｉｔスパ
ッタリングし、更に続けて同一槽内で磁性層（３）とし
てＧｏ −Ｎｉ−Ｃｒをスパッタリングして、この発明
のさらに他の実施例の磁気記録媒体を得、これは実施例
１と同程度の特性を示した。
ちに続けて同−僧門で第１層の磁性ＮＩ（３１としてＣ
ｏ−Ｎｉ合金を２０ＯＡの厚さに形成した後、同一槽内
で続けて非磁性ｍ（４＋としてＣｒ ５０Ａ Ｉｔスパ
ッタリングし、更に続けて同一槽内で磁性層（３）とし
てＧｏ −Ｎｉ−Ｃｒをスパッタリングして、この発明
のさらに他の実施例の磁気記録媒体を得、これは実施例
１と同程度の特性を示した。
この発明の磁気記録媒体に係る非磁性基体としては、例
えばΔヱ、ガラスおよびセラミックなどが用いられ、例
えば２５０℃以下の／ａＫに加熱して磁性層および非磁
性層を成膜するのが望ましい。
えばΔヱ、ガラスおよびセラミックなどが用いられ、例
えば２５０℃以下の／ａＫに加熱して磁性層および非磁
性層を成膜するのが望ましい。
第２図（ａ） ＊ （ｂ） 、 （ｅ）は、非磁性基体
６λを変化させる以外は実施例１と同様にして、この発
明の実施例の磁気記録媒体を得たものにぷいて、成ｊｊ
（時の非磁性基体６λ度（°Ｃ）による保磁力（Ｈｅ）
変化（第２図（ａ） ） 、非磁性基体温度（’Ｃ）に
よる残留磁束密度×磁性層膜厚（ＢｒＪ）変化（Ｎ２図
（ｂ））、ヤよび非磁性基体Ｍ度（’Ｃ）による角形比
（Ｓｏ）変化（第２図（Ｃ））を示す特性図であり、横
軸は非磁性基体温度（”Ｃ）を縦軸は各磁気特性を示す
。それによると、非磁性基体温度が従来（２５０℃以上
）より低い温度で、磁気特性が安定することが解る。
６λを変化させる以外は実施例１と同様にして、この発
明の実施例の磁気記録媒体を得たものにぷいて、成ｊｊ
（時の非磁性基体６λ度（°Ｃ）による保磁力（Ｈｅ）
変化（第２図（ａ） ） 、非磁性基体温度（’Ｃ）に
よる残留磁束密度×磁性層膜厚（ＢｒＪ）変化（Ｎ２図
（ｂ））、ヤよび非磁性基体Ｍ度（’Ｃ）による角形比
（Ｓｏ）変化（第２図（Ｃ））を示す特性図であり、横
軸は非磁性基体温度（”Ｃ）を縦軸は各磁気特性を示す
。それによると、非磁性基体温度が従来（２５０℃以上
）より低い温度で、磁気特性が安定することが解る。
この発明の磁気記録媒体に係るＣｏ合金系磁性層として
は、例えばＣｏ−Ｎｉ５ Ｃｏ −Ｎ％−Ｃｒｙ Ｃｏ
−Ｎｌ−Ｍｏｗ Ｃｏ −Ｎ１−ＷおよびＣｏ−Ｐｔ
の内の少なくとも一種が用いられ、その膜厚は２００〜
６００Ａの範囲が望ましい。２００八以下では成膜困蝉
となり、６００Ａ以上では保磁力が小さくなる。
は、例えばＣｏ−Ｎｉ５ Ｃｏ −Ｎ％−Ｃｒｙ Ｃｏ
−Ｎｌ−Ｍｏｗ Ｃｏ −Ｎ１−ＷおよびＣｏ−Ｐｔ
の内の少なくとも一種が用いられ、その膜厚は２００〜
６００Ａの範囲が望ましい。２００八以下では成膜困蝉
となり、６００Ａ以上では保磁力が小さくなる。
この発明の磁気記録媒体に係る非磁性層としては、例え
ばＣｒｓ Ｃｕ、 Ａｕ、 Ａｇｅ Ｐｄｅ Ｐｔｅ
Ａｊｅ ＶおよびＴＩの内の少なくとも一種が用いられ
、その膜厚は５０〜３００への範囲が望ましい。５０Ａ
以下では成膜困嬉となり、３００Ａ以上では、各磁性層
を独立させ単層化させる。Ｎ３図（１） 、 （ｂ）
、 （ｐ）は、非磁性層（４）にＣｒを用い、その膜厚
を変える以外は実施例１と同様にして、この発明の実施
例の磁気記録媒体を得たものにおいて、Ｃｒ膜厚（Ａ）
による保磁力（Ｈｃ）変化（第３図（ａ））、ｃｒ膜厚
（Ａ）による残留磁束密度×磁性層１換厚（ＢｒＪ）変
化（第３図（ｂ） ） ％およびＣｒ膜厚（Ａ）による
角形比（Ｓｏ）変化（第３図（Ｃ））を示す特性図であ
り、因において、横軸はＣｒ膜厚を、縦軸は各磁気特性
を示す。それによると、非磁性膜厚は５０Ａ以上で、各
磁気特性が安定することが解る。
ばＣｒｓ Ｃｕ、 Ａｕ、 Ａｇｅ Ｐｄｅ Ｐｔｅ
Ａｊｅ ＶおよびＴＩの内の少なくとも一種が用いられ
、その膜厚は５０〜３００への範囲が望ましい。５０Ａ
以下では成膜困嬉となり、３００Ａ以上では、各磁性層
を独立させ単層化させる。Ｎ３図（１） 、 （ｂ）
、 （ｐ）は、非磁性層（４）にＣｒを用い、その膜厚
を変える以外は実施例１と同様にして、この発明の実施
例の磁気記録媒体を得たものにおいて、Ｃｒ膜厚（Ａ）
による保磁力（Ｈｃ）変化（第３図（ａ））、ｃｒ膜厚
（Ａ）による残留磁束密度×磁性層１換厚（ＢｒＪ）変
化（第３図（ｂ） ） ％およびＣｒ膜厚（Ａ）による
角形比（Ｓｏ）変化（第３図（Ｃ））を示す特性図であ
り、因において、横軸はＣｒ膜厚を、縦軸は各磁気特性
を示す。それによると、非磁性膜厚は５０Ａ以上で、各
磁気特性が安定することが解る。
なお、上記実施例では、磁性１１１１全２層積層してい
るが、それ以上積層することは可能で、所期目的を達成
することができる。
るが、それ以上積層することは可能で、所期目的を達成
することができる。
また、上記実施例では、スパッタリングによる成膜を示
したが、蒸着等による成膜でも良い。
したが、蒸着等による成膜でも良い。
以上説明したとおり、この発明は非磁性基体、この非磁
性基体に設けたＣｒから成る下地層、およびこの下地層
に９；１層としてＣｏ合金系磁性層を設け、上記Ｃｏ合
金系磁性層と非磁性層とを交互に積層した積層体を備え
たものを用いることＫより、高記録密度および高再生出
力の磁気記録媒体を得ることができる。
性基体に設けたＣｒから成る下地層、およびこの下地層
に９；１層としてＣｏ合金系磁性層を設け、上記Ｃｏ合
金系磁性層と非磁性層とを交互に積層した積層体を備え
たものを用いることＫより、高記録密度および高再生出
力の磁気記録媒体を得ることができる。
第１図はこの発明の一実施例の磁気記録媒体の断面図、
第２図（ａ） 、 （ｂ） 、 （Ｃ）はこの発明の実
施例の磁気記録媒体において、成膜時の非磁性基体温度
による各磁気特性変化を示す特性図、第３図（ａ）。 （ｂ）、 （Ｃ）は、この発明の実施例の磁気記録媒体
において、非磁性層膜厚による各磁気特性変化を示す特
性図である。 図において、＋１１は非磁性基体、（２）はＣｒから成
る下地層、（３）はＣｏ合金系磁性層、（４）は非磁性
層、１ｆｉｌは積層体である。
第２図（ａ） 、 （ｂ） 、 （Ｃ）はこの発明の実
施例の磁気記録媒体において、成膜時の非磁性基体温度
による各磁気特性変化を示す特性図、第３図（ａ）。 （ｂ）、 （Ｃ）は、この発明の実施例の磁気記録媒体
において、非磁性層膜厚による各磁気特性変化を示す特
性図である。 図において、＋１１は非磁性基体、（２）はＣｒから成
る下地層、（３）はＣｏ合金系磁性層、（４）は非磁性
層、１ｆｉｌは積層体である。
Claims (1)
- 非磁性基体、この非磁性基体に設けたＣｒから成る下
地層、およびこの下地層に第１層としてＣｏ合金系磁性
層を設け、上記Ｃｏ合金系磁性層と非磁性層とを交互に
積層した積層体を備えた磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4108388A JPH01217723A (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4108388A JPH01217723A (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01217723A true JPH01217723A (ja) | 1989-08-31 |
Family
ID=12598572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4108388A Pending JPH01217723A (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01217723A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05120662A (ja) * | 1991-03-26 | 1993-05-18 | Hiroyasu Fujimori | 磁気記録媒体 |
| US5587235A (en) * | 1993-02-19 | 1996-12-24 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus |
| US5605733A (en) * | 1992-01-22 | 1997-02-25 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium, method for its production, and system for its use |
-
1988
- 1988-02-24 JP JP4108388A patent/JPH01217723A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05120662A (ja) * | 1991-03-26 | 1993-05-18 | Hiroyasu Fujimori | 磁気記録媒体 |
| US5605733A (en) * | 1992-01-22 | 1997-02-25 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium, method for its production, and system for its use |
| US5587235A (en) * | 1993-02-19 | 1996-12-24 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus |
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