JPS62136809A - 工程管理用ｉｃカ−ド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、半導体装置等の生産工程管理に適用して有効
な技術に関する。

［背景技術］ 半導体装置の生産工程、特にウェハの処理を行う、いわ
ゆる前工程では、ウェハの歩留りを向上させるために、
既に行われたウェハの処理履歴を参考にして次の処理条
件等を設定することが考えられる。すなわち、工程管理
を如何に確実に行うかが、重要な要素となるのである。

この点について、ウェハのロフト毎に記録紙を添付して
工程間を移送し、各工程の完了時に作業者に諸情報を手
書きで記入させることが考えられる。

ところが上記方式では、生産工程の総合管理を行う中央
コンピュータに情報を入力する作業が別途必要であり、
さらに定時に一旦記録祇を回収して入力を行う等の方法
によらなければ作業が煩雑化して生産効率を低下させて
しまう可能性もある。

また、効率良く記録紙を回収して入力が行えたとしても
、人手による入力のために誤入力にともなうデータミス
の発生する確率も高い。さらには、入力のために記録紙
が製品の流れから分離してしまうために、製品の作業者
にとってリアルタイムな履歴データの確認ができない場
合もある。また、この記録紙による工程管理では、筆記
具の持ち込み等による処理現場の汚染も問題となる。

このような点から、タレジットカード大の磁気ストライ
プカードに製品のウェハの処理履歴等を記録することも
考えられるが、この技術では記録できる情報量が少ない
上に、作業者にとってカードを目視しただけでは、情報
内容を把握することができないという問題点のあること
が本発明者によって明らかにされた。

なお、ＩＣカードについて説明されている例としては、
特公昭５３−６４９１号公報がある。

［発明の目的］ 本発明の目的は、製品の処理データを目視により容易に
確認することのできる工程管理用ＩＣカードを堤供して
工程管理の合理化および歩留りの向上を達成することに
ある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

［発明の概要］ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、製品の処理情報を表示する表示芯を有する工
程管理用ＩＣカード構造とすることにより、製品の処理
履歴の確認を目視で行うことができるので、その確認が
極めて容易となり、工程管理の合理化および歩留りの向
上を達成することができる。

［実施例１］ 第１図は本発明の一実施例である工程管理用ＩＣカード
を示す正面図である。

本実施例１の工程管理用ＩＣカード１は、半導体装置の
製造工程における、いわゆる前処理工程の管理を行うも
のである。

工程管理用ＩＣカード１は、たとえばポリ塩化ビニール
樹脂からなる平板状のカード本体２の表面にフィルム状
のオーバーシート３がラミネート加工された構造を有し
ており、内部にはシリコン半導体からなるペレット４、
光信号−電気信号変換素子５および図示しないメモリバ
ックアップ用のバッテリー等が内蔵されている。

カード表面の上段には三段構造からなる表示窓６が設け
られており、この三段からなる各表示部６ａ、６ｂおよ
び６Ｃには各々漢字、英字又は数字によってペレット４
に記憶された所定のデータが表示されるようになってい
る。

一方、カード表面の下段には表示操作部７および外部入
出力部８が設けられている。表示操作部７は表示芯６の
表示の縦方向のスクロールを行う上スクロールキー７ａ
および下スクロールキー７ｂと横方向のスクロールを行
う左スクロールキー７ｃと右スクロールキー７ｄの４個
のスクロールキーを有しており、各々のキー操作により
表示をスクロールさせて必要なデータを検索することが
できるようになっている。

また、外部入出力部８は光ファイバ９の端面により構成
される複数の小窓８ａで形成されており、該光ファイバ
９は、カード内部の光信号−電気信号変換素子５に接続
され、該素子５は前記ペレット４と電気的に接続されて
いる。

次に上記構造の工程管理用ＩＣカードＩを使用した工程
管理方法の一例を説明する。

前記工程管理用ＩＣカード１はウェハ状態での最初の工
程である酸化処理工程から、ウェハのプローブ検査に至
るいわゆる前工程の間、１０ノドを一単位として、ウェ
ハの収容ケース等のポケット等に収納されてウェハとと
もに工程間を移送される。

と、：ろで、各工程での処理データの入力は例えば以下
のようにして行われる。

すなわち、各工程での作業現場には中央コンピュータに
接続される入力端末（図示せず）が設置されており、こ
の入力端末はカードｌへの入力装置としての機能も存し
ている。したがって、各工程完了時に作業者は前記入力
端末によってその工程のデータ、たとえば工程名、日付
、処理装置番号、処理設定条件、作業者名および特記事
項等を打鍵する。これによって、各データは中央コンピ
ュータに人力されるとともに、カード１内のペレット４
のメモリ一部に、入力される。本実施例１では、このと
き光信号によって入力信号が入力端末からカード１に入
力されるため、カード１と入力端末との電気的接触不良
による入力ミスを防止でき、入力信号を正確にカード１
のペレット４に伝達することができる。

なお、上記のように中央コンピュータとカード１の二つ
の手段により工程管理を行う理由は、総合的な工程管理
、たとえば製品の種類による処理の優先順位の指示等に
ついては中央コンピュータにより行い、一方、各ロフト
単位での工程管理はウェハとともに工程間を移送される
カード１によって迅速に行うためである。

すなわち、本実施例１によれば、カードｌの表面に表示
窓６が設けられているため、作業者は表示装置等を使用
することなく、カード１上のキー７３〜７ｄを僅かに操
作するのみで必要なデータを検索して目視することがで
きる。このキー操作の一例を示すと以下の通りである。

まず、左あるいは右スクロールキー７ｃ、７ｄを押すこ
とによって第一表示部６ａにロフト番号および工程名が
表示される。ここで第一表示部６ａに表示される工程名
は見出し項目であり、この項目数は必要な工程数に対応
して、例えば前工程ならば５０個程度に予め設定されて
いる。またコノ１一番号はその工程完了時まで同じ番号
が表示される。

ここで、左あるいは右スクロールキー７Ｃ２７ｄを押し
続けることによって順次性の見出し項目、すなわち異な
る工程名を呼び出して第一表示部６ａに表示させること
ができる。

各見出し項目には各々１０個程度の内容項目が設定され
ており、この内容項目は第二表示部および第三表示部に
表示される。これらの内容項目としては、たとえば日付
、処理装置名、処理設定条件、作業者氏名、特記事項等
がある。第１図においては、第一表示部６ａに表示され
た拡散工程の内容項目である日付および処理装置名が第
二表示部６ｂ、第三表示部６Ｃに各々表示された状態と
なっている。一方、これら以外の内容項目、たとえば処
理設定条件もしくは作業者氏名等を表示させたい場合に
は、上あるいは下スクロールキー７ａ、７ｂを押して当
該所望の内容項目を呼び出せば良い。

このように処理データの確認が、表示装置等を用いるこ
となくカード単体で、しかもわずかなキー操作のみで目
視で容易に行うことができるため、確認されたデータに
基づいて現場において処理温度あるいは処理値の設定等
を容易に決定することができ、処理の合理化とウェハの
歩留りの向上を達成することができる。

［実施例２］ 第２図は本発明の他の実施例の一つである工程管理用Ｉ
Ｃカードを示す平面図である。

本実施例２の工程管理用ＩＣカード２１は、表示窓２６
は一段構造からなり、外部入出力部が電極２７により形
成され、さらに操作部にテンキー２８を有している点が
異なる。

すなわち、本実施例２の工程管理用ＩＣカード２では、
入力端末を用いることなく、カード２１上のキー操作に
より所定の数値入力が可能である。

したがって、数値入力に関しては入力端末のない場所で
あっても行うことができ、迅速な入力処理を実現するこ
とができる。なお、英字あるいは漢字の入力については
実施例１で説明したように入力端末によって行われる。

また、本実施例では電極２７は電極モジュール構造とな
っており、該電極２７の位置に対応するカード２１内に
は該電極２７と電気的に接続されたベレット（図示せず
）が内蔵されている。

なお、各スクロールキー７ａ〜７ｄについては配置が異
なるのみで、機能および操作方法については実施例１で
説明したものと同様である。

［効果］ （１）、製品の処理情報を表示する表示窓を有する工程
管理用ＩＣカード構造とすることにより、製品の処理デ
ータのＧ’ｆｌ？２を目視で行うことができるので、そ
の確認が容易となり、工程管理の合理化を達成すること
ができる。

（２）６表示窓が少なくとも二段以上の表示部を有する
構造とすることにより、目視による工程データの確認が
さらに容易となる。

（３）、外部との信号の入出力を光通信によって行うこ
とにより、電気的接触不良によるデータの誤入力を防止
でき高速な入力処理を実現することができる。

（４）、前記（１１，［２＋および（３）により、処理
現場への筆記具等の持ち込みが不要となるため、処理環
境の清浄度を高く維持することが可能となる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

［利用分野］ 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその利用分野である、いわゆる半導体装置の生産工程
における、いわゆる前工程に適用した場合について説明
したが、これに限定されるものではなく、たとえばパフ
ケージ組み立て等の後工程および、その他の製品の生産
工程における工程管理に適用しても有効な技術である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である工程管理用ＩＣカード
を示す正面図、 第２図は本発明の他の実施例である工程管理用ＩＣカー
ドを示す正面図である。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. １．　製品の処理情報を表示する表示窓を有することを
   特徴とする工程管理用ＩＣカード。
2. ２．　表示窓が少なくとも二段以上の表示部を有するこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の工程管理用
   ＩＣカード。
3. ３．　外部との信号の入出力が光通信によって行われる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の工程管理
   用ＩＣカード。
4. ４．　情報入力用キーを備えてなることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の工程管理用ＩＣカード。